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 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定

宋莹 赵旭龙 姜岩秀 巴音贺希格 齐向东

[摘要]为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度,抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移,提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅实现光源激光的分光及干涉条纹的相位调整。通过叠栅条纹间接测量干涉条纹相位变化...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(05):0509001

 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测

刘兆武 李文昊 巴音贺希格 宋莹 姜珊 李晓天 吕强

[摘要]为了提高二维工作台的定位精度, 提出了一种在线检测二维工作台x轴测量镜面形的方法。无需y轴测量镜, 利用三路激光干涉仪检测工作台x轴测量镜的二次微分信息, 对所得数据进行二次积分得到工作台测量镜的精确面形。分析...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0104004

 基于傅里叶光学原理的新型凹面光栅衍射效率测量方法

马振予 齐向东 李晓天 巴音贺希格 姚雪峰 吉日嘎兰图 张善文 于海利

[摘要]凹面衍射光栅兼具色散分光与光束聚焦功能, 同时具有像差校正、 低杂散光、 无鬼线和高信噪比等优势而受到光谱仪器领域的广泛关注。 衍射效率作为凹面光栅最重要的技术指标之一, 其测量技术水平逐渐成为光谱仪器行业最...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2017, 37(04):1279

 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统

吕 强 李文昊 巴音贺希格 柏 杨 刘兆武 王 玮

[摘要]介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点...

 PDF全文中国光学 | 2017, 10(01):39

 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析

王玮 巴音贺希格 宋莹 姜珊 潘明忠

[摘要]光束自动对准技术是扫描干涉场曝光系统中的关键技术之一,两曝光光束位置与角度的重合程度直接影响所制作光栅掩模的槽型质量。针对光束对准过程中光束调整的两个运动维度之间存在相互耦合的情况,推导了存在耦合时对...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(12):1205001

 中阶梯光栅光谱仪的多谱线联合在线定标方法

尹禄 卢禹先 巴音贺希格 杨晋 崔继承

[摘要]为了提高中阶梯光栅光谱仪光谱定标的效率和精度,基于谱图还原算法,提出了利用汞灯多条特征谱线联合定标的思想,设计了中阶梯光栅光谱仪的在线定标算法。以汞灯为定标光源进行光谱定标实验,结果表明该算法在谱图偏...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(09):0930001

 C-T型棱镜透射式中阶梯光栅光谱仪谱图还原模型

张锐 巴音贺希格 杨晋 尹禄 崔继承 李晓天

[摘要]中阶梯光栅光谱仪通过交叉色散形成的二维光谱图,无法直接对入射光的波长进行光谱标定。为此,建立了C-T型棱镜透射式中阶梯光栅光谱仪的谱图还原模型,分别分析了棱镜和光栅色散方向的色散规律以及棱镜与光栅之间的相...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(07):0723001

 光谱仪中球面聚焦反射镜和凹面全息光栅像差互补的一体化设计

赵旭龙 巴音贺希格 李文昊 姜岩秀 杨硕

[摘要]为了兼顾光源聚焦镜引入的像差对光谱仪器分辨率和信噪比的影响,提出了消像差凹面全息光栅和聚焦反射镜一体化设计方法。建立了包含聚焦镜和凹面全息光栅的像差分析物理模型,推导了像差系数表达式,构造了像差校正目...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(06):0605002

 中阶梯光栅光谱仪谱图背景去除算法

尹 禄 巴音贺希格 姚雪峰 崔继承 朱继伟 张 锐

[摘要]中阶梯光栅光谱仪凭借交叉色散特性实现全谱瞬态直读, 面阵探测器接收的二维光谱图像需要还原成一维谱图以提取有效波长。 由于二维谱图含有庞大的数据, 且有效信息仅占极小比例, 因此在谱图还原前进行背景去除能够减小...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2016, 36(06):1925

 基于离轴两反利特罗结构的棱镜高光谱成像系统的光学设计

杨 晋 崔继承 巴音贺希格 齐向东 唐玉国 姚雪峰

[摘要]为满足高光谱成像系统高空间分辨率和高光谱分辨率的要求, 并应对实际应用中对仪器小型化、 轻量化、 高光学效率的新需求, 研究一种基于利特罗结构的棱镜色散高光谱成像系统, 采用离轴两反的利特罗结构形式减小光学系...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2016, 36(05):1537

 在线诊断光谱仪用光栅制作误差对光谱成像的影响及补偿

姜岩秀 巴音贺希格 杨 硕 赵旭龙 吴 娜 李文昊

[摘要]为制作应用于在线诊断光谱仪的高分辨率光栅, 通过分析记录参数误差对光栅刻线密度、 聚焦曲线、 谱像宽度等的影响及规律, 提出相应的补偿方法是必要前提。 基于费马原理、 光程差理论及像差理论, 分析了光栅光谱性能...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2016, 36(03):857

 小型高光谱分辨率光栅单色仪的研制

杨增鹏 唐玉国 巴音贺希格 崔继承 杨晋

[摘要]单色仪是成像光谱仪进行光谱连续定标的必备设备, 为了对高光谱成像光谱仪进行连续光谱定标, 设计了一种轻小型高光谱分辨率的光栅单色仪。 采用水平式Czerny-Turner光路结构, 以高光谱分辨率为出发点, 通过推导计算, ...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2016, 36(01):273

 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测

刘兆武 李文昊 王敬开 姜 珊 宋 莹 潘明忠 巴音贺希格

[摘要]针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响, 提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理, 分析...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(09):2134

 平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析

姜岩秀 韩建 李文昊 巴音贺希格

[摘要]分光器件是全息光栅曝光系统中的关键光学元件, 它将入射激光光束分成两束, 两相干光束叠加后形成干涉条纹。曝光系统的稳定性不但影响干涉条纹对比度, 还影响光栅衍射波前像差、杂散光水平以及光栅掩模刻槽质量。为了...

 PDF全文中国光学 | 2015, 8(02):241

 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析

宋楠 冯树龙 于海利 齐向东 巴音贺希格 唐玉国

[摘要]尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务,由于使用气体作为润滑剂而接近零摩擦状态,可以避免触点磨损及低速爬行现象。分析了气浮导轨工作过...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(04):0408007

 新型便携式中阶梯光栅光谱仪光学设计与消杂散光研究

杨晋 尹禄 姚雪峰 巴音贺希格 唐玉国 朱继伟

[摘要]中阶梯光栅光谱仪凭借着高分辨率、小体积、全谱瞬态直读等优异特性成为了现代光谱仪器研究的热点和重点。为了进一步缩小它的体积,提高仪器信噪比和检出限,设计了一种新型结构的中阶梯光栅光谱仪,其折叠主光路的设...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(08):0812001

 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法

姜珊 巴音贺希格 潘明忠 李文昊 宋莹

[摘要]扫描干涉场曝光系统中的干涉条纹周期是相位锁定系统的重要参数,为精确测量干涉条纹周期,根据扫描干涉场曝光系统的特点提出了分束棱镜移动测量干涉条纹周期的方法,根据高斯光束传播理论,分析了该方法的理论误差;...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(07):0705001

 基于谱图还原的中阶梯光栅光谱仪有效波长提取算法

尹禄 巴音贺希格 崔继承 杨晋 朱继伟 姚雪峰

[摘要]中阶梯光栅光谱仪具有高色散、 高分辨率、 宽波段、 全谱瞬态直读等诸多优点, 是先进光谱仪器的代表之一。 在中阶梯光栅光谱仪民用化、 商品化的发展趋势之下, 其二维谱图图像处理的地位越来越重要。 目前, 国内一般...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2015, 35(03):850

 极紫外波段平面变栅距全息光栅的优化设计

姜岩秀 巴音贺希格 杨硕 赵旭龙 李文昊 吴娜

[摘要]为制作应用于极紫外波段(50~150 nm)的变栅距全息光栅,提出了一种新的应用于球面波曝光系统的优化算法,即改进的局部优化算法。根据仪器使用要求构建了期望刻线密度函数,并以此建立优化目标函数,其特点是使四个目标...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(01):0105002

 自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅

姜岩秀 巴音贺希格 赵旭龙 杨硕 吴娜

[摘要]针对极紫外波段自由电子激光器(大连相干光源, DCLS)对高分辨能力平面变栅距光栅的需求, 基于光程差以及像差原理构建了极紫外平面变栅距全息光栅。采用改进的局部优化算法给出了平面变栅距光栅的记录参数, 利用全息曝...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(08):2117

 光栅-平面镜型可调式空间外差光谱仪

巴音贺希格 李涛涛 潘明忠 崔继承 王玮 李晓天

[摘要]针对空间外差光谱技术测量光谱范围较窄(10 nm左右),制约其应用范围的问题,提出了一种光栅-平面镜结构的可调式空间外差光谱仪系统。该系统将传统的双平面光栅式空间外差光谱仪中的一块光栅换成平面镜,让另一块光...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(12):3295

 非均匀混合调制光栅衍射效率计算方法及特性分析

何天博 巴音贺希格 张善文 李文昊 唐玉国

[摘要]通过引入介电常数与吸收常数随膜层厚度非均匀变化函数来计算非理想调制轮廓体全息光栅的衍射效率,分析其衍射特性。根据Kamiya严格的分层计算方法,推导出了非均匀混合调制轮廓等非理想情况下的二阶耦合微分方程,据...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(08):0809001

 光栅刻划机300 mm行程工作台研制及其自适应控制方法

李晓天 于海利 齐向东 朱继伟 于宏柱 巴音贺希格

[摘要]光栅刻划机工作台性能及其控制算法是直接影响大面积光栅刻划精度的重要原因。为了提高光栅刻划机运行精度,研制了采用压电陶瓷进行微定位控制的300 mm行程宏微两级工作台,建立了微定位工作台数学模型,仿真分析了工...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(06):0608001

 非均匀膨胀与收缩下反射体全息光栅衍射特性分析

何天博 巴音贺希格 齐向东 李文昊 唐玉国

[摘要]通过引入膨胀因子随光栅胶层厚度的变化函数来研究在非均匀膨胀和收缩情况下反射体全息光栅的衍射特性。根据Kamiya严格的分层计算方法,借用Lorentz-Lorenz公式,推导出了平均折射率和折射率调制度的解析表达式,据此...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(02):0209018

 凸面光栅成像光谱仪全视场自动化光谱定标系统设计

孙慈 巴音贺希格 崔继承 唐玉国

[摘要]为了确定凸面光栅成像光谱仪的光谱特性,需要对凸面光栅成像光谱仪进行光谱定标。基于单色准直光法设计了一套全视场光谱定标系统,引入球面镜提供准直光,采用一块可以自由滑动和转动的折转镜改变定标光线的入射角,实现...

 PDF全文光学技术 | 2014, 40(02):118

 棱镜光栅组合色散型超光谱成像系统的优化设计

杨增鹏 唐玉国 巴音贺希格 潘明忠 崔继承 杨晋

[摘要]大视场、超光谱分辨率、高空间分辨是光谱成像仪的发展方向,谱线弯曲和色畸变的抑制则是二维谱图信息准确提取的前提。提出了一种棱镜光栅光谱成像结构形式,并采用矢量方法构建了棱镜光栅组合色散元件的数学模型,优...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(09):0911003

 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响

姜珊 巴音贺希格 李文昊 宋莹 潘明忠

[摘要]扫描干涉场曝光系统中的干涉条纹周期是相位锁定系统的重要参数,其设定值与名义值之间的偏差会引起相邻扫描间的干涉条纹相位拼接误差。为获取以扫描曝光方式所制作光栅的衍射波前特征,根据步进扫描曝光的特点及动态...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(09):0905003

 PGP成像光谱仪的全视场自动化光谱定标方法

孙慈 巴音贺希格 崔继承 潘明忠 李晓天 唐玉国

[摘要]为了对PGP成像光谱仪所获得的光谱数据进行定量化分析, 需对PGP成像光谱仪进行光谱定标, 以获得各光谱通道的中心波长、 光谱分辨率及成像光谱仪的光谱弯曲等光谱特性信息。采用单色准直光法设计了一套全视场自动化的光...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2014, 34(08):2289-2292

 平面光栅杂散光测试仪模型设计及消杂光技术研究

翟珊珊 杨晋 巴音贺希格 崔继承 齐向东 唐玉国

[摘要]杂散光是平面光栅的重要性能指标, 光栅杂散光的测量一直是光栅研制领域的难题。 为实现仪器自身杂光低于10-8量级, 以满足对平面光栅杂散光10-7量级的精确测量要求, 基于标量衍射理论和经典Fresnel-Kirchhoff衍射理论...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2014, 34(04):1124-1129

 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期测量误差对光栅掩模槽形的影响

姜珊 巴音贺希格 宋莹 潘明忠 李文昊

[摘要]扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期的测量误差是影响曝光过程中相位拼接的主要因素。为制作符合离子束刻蚀要求的高质量光栅掩模,建立了条纹周期测量误差与扫描曝光对比度关系的数学模型,利用光刻胶在显影过程中的非...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(04):0405003

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