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 基于并行共聚焦显微系统的物方差动轴向测量

刘志群 易定容 孔令华 张勇贞 刘 婷 王 梓

[摘要]差动共聚焦显微成像技术可以获得很高的轴向测量精度, 然而已有的差动共聚焦测量技术主要适用于激光扫描共聚焦, 还不能满足微纳加工过程中对工件进行非接触式的在线、在位测量的要求。本文在分析差动共聚焦显微成像系...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(06):1449

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