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 双波长动态液膜厚度与温度同步测量系统

杨荟楠 邓豪 蒋永 张月星 苏明旭

[摘要]基于半导体激光吸收光谱(DLAS)技术, 研制了双波长动态液膜厚度与温度高精度同步测量系统。利用标准具对该系统的测量精度进行验证。结果表明, 该系统的液膜厚度和温度的平均测量误差分别为4.58%和1.34%。在此基础上, ...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(04):0404011

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