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 基于空间光调制的光束聚焦实时反馈控制方法及系统

谢志坤 钱伟岸 张金辉 李少锋 卫 冠 张冰志 陈志峰

[摘要]提出一种基于空间光调制的光束聚焦控制方法,利用液晶空间光调制器产生动态的二元菲涅耳透镜相位结构,以实现对光束焦斑的轴向与横向偏移的快速精确调节。采用面阵探测器检测光斑大小与位置信息,结合反馈控制机制可...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(07):072201

 基于Low K介质QFN 55 nm铜线键合ILD断层的分析

张金辉

[摘要]主要介绍了低介电常数介质芯片层间介质层的分类, 特别是对铜线键合过程中低介电常数介质层间介质断层方面的分析, 以及铜线键合过程中如何优化工艺。在工艺优化过程中主要采用了键合参数的优化来改善芯片本身存在的设...

 PDF全文光电技术应用 | 2013, 28(02):44-50

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