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 基于稀疏矩阵的光学元件表面疵病检测

陈晨 王红军 王大森 田爱玲 刘丙才 朱学亮 刘卫国

[摘要]提出了一种基于稀疏矩阵的表面疵病快速拼接方法。该方法采用环形白光光源均匀地照射到被测元件表面, 光经显微散射暗场成像系统后形成暗背景下的亮疵病图像。通过对光学元件的x, y方向进行扫描, 得到子孔径拼接图像。...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(04):0404007

 装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响

赵思伟 田爱玲 王大森 刘丙才 朱学亮 刘卫国

[摘要]针对立式大口径平面干涉仪, 采用结合Zernike多项式的三平面互检面形检测方法, 研究参考平面在装夹情况下的自重变形对绝对面形检测结果的影响.运用ANSYS有限元分析方法研究了不同参数下的装夹和自重变形情况, 得到了最...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(02):0212004

 毛玻璃转速对干涉条纹成像质量的影响

张佳莹 王红军 朱学亮 刘丙才 田爱玲

[摘要]针对大平面菲索干涉图像的相干噪声问题，采用旋转毛玻璃片的方法改变光束的相干性，来降低干涉系统的噪声。通过对毛玻璃的转速与条纹对比度和系统信噪比之间的关系进行仿真，获得最佳干涉条纹状态所需要的毛玻璃控制...

 PDF全文光电工程 | 2018, 45(01):170492

 波长调谐干涉测量的相移标定方法

田爱玲 马迪 王大森 刘剑 刘丙才 朱学亮

[摘要]基于菲索干涉的变频相移技术, 提出一种分步相移标定方法.生成n组t步相移干涉图,每步相移为π/2;将每步的n组干涉图分别与初始干涉图做相乘和傅里叶变换运算, 在此基础上构建每步相移的误差函数;通过求取误差函数极值点...

 PDF全文光子学报 | 2016, 45(07):070712001

 聚焦光在亚表面损伤介质中的散射特性

田爱玲 田玉珺 王春慧 潘永强 王红军 刘丙才 朱学亮

[摘要]针对光学元件的亚表面缺陷,结合基于激光共焦层析的亚表层检测方法,建立聚焦光束在亚表面损伤介质中的传输模型,并采用有限元分析方法,仿真研究K9玻璃光学元件亚表层缺陷对聚焦光束的散射调制特性,特别对颗粒状和微裂纹...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(09):091021

 光学元件柔性抛光材料对表面质量的影响

朱学亮 杭凌侠 金桂英

[摘要]气囊柔性抛光是一种新型的精密光学元件的抛光技术，在非球面制造领域有着广泛的应用。采用柔性气囊抛光装置，选择了三种不同的抛光模层材料进行实验，分析了抛光材料对样片表面粗糙度与表面缺陷的影响。实验研究表明...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2011, 48(04):042202

 纳米光学表面加工缺陷高效检测技术

朱学亮 杭凌侠 田爱玲

[摘要]纳米光学表面是指表面粗糙度均方根值在纳米尺度的光学表面，广泛应用于微电子领域以及光学仪器和装备领域。纳米光学表面加工缺陷主要有表面损伤和亚表层损伤两个方面；基于非接触式无损检测手段的优点，针对白光干涉...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2011, 48(10):101201

 蓝宝石图形衬底上生长GaN的微区拉曼光谱研究

于乃森 郭丽伟 彭铭征 朱学亮 王晶 王晶 贾海强 陈弘 周均铭

[摘要]采用微区拉曼光谱对生长在湿法腐蚀获得的无掩膜周期性图形蓝宝石衬底上GaN材料做了研究,结果显示,侧向外延生长区域具有较低的压应力。采用湿法腐蚀结合原子力显微镜对材料的位错进行了表征,侧向外延区域显示了低的位...

 PDF全文液晶与显示 | 2010, 25(01):17-20