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 用于检测激光棒的变倾角马赫-曾德尔干涉仪

孔璐 陈磊 丁煜 吴志飞 郑东晖 朱文华

[摘要]为实现激光棒透射波前的测量, 改善一般泰曼型或斐索型干涉仪测量小口径激光棒透射波前时的边缘衍射效应, 研究了一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪。通过调整移相反射镜的倾斜姿态, 改变入射到马赫 -曾德尔干涉光路的光...

 PDF全文光电工程 | 2020, 47(02):190254

 用于液晶盒表面面形检测的短相干载频干涉方法

杨 光 陈 磊 胡晨辉 张正宇 朱文华

[摘要]液晶盒表面面形的质量会影响空间光调制器的性能。为了精确测量液晶盒表面面形, 提出了短相干载频干涉方法。利用短相干扩展光源进行照明, 产生的参考光和测试光之间形成定域干涉, 通过控制参考面和液晶盒表面之间的倾...

 PDF全文液晶与显示 | 2020, 35(02):108

 变倾角移相斜入射动态干涉仪

刘致远 陈磊 朱文华 丁煜 马云 郑东晖

[摘要]为了快速获取不平整度达数微米量级的光学表面面形分布,提出一种基于变倾角移相的斜入射动态干涉仪方案。基于迈克耳逊干涉仪主光路系统,采用2×2 点光源阵列,通过精确控制各点光源在干涉腔的入射倾角,引入等间...

 PDF全文光电工程 | 2019, 46(08):180516

 变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差

王冲 陈磊 吴志飞 杨光 郑东晖 朱文华

[摘要]为解决棱镜等效展开为玻璃平板后因腔长固定导致的移相困难问题, 提出一种变倾角移相测量反射棱镜光学平行差的方法。通过改变光束在反射棱镜入射端面上的倾角在干涉图中引入移相量, 实现干涉图中的相位提取。采用最小...

 PDF全文光学技术 | 2019, 45(05):541

 光学波前参数的分析评价方法研究

杨影 刘民才 陈磊 朱文华 郑东晖

[摘要]针对飞切法加工的玻璃元件面形的评价, 研究了小波变换在光学表面低频段和中频段误差的分析方法。采用小波分解变换方法将波前信号的多频率成分分离, 选取小波基 bior2.8, 有效地提取出元件的面形信息, 同时将所需的中...

 PDF全文光学仪器 | 2019, 41(03):56

 斜入射法测量蓝宝石基片仿真分析与实验

刘致远 陈磊 朱文华 丁煜 韩志刚

[摘要]为获取具有微米量级变化的蓝宝石基片的面形分布,采用斜入射法拓展数字干涉仪测量范围。根据斜入射测量原理,推导了斜入射角、平面面形偏差与系统波像差之间的关系。通过 Zemax构建了斜入射测量仿真光路,研究了面形...

 PDF全文光学仪器 | 2019, 41(02):6

 电调谐波长移相干涉术

丁 煜 陈 磊 王志华 朱文华 刘致远

[摘要]为了实现一体化结构干涉仪的现场数字化检测, 提出了一种电调谐波长移相干涉术, 通过控制注入电流, 调制半导体激光器(LD)的波长, 从而实现时域移相干涉。通过优化传统的随机移相干涉模型, 采用最小二乘求解线性回归模...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(05):0506003

 采用短相干光源的动态斐索干涉仪

孙沁园 陈 磊 郑东晖 朱文华 张 瑞 丁 煜

[摘要]为了实现斐索型干涉仪的动态干涉测试, 研究了一种采用短相干光源的动态斐索干涉仪。以中心波长为638 nm、带宽为0.1 nm的二极管泵浦固体激光器作为光源, 与偏振延迟装置结合得到一对短相干正交线偏振光, 通过调节光源...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(02):0220001

 点源异位同步移相法检测平行平晶的光学均匀性

张瑞 陈磊 朱文华 孟诗 郑东晖 孙沁园

[摘要]为了避免平行平晶测量时前后表面干涉的影响, 基于点源异位同步移相原理, 提出一种均匀性绝对测量方法.测量分为平行平晶前后表面干涉测量、平晶透射波前测量、干涉仪空腔测量三步.每步通过在同一时刻抓拍的四幅移相干...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(01):0112002

 大口径光学元件瞬态波前检测

孟 诗 陈 磊 朱文华 孙沁园 张 瑞

[摘要]为瞬态测量大口径光学元件波前,提出一种基于斜入射结构的近红外反射式错位点衍射干涉原理的Φ400 mm瞬态波前检测方法。该方案将待测光分成两束互相错位的参考光与测试光,从而在干涉图中引入高线性载频,采集到对比...

 PDF全文光电工程 | 2018, 45(01):170536

 用于位相缺陷检测的反射式剪切点衍射干涉仪

马 云 陈 磊 刘一鸣 朱文华

[摘要]为了实现光学元件位相缺陷的大视场、高分辨率、瞬态检测, 设计了一种基于无镜成像算法的反射式剪切点衍射干涉仪。该干涉仪通过在参考光与测试光之间引入横向错位量, 形成高密度线性载频, 利用快速傅里叶变换算法从单...

 PDF全文光学 精密工程 | 2018, 26(12):2873

 用于相位缺陷检测的动态泰曼干涉仪

马云 陈磊 朱文华 刘一鸣 李建欣

[摘要]为了实现光学元件相位缺陷的大视场、高分辨率、动态检测, 设计了一种动态泰曼干涉仪。该干涉仪采用短相干激光器结合迈克耳孙干涉结构产生1对相位延迟的正交偏振光, 以此作为光源, 通过匹配偏振型泰曼干涉仪干涉腔的相...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(12):1204009

 针孔式点衍射干涉仪的无镜成像方法

黄磊 高志山 杨忠明 窦沂蒙 窦建泰 朱文华 左超 袁群

[摘要]为了避免传统针孔式点衍射干涉仪中干涉成像系统所带来的误差, 提出一种无镜成像算法, 无需干涉成像系统, 从 CCD直接采集得到的干涉图复原求解被测件面形。基于平面波角谱理论构建虚拟物像共轭关系, 由CCD处直接采集到...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(03):0312002

 改进的基于全变分最小去噪的路径无关相位解包算法

张辉钦 郭仁慧 蒋超 朱文华 周翔

[摘要]相位解包算法主要分为路径相关算法和路径无关算法, 广泛应用于光学测量领域。针对残差相位中含有噪声的问题, 提出了改进的基于全变分最小去噪的路径无关相位解包算法。首先在包裹相位图中求出相位梯度, 然后用全变分...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(12):121202

 近红外反射式错位点衍射干涉仪

万 骏 陈 磊 朱文华 李金鹏

[摘要]为瞬态测量近红外激光波前,提出了一种斜入射结构的反射式错位点衍射干涉仪方案。将点衍射干涉仪集成在镀有特殊膜系的平板基片上,相干光波分别在平板前后表面反射产生错位,从而在传统点衍射干涉图中引入空间线性载...

 PDF全文光电工程 | 2016, 43(01):0049

 动态干涉仪干涉图位置配准及移相误差校正

郑东晖 陈磊 李金鹏 朱文华 李建欣 韩志刚

[摘要]为抑制动态干涉仪系统中存在的干涉图空间位置匹配误差以及移相误差,采用相位相关算法和载频交叠重构干涉术,前者以光斑边缘为匹配特征,通过配准测试光斑,实现对4幅移相干涉图在空间位置上的像素级配准;后者按列交...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(02):0226002

 点衍射干涉仪中针孔衍射光强与波面误差分析

朱文华 陈磊 李金鹏 郑东晖 周斌斌

[摘要]为了研究点衍射干涉仪中针孔的横向离焦与轴向离焦对衍射光的强度与衍射参考波面误差的影响,基于菲涅耳衍射理论,建立了会聚光束经针孔衍射的数学模型,提出了将针孔衍射光的强度与衍射波面误差相结合以分析针孔衍射...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(06):061201

 用于瞬态波前检测的四波横向剪切干涉系统

朱文华 陈磊 谷晨风 郑东晖 李金鹏 曹慧

[摘要]为检测瞬态波前的三维分布,提出了一种共光路结构的剪切干涉测试系统。该系统使用棋盘光栅与光阑,将待测波前分解为四支互相错位的波前,这些波前两两相干,最终叠加形成一幅高载频的干涉图。根据光强传输方程以及傅...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(12):121201

 动态干涉仪的位相光栅衍射效率研究

李金鹏 陈 磊 方 波 朱文华

[摘要]为了解决普通二维光栅在动态干涉术中光能量利用不足的问题,使用标量衍射理论和傅里叶分析法对矩形正交位相光栅和棋盘型位相光栅的衍射效率进行推导,分别对两种光栅的最佳工作级次选择策略进行研究。分析结果表明,当...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(09):2696

 基于圆载频干涉图相位解调技术的点衍射干涉术

李金鹏 陈磊 朱文华 胡芬

[摘要]为测量光学系统出射波前以及动态波前,提出一种基于圆载频干涉图相位解调技术的点衍射干涉术。在传统点衍射干涉仪中调整点衍射板轴向离焦量引入圆载频,通过二阶极坐标变换可以将圆载频干涉图转换为具有准线性载频特...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(01):0112001

 光栅点衍射干涉法检测Φ400 mm瞬态波前

李金鹏 陈磊 万骏 朱文华 郑东晖

[摘要]提出了一种基于光栅点衍射干涉原理的Φ400 mm瞬态波前检测方法。该方法使用位相光栅在参考光与测试光中引入横向错位, 即在干涉图中引入线性载频, 然后利用傅里叶变换相位解调法提取待测波前。基于标量衍射理论以及傅...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(06):1538

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