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 面向即时检测芯片超声波精密键合的熔接结构及工艺参数

刘 冲 周利杰 梁 超 李经民

[摘要]针对芯片即时检测(POCT)芯片对键合精度、键合强度、生产效率和生物兼容性的要求, 基于超声波键合技术设计了结构化的导能筋布置形式和阻熔导能接头结构。研究了超声波键合时间和键合压力对微通道高度保持性能的影响, ...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(05):1057

 微流控芯片操作机器人碰撞保护装置的设计

刘冲 梁勇 李经民 刘军山 王晓东

[摘要]从避免芯片操作机器人与外界环境碰撞的角度进行了安全性设计研究。设计了一种能够感知碰撞发生信号,基于继电器和电磁制动器实现机器人保护的碰撞保护装置,计算分析了本装置对芯片操作机器人定位精度的影响。实验表明...

 PDF全文光学 精密工程 | 2009, 17(01):138-144

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