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   将选定结果: 

 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计

马敬 齐月静 卢增雄 苏佳妮 杨光华 齐威 张清洋 陈进新

[摘要]根据光谱共焦位移传感器的工作原理及线性轴向色散条件,选择3种色散物镜用玻璃材料N-KZFS11、N-SF66和N-PK52A,并结合像差理论设计了由3个单透镜和2个双胶合透镜组合成的线性色散物镜初始结构。利用Zemax光学设计软件对...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(07):0704009

 照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析

齐月静 卢增雄 杨光华 刘成涛 彭卓君

[摘要]通过微孔衍射产生高质量的球面波是进行夏克-哈特曼波前传感器(SHWS)高精度标定的关键。采用时域有限差分(FDTD)法,进行了193 nm 准分子激光照明下有限厚度有限电导率微孔的衍射仿真计算,分析了照明物镜数值孔径(NA)...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(02):0208001

 22 nm极紫外光刻物镜热和结构变形及其对成像性能影响

杨光华 李艳秋

[摘要]极紫外光刻技术(EUVL)是半导体制造实现22 nm及其以下节点的下一代光刻技术。在曝光过程中,EUVL物镜的每一面反射镜吸收35%~40%的入射极紫外(EUV)能量,使反射镜发生热和结构变形,影响投影物镜系统的成像性能。...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(03):0322005

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