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 激光预处理提升DKDP晶体加工表面的抗损伤能力

罗 阳 胡国行 赵元安 杨留江 曹 珍 李大伟 刘晓凤

[摘要]针对晶体表面的损伤特性,采用小光斑扫描激光预处理技术预辐照DKDP晶体元件,并采用表面损伤自动探测系统实时分析每个脉冲辐照后晶体表面的损伤情况,比较预处理和未预处理区域的损伤点密度确定表面预处理效果,并进...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(08):1987

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