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 环形抛光技术在列阵透镜制造中的应用

焦翔 朱健强 樊全堂 李养帅

[摘要]针对传统方法抛光高功率激光实验中使用的长焦距列阵透镜单元遇到的检测困难、一致性差等问题,提出了采用环形抛光的新方法。对环形抛光系统的理论分析表明,抛光盘面形可以稳定在球面状态。利用这种特性,环形抛光法...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(07):0708011

 环形抛光中倾覆力矩对工件面形的影响及解决方法

焦翔 朱健强 樊全堂 李养帅

[摘要]对环形抛光法加工大小口径工件面形不一致的问题进行了研究。在0.69 m 环形抛光机上发现,φ100 mm 工件面形微凹时,φ48 mm 工件为峰谷(PV)值0.336 λ(λ = 632.8 nm) 的凸面形。利用Winkler假定和Preston方程对工件...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(06):0608003

 环形抛光技术在列阵透镜制造中的应用

焦翔 朱健强 樊全堂 李养帅

[摘要]针对传统方法抛光高功率激光实验中使用的长焦距列阵透镜单元遇到的检测困难、一致性差等问题,提出了采用环形抛光的新方法。对环形抛光系统的理论分析表明,抛光盘面形可以稳定在球面状态。利用这种特性,环形抛光法...

 PDF全文高功率激光及等离子体物理研究论文集(专题) | 2015, 13(01):0708011

 环形抛光中倾覆力矩对工件面形的影响及解决方法

焦翔 朱健强 樊全堂 李养帅

[摘要]对环形抛光法加工大小口径工件面形不一致的问题进行了研究。在0.69 m 环形抛光机上发现,φ100 mm 工件面形微凹时,φ48 mm 工件为峰谷(PV)值0.336 λ(λ = 632.8 nm) 的凸面形。利用Winkler假定和Preston方程对工件...

 PDF全文高功率激光及等离子体物理研究论文集(专题) | 2015, 13(01):0608003

 大口径光学元件精密加工温差分析及控制方法

焦翔 朱健强 樊全堂 李养帅

[摘要]针对大口径光学元件精密加工时上下表面存在温差的问题,以环形抛光系统为例,对抛光盘和工件温度特性进行了研究。在1.6 m环形抛光机上对工件温度进行了测定,结果表明即使在低速抛光情况下工件上下表面也会产生较大的...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(11):1116001

 环形抛光中工件形状对抛光速度的影响

樊全堂 朱健强

[摘要]本文基于库仑摩擦模型,模拟了不同形状的工件在环形抛光的运动。从结果可知,(1)如果工作环处于自由转动状态,工件的角速度在环形抛光中比抛光盘的角速度大;(2)可通过控制工作环的角速度使工件和抛光盘的角速度...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2007, 5(05):298

 磷酸盐激光玻璃的化学机械抛光

张宝安 朱健强 樊全堂

[摘要]从磷酸盐激光玻璃的成分和结构出发,分析了其化学机械抛光(CMP)机制。通过实验验证了磷酸盐激光玻璃对抛光液pH值具有较强的选择性,在微酸性和中性条件下磷酸盐激光玻璃具有较高的抛光效率,在抛光液中添加pH值调节添加...

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(08):1151-1154

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