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 飞秒激光加工单晶金刚石锥形阵列的试验研究

熊彪 陈根余 殷赳 周聪 胡搒

[摘要]针对单晶金刚石加工难的问题, 采用脉宽为250 fs的飞秒激光器, 开展了不同工艺参数下的单晶金刚石晶体飞秒激光烧蚀试验研究, 同时采用超景深显微镜检测单晶金刚石烧蚀的宽度、深度及表面质量, 研究了激光平均功率、光...

 PDF全文应用激光 | 2018, 38(02):270

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