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 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制

王 玮 巴音贺希格 潘明忠 宋 莹 李文昊

[摘要]为了提升扫描干涉场曝光光束对准精度,保证制作的光栅掩模槽形的质量,建立了曝光光束对准误差模型,利用模型对光束对准误差进行了分析。同时为了满足系统对光束重叠精度的要求,设计研制了光束自动对准系统,并对曝...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(07):0722003

 大孔径面视场PG成像光谱仪的光学设计

杨晋 张锐 潘明忠 崔继承

[摘要]针对成像光谱仪通过狭缝进行线视场成像时存在的孔径较小、光学透过率较低等问题, 研究了一种基于棱镜-光栅型分光结构的大孔径面视场成像光谱仪。该棱镜-光栅成像光谱仪采用表面浮雕型透射光栅, 极大地降低了光栅的制...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(04):867

 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析

王玮 巴音贺希格 宋莹 姜珊 潘明忠

[摘要]光束自动对准技术是扫描干涉场曝光系统中的关键技术之一,两曝光光束位置与角度的重合程度直接影响所制作光栅掩模的槽型质量。针对光束对准过程中光束调整的两个运动维度之间存在相互耦合的情况,推导了存在耦合时对...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(12):1205001

 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测

刘兆武 李文昊 王敬开 姜 珊 宋 莹 潘明忠 巴音贺希格

[摘要]针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响, 提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理, 分析...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(09):2134

 医用显微成像光谱仪的光谱定标技术

魏 巍 崔继承 唐玉国 孙 慈 潘明忠

[摘要]为了能对自主研制的脑肿瘤手术医用显微成像光谱仪进行光谱定标, 设计了由单色仪、钨灯光源、棱镜-光栅-棱镜成像光谱仪及手术显微平台组成的光谱定标系统。采用单色仪波长扫描法, 自主开发了相应的光谱定标系统软件, ...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(05):1015

 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法

姜珊 巴音贺希格 潘明忠 李文昊 宋莹

[摘要]扫描干涉场曝光系统中的干涉条纹周期是相位锁定系统的重要参数,为精确测量干涉条纹周期,根据扫描干涉场曝光系统的特点提出了分束棱镜移动测量干涉条纹周期的方法,根据高斯光束传播理论,分析了该方法的理论误差;...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(07):0705001

 光栅-平面镜型可调式空间外差光谱仪

巴音贺希格 李涛涛 潘明忠 崔继承 王玮 李晓天

[摘要]针对空间外差光谱技术测量光谱范围较窄(10 nm左右),制约其应用范围的问题,提出了一种光栅-平面镜结构的可调式空间外差光谱仪系统。该系统将传统的双平面光栅式空间外差光谱仪中的一块光栅换成平面镜,让另一块光...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(12):3295

 棱镜光栅组合色散型超光谱成像系统的优化设计

杨增鹏 唐玉国 巴音贺希格 潘明忠 崔继承 杨晋

[摘要]大视场、超光谱分辨率、高空间分辨是光谱成像仪的发展方向,谱线弯曲和色畸变的抑制则是二维谱图信息准确提取的前提。提出了一种棱镜光栅光谱成像结构形式,并采用矢量方法构建了棱镜光栅组合色散元件的数学模型,优...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(09):0911003

 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响

姜珊 巴音贺希格 李文昊 宋莹 潘明忠

[摘要]扫描干涉场曝光系统中的干涉条纹周期是相位锁定系统的重要参数,其设定值与名义值之间的偏差会引起相邻扫描间的干涉条纹相位拼接误差。为获取以扫描曝光方式所制作光栅的衍射波前特征,根据步进扫描曝光的特点及动态...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(09):0905003

 PGP成像光谱仪的全视场自动化光谱定标方法

孙慈 巴音贺希格 崔继承 潘明忠 李晓天 唐玉国

[摘要]为了对PGP成像光谱仪所获得的光谱数据进行定量化分析, 需对PGP成像光谱仪进行光谱定标, 以获得各光谱通道的中心波长、 光谱分辨率及成像光谱仪的光谱弯曲等光谱特性信息。采用单色准直光法设计了一套全视场自动化的光...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2014, 34(08):2289-2292

 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期测量误差对光栅掩模槽形的影响

姜珊 巴音贺希格 宋莹 潘明忠 李文昊

[摘要]扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期的测量误差是影响曝光过程中相位拼接的主要因素。为制作符合离子束刻蚀要求的高质量光栅掩模,建立了条纹周期测量误差与扫描曝光对比度关系的数学模型,利用光刻胶在显影过程中的非...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(04):0405003

 应用等效规则优化法设计光通信光栅

张善文 潘明忠

[摘要]基于光栅电磁场理论,应用光栅等效规则计算光栅槽形初始值、结合衍射效率等高线法优化设计光栅槽形,给出了具有几何对称中心的任意槽形光栅.以全息工艺上易于制作的正弦、矩形和两种梯形典型槽形光栅为例进行优化设计...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(02):158-163

 光谱宽度与光束截面因子对平面光栅衍射效率测量的影响

曹海霞 巴音贺希格 崔继承 吴娜 潘明忠

[摘要]为了进一步提高平面光栅衍射效率测试仪的测量精度, 分析了影响平面光栅衍射效率测量值的主要因素。根据平面光栅相对衍射效率测量原理, 提出光束截面因子的概念并推导出了平面光栅光束截面因子k(θ)的解析表达式。进一...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(03):562-568

 单色仪与成像光谱仪的交互光谱定标

曹海霞 吴娜 冯树龙 潘明忠 张永超 崔继承

[摘要]为了提高成像光谱仪的光谱定标精度,降低定标过程的复杂度, 本文基于单色仪扫描定标法的原理,提出了交互光谱定标的思想,设计了适用于单色仪与成像光谱仪的交互光谱定标系统。分别对单色仪与成像光谱仪进行了光谱定标实...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(10):2585

 凹面光栅衍射效率测量值的影响因素及补偿方法研究

曹海霞 巴音贺希格 崔继承 潘明忠 陈少杰

[摘要]通过仪器获得的凹面光栅的衍射效率是相对值, 其测量值的精度受测量过程和补偿方法的影响。 为使效率测量值的测量精度得到进一步提高, 有必要对测量值产生影响的主要因素进行深入研究。 该文进一步考察了影响衍射效率...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2013, 33(11):3162-3166

 中阶梯光栅光谱仪快速设计与谱图分析的数学模型

陈少杰 巴音贺希格 潘明忠 朱继伟 宋莹 齐向东

[摘要]由于中阶梯光栅光谱仪采用交叉色散的结构,在像面上呈现二维重叠光谱,光谱信息难以直接获取,所以使得光学系统设计与光谱信息处理较为繁琐。建立了一种基于边界限制的中阶梯光栅光谱仪快速设计与二维谱图的分析算法...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(10):1030001

 用于肿瘤手术在线诊断的成像光谱仪的研制

崔继承 唐玉国 撖芃芃 潘明忠 张金男

[摘要]利用成像光谱仪图谱合一的特性,研制了一台用于临床诊断及术中导航定位的棱镜-光栅-棱镜式小型医用成像光谱仪。介绍了该成像光谱仪的设计原理,根据应用需求对其光学系统进行了分析,测试了光谱分辨率、谱线弯曲、色...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(12):3043-3049

 成像光谱仪一体化设计

崔继承 刘玉娟 潘明忠 唐玉国

[摘要]随着超光谱成像技术的发展, 超光谱成像光谱仪的要求也随之提高, 小型化、 高光谱分辨率和高空间分辨率成为发展趋势, 这就要求设计者在进行仪器设计的过程中不断完善和优化设计。 提出了成像光谱仪一体化设计的方法...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2012, 32(03):839-843

 中阶梯光栅光谱仪CCD相机的设计

潘明忠 刘玉娟 陈少杰 宋楠 崔继承

[摘要]为了高精度采集中阶梯光栅光谱仪的谱图,设计了一种适用于中阶梯光栅光谱仪原理样机的高性能面阵CCD相机。首先,根据中阶梯光栅光谱仪的谱图特点和CCD芯片的特性,设计了面阵CCD相机的时序产生电路、驱动电路及数据采...

 PDF全文光学 精密工程 | 2012, 20(08):1725-1731

 凸面光栅成像光谱仪的光谱定标

齐向东 撖芃芃 潘明忠 崔继承

[摘要]为了对自主研发的凸面光栅成像光谱仪进行光谱定标, 基于单色准直光定标法设计了一套由单色仪和平行光管组成的光谱定标系统。采用自行研制的光谱定标数据采集软件及数据处理软件对凸面光栅成像光谱仪进行了光谱定标及...

 PDF全文光学 精密工程 | 2011, 19(12):2870-2876

 便携式地面成像光谱辐射计的设计

潘明忠 亓洪兴 肖功海 舒嵘

[摘要]设计了一种基于棱镜-光栅-棱镜(PGP)的便携式地面成像光谱辐射计。系统的波段范围为可见-近红外,共有344个波段,光谱分辨 率优于10nm,空间分辨率优于1mrad。本文以混合像元分解研究为应用背景,阐述了地面成像光谱辐...

 PDF全文红外 | 2010, 31(01):1-7

 一种适于直升机平台的天然气管道泄漏监测技术

潘明忠 亓洪兴 李正文 杨俊 杨一德 舒嵘

[摘要]针对我国日益凸显的天然气管道泄漏监测的实际需求, 提出了一种适于直升机平台的基于近红外波长调制吸收光谱的天然气管道泄漏监测技术, 阐述了该技术的基本原理, 论证了该技术对直升机平台的工程适用性, 研制了一套室...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2010, 29(06):410-414

 基于高精度端元的混合像元线性分解模型研究

潘明忠 亓洪兴 肖功海 舒嵘

[摘要]从理论上阐述了混合像元的产生机理和混合像元线性分解模型, 研制了一套地面成像光谱实验系统, 直接获取了高精度的端元光谱数据, 通过像元合并的方式构造混合像元, 针对不同丰度的非立体空间混合像元端元, 分析了根据...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2010, 29(05):357-361

 激光诱导等离子体光谱技术应用于月球探测的可行性研究

亓洪兴 潘明忠 吕 刚 何志平 闫志欣 舒 嵘

[摘要]阐述了激光诱导等离子体光谱技术的物理机制, 分析了气压影响激光诱导等离子体光谱探测的机制和规律, 建立了低气压环境下进行激光诱导等离子体光谱探测的试验装置, 开展了不同等级低气压环境下的试验研究, 通 过试验数...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2009, 28(02):93-96

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