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   将选定结果: 

 三维精密位移系统的设计

王生怀 陈育荣 王淑珍 谢铁邦

[摘要]为满足精密位移的需要,研究开发了一种大行程、纳米级和计量型三维精密位移系统。采用模块化结构设计,即3个方向的驱动机构均采用完全相同的设计结构,分别称为X、Y、Z向一维工作台。位移系统在X、Y、Z 3个方向采用粗...

 PDF全文光学 精密工程 | 2010, 18(01):175-182

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