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   将选定结果: 

 估计系统点扩展函数以降低相位测量轮廓术误差

田懿 包国琦 刘凯

[摘要]针对相位测量轮廓术中由光学成像设备的点扩展函数引起的卷积效应,提出了一种估计点扩展函数卷积模型参数的方法。该方法利用卷积效应对相位测量轮廓术中光强调制度参数的影响,通过计算基频与更高空间频率之间的光强...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(05):0504003

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