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   将选定结果: 

 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析

孟庆宾 齐月静 卢增雄 苏佳妮 高斐

[摘要]环境温度变化是影响夏克哈特曼波前传感器(SHWS)测量精度的重要因素之一。采用Zemax软件热分析功能,分析了环境温度变化引起的微透镜阵列(MLA)变形及折射率变化、MLA和电荷耦合器件(CCD)间距变化以及球面波点源...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(08):0810001

 纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析

卢增雄 齐月静 齐威 苏佳妮 彭卓君

[摘要]在基于夏克-哈特曼波前传感器的深紫外物镜系统波像差检测中,均匀高亮度的照明光束是实现纳米精度波像差检测的关键。采用时域有限差分法和部分相干性理论对随机排列微孔阵列衍射波前的强度对比度进行了优化。与周期排...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0612007

 中小口径双非球面数控抛光技术研究

牟光远 付秀华 苏佳妮 张睿智

[摘要]针对口径Φ62mm双凸非球面透镜,进行了数控研磨和抛光技术研究。提出了规范性的加工工艺流程,实现了中小口径双非球面元件的高效、快速抛光。根据计算机控制光学表面成型技术,采用全口径抛光和小抛头修抛的两步抛光...

 PDF全文应用光学 | 2009, 30(05):818-822

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