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 双光束照明3PIE层析成像

陈文 蒋志龙 刘诚 朱健强

[摘要]在单光束照明3PIE(Ptychographic Iterative Engine)方法中,照明光垂直照射在待测样品表面,没有考虑照明光倾斜对重构结果的影响。在单光束照明3PIE方法的基础上提出了双光束照明3PIE方法,同时模拟分析了初始猜测照...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811002

 双光束照明3PIE层析成像

陈文 蒋志龙 刘诚 朱健强

[摘要]在单光束照明3PIE(Ptychographic Iterative Engine)方法中,照明光垂直照射在待测样品表面,没有考虑照明光倾斜对重构结果的影响。在单光束照明3PIE方法的基础上提出了双光束照明3PIE方法,同时模拟分析了初始猜测照...

 PDF全文高功率激光及等离子体物理研究论文集(专题) | 2016, 14(01):0811002

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