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 面阵像元细分用于法布里珀罗标准具间隔测量

蓝旭辉 沈小燕 孙志鹏 李东升

[摘要]法布里珀罗(F-P)标准具间隔d的高准确度测量对干涉测量结果具有非常重要的影响。论文基于F-P干涉成像图片信息, 结合峰位坐标局域细分原理和圆方程回归, 尤其应用了一种新型的虚拟面阵像元细分和信号平滑化技术, 准确地...

 PDF全文应用光学 | 2019, 40(01):99

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