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 基于法布里-珀罗标准具的亚微米级位移测量方法

沈小燕 蓝旭辉 朱鹤年 孙志鹏 禹静

[摘要]受限于面阵像元尺寸和细分技术,利用面阵器件进行长度测量难以达到亚微米级。提出了一种基于法布里-珀罗(F-P)标准具多光束干涉成像原理的二维亚微米级位移测量方法,通过计算同心干涉圆环圆心坐标变化量得到焦平面内的...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(12):1204002

 面阵像元细分用于法布里珀罗标准具间隔测量

蓝旭辉 沈小燕 孙志鹏 李东升

[摘要]法布里珀罗(F-P)标准具间隔d的高准确度测量对干涉测量结果具有非常重要的影响。论文基于F-P干涉成像图片信息, 结合峰位坐标局域细分原理和圆方程回归, 尤其应用了一种新型的虚拟面阵像元细分和信号平滑化技术, 准确地...

 PDF全文应用光学 | 2019, 40(01):99

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