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 基于利特罗式激光反馈光栅干涉的微位移测量技术

孔令雯 蔡文魁 施立恒 郭冬梅 夏巍 倪小琦 郝辉 王鸣

[摘要]通过在激光反馈干涉(LFI)系统中引入衍射光栅, 提出了一种基于利特罗结构的激光反馈光栅干涉(LFGI)技术, 用于一维和二维精密位移的测量。半导体激光器出射的光束以利特罗条件入射至反射式全息光栅, 衍射光沿入射光方向...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(04):0404012

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