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 沉积速率对直流脉冲溅射钼薄膜微结构与光学性能的影响

赵娇玲 贺洪波 王虎 郭佳露 贺婷

[摘要]用脉冲直流磁控溅射方法在硅片衬底上制备了厚度相同的单层钼薄膜,结合台阶仪、X射线衍射仪、场发射扫描电镜、原子力学显微镜和紫外-可见分光光度计分别研究了不同沉积速率对钼薄膜微结构、表面形貌和光学性能的影响...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(09):0931001

 基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法研究

胡仕玉 曾爱军 谷利元 黄惠杰 胡国行 贺洪波

[摘要]提出了一种基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法,在椭偏成像光路中采用p偏振光在金属薄膜与空气界面产生表面等离子体共振效应,利用不产生表面等离子体共振效应的s偏振光消除背景光的影响...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(11):1108001

 不同基底上HfO2/SiO2多层膜的力学性能

王河 贺洪波 张伟丽

[摘要]用电子束蒸发技术在K9玻璃及YAG晶体上沉积了HfO2/SiO2多层膜,采用纳米划痕仪对薄膜的力学性能进行了研究。实验结果表明:沉积在YAG和K9的多层膜弹性模量分别为34.8 GPa和38.5 GPa, 基底对薄膜的弹性模量影响较小;Y...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(07):0707003

 磷酸盐激光玻璃与光学沥青抛光胶的摩擦特性

单海洋 徐学科 贺洪波 张宝安 易葵 邵建达 范正修

[摘要]摩擦系数是表征光学玻璃抛光特性的重要参量,平均摩擦系数决定了抛光速率,摩擦系数的变化范围影响光学玻璃的面形精度和表面粗糙度。通过正交实验,研究了抛光过程中实验因素对磷酸盐激光玻璃和光学沥青抛光胶之间摩...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(04):0406001

 大口径激光玻璃环抛光学沥青抛光胶

单海洋 徐学科 贺洪波 易葵 邵建达

[摘要]研制了四种不同沥青和松香含量的光学沥青抛光胶,对其形貌、针入度、玻璃化转变温度、软化点和粘度等参量进行了表征。从组成和结构分析了抛光胶三种物理状态变化原因,将玻璃化转变温度和软化点作为其临界转变温度。...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(08):1989-1994

 磁控溅射硅基薄膜应力演化实时研究

李静平 方明 贺洪波 邵建达 李朝阳

[摘要]采用多光束应力实时测量装置监控并分析了磁控溅射Si和SiNx薄膜的总力及应力演化过程。在两种膜层中均观察到了应力释放及恢复现象。Si膜中应力是可逆的,而SiNx膜中应力是部分可逆的。物理吸附和解吸附分别是应力释放...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(11):2826-2830

 多晶氧化物薄膜及复合膜系应力模型

李静平 方明 贺洪波 邵建达 范正修 李朝阳

[摘要]基于膜层结构的弛豫现象,建立了一个多晶膜的应力演化模型,并通过线性组合给出了复合膜的生长应力模型。利用双光束基底曲率测量装置实时测量了电子束蒸发氧化铪、氧化硅多晶膜及其复合膜的应力演化过程,并对测量结...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(10):1031004

 HfO2/SiO2高反镜内驻波场分布对其飞秒激光诱导损伤行为的影响

陈顺利 赵元安 贺洪波 邵建达

[摘要]本文采用钛蓝宝石飞秒激光系统(带宽50fs、中心波长800nm),对两种HfO2/SiO2高反镜(标准λ/4设计和驻波场优化设计)的单脉冲和多脉冲损伤行为进行了研究。结果表明,在单脉冲和多脉冲作用下,两种膜系的损伤形貌均...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(08):083101

 HfO2/SiO2多层膜中节瘤缺陷破坏的热力分析

单永光 贺洪波 魏朝阳 王营 赵元安

[摘要]制备了用纳米金颗粒为种子生长节瘤的多层膜样品,并对该样品做了激光损伤实验。采用聚焦离子束和场发射扫描电镜对处于临界破坏状态的节瘤缺陷做剖面分析和观察。剖面图显示激光辐照使节瘤缺陷的种子区首先产生了裂纹...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(10):103101

 纳秒激光表面改性对Ta2O5/SiO2介质膜飞秒激光诱导损伤行为的影响

陈顺利 赵元安 高鹏鹏 李大伟 贺洪波 邵建达 范正修

[摘要]利用中心波长1064 nm、脉宽12 ns、重复频率5 Hz的NdYAG激光系统,对800 nm、0° Ta2O5/SiO2高反膜进行三种能量台阶数的激光预处理扫描改性;控制扫描速度使辐照脉冲能量重叠70%的峰值能量,辐照模式1-on-1。利用...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(s1):s103002

 纳秒脉冲激光诱导的区域缺陷破坏模型

于振坤 齐红基 赵元安 贺洪波

[摘要]完善了由缺陷吸收引起温升导致材料破坏的激光损伤模型。从热传导方程入手,该模型在单杂质缺陷模型基础上,利用米氏散射理论计算杂质缺陷的吸收截面,根据材料基质和杂质缺陷的热物性能参数,计算了杂质相互之间的有...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(12):1214001

 光学薄膜中节瘤缺陷研究进展

单永光 刘晓凤 贺洪波 范正修

[摘要]结合本实验室及国内外同行的工作进展,概括性地介绍了光学薄膜中节瘤缺陷的生长特性、结构特征和损伤特性,以及激光预处理和破坏修复技术的研究进展。节瘤种子的尺寸、形状和表面特性决定了节瘤缺陷的尺寸、边界结构...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(06):1421-1429

 高性能偏振薄膜的制备

朱美萍 易葵 张伟丽 范正修 贺洪波 邵建达

[摘要]偏振薄膜的分光特性对膜层厚度非常敏感,本文对一个规整膜系偏振膜的敏感层进行了优化,在不增加总的膜层层数和厚度的情况下增加了偏振膜的带宽;建立了一套膜厚自动控制系统,并对不同的控制方法引起的误差进行了分...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(06):624

 HfO2薄膜的光致发光谱与激发谱

王营 赵元安 贺洪波 邵建达 范正修

[摘要]利用电子束蒸发和自动晶控技术制备了氧化铪薄膜,并对薄膜进行了退火处理。通过光致发光(PL)光谱、光致发光激发谱(PLE)和X射线衍射(XRD)等测试对HfO2薄膜进行表征,研究了退火对HfO2薄膜结构及发光特性的影响。室温下对...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(04):1104-1107

 双折射消偏振膜的设计和制备

王晴云 齐红基 贺洪波 邵建达 范正修

[摘要]基于倾斜沉积薄膜材料的双折射特性,采用单一TiO2设计和制备了中心波长为632 nm的双折射消偏振膜。首先以60°和70°的沉积角度镀制了TiO2单层膜,通过单层膜的透射光谱分别拟合出两种沉积角度下薄膜对s和p偏振...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(07):2154-2158

 基于表面热透镜的薄膜弱吸收测量的调制频率研究

陶春先 李霞 李大伟 贺洪波 邵建达

[摘要]激励光辐照薄膜的表面热透镜效应中,调制频率的大小影响样品内热波的热扩散深度。通过频率控制热波扩散深度可以探测不同薄膜层面的吸收和热缺陷分布。理论分析了不同薄膜厚度下调制频率对热扩散深度的影响。结果表明,...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(02):609-612

 倾斜沉积“雕塑”薄膜结构参数优化分析

齐红基 王晴云 肖秀娣 易葵 贺洪波 范正修

[摘要]基于双轴双折射薄膜模型,利用在不同入射角度下薄膜对两种偏振态光波透射光谱,同时获得“雕塑”薄膜主轴折射率N1,N2,N3和薄膜厚度d及柱状角β等参数。基于倾斜沉积技术,利用电子束反应蒸发方法制备了氧化钽“雕塑”薄...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(01):287-293

 紫外Sc2O3薄膜的光学和结构性能表征及其激光作用下的损伤机理

刘光辉 薛春荣 晋云霞 张伟丽 方明 贺洪波 范正修

[摘要]利用电子束蒸发方法, 在不同沉积温度 (50~350 ℃)下制备了Sc2O3薄膜。分别用分光光度计, 小角掠入射X射线衍射仪和轮廓仪测试了薄膜样品的光谱、微结构和表面粗糙度信息, 并用薄膜分析软件Essential Macleod计算了Sc2...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(08):1766-1770

 HfO2单层膜的吸收和激光损伤阈值测试

李淑红 贺洪波 刘晓凤 单永光 周明 李大伟 赵元安 范正修

[摘要]薄膜吸收是降低膜层激光损伤阈值的重要原因,为了研究薄膜吸收对激光损伤阈值的影响, 对HfO2单层膜在1 064 nm处的吸收及其在不同波长激光辐照下的损伤阈值进行了测试和分析。研究结果表明: 薄膜的激光损伤阈值由薄膜吸...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(11):2596-2598

 倾斜沉积薄膜角度选择光谱硏究

齐红基 王晴云 肖秀娣 贺洪波 易葵

[摘要]

 PDF全文光电产品与资讯 | 2010, 1(12):24-26

 光学薄膜吸收测量的成像光热检测技术

陶春先 赵元安 贺洪波 李大伟 邵建达 范正修

[摘要]为测量大口径光学薄膜器件的吸收,提出了一种新的基于图像锁相技术的成像光热检测法。利用光热检测的单点模式和所提出的成像模式应用于吸收测量,其数值结果证明成像光热法的可行性。相对于传统的逐点移动的栅扫描测量...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2009, 7(11):1061

 相干光束的同轴合成

董洪成 李笑 魏朝阳 贺洪波 赵元安 邵建达 范正修

[摘要]基于偏振转换原理,提出了一种相干光束同轴合成技术,多束激光可以同轴耦合为一束激光,具有较高的合成效率和良好的光束质量。提出了一种基于主振荡能量放大结构的偏振光术合成系统,分析了单元合成效率和系统合成效率。...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2009, 7(11):1012

 倾角沉积制备Ta2O5薄膜的光学性质和微结构研究

肖秀娣 董国平 贺洪波 齐红基 范正修 邵建达

[摘要]本文利用电子束倾斜沉积技术制备了Ta2O5薄膜,并用扫描电镜研究了沉积角度对薄膜的表面形貌和微结构的影响。制备的Ta2O5薄膜为具有高度取向的斜柱状多孔结构,其有效折射率和堆积密度都随着沉积角度的增加而减小。Ta...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2009, 7(10):967

 偏振光束相干合成的理论分析

董洪成 刘阳 易葵 贺洪波 邵建达

[摘要]描述了偏振光束相干合成的原理和过程,分析了光束参数、相位差和振幅比变化、光束重合度以及平行度等参数对合成效率的影响,讨论了实施合成的实验参数及方法。结果表明,相对于强度变化,相位差的变化对合成效率的影...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(09):2346-2351

 Gires-Tournois负色散镜误差分析

王胭脂 邵建达 晋云霞 黄建兵 张伟丽 董洪成 贺洪波 范正修

[摘要]负色散镜的色散补偿性能对设计和制备的精度要求都非常高, 折射率和薄膜物理厚度是其性能准确实现的必要参数。实验设计并镀制了Gires-Tournois(G-T)镜, 结合电场强度分布及薄膜的群延迟色散(GDD)、扫描电镜的测量结果...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(06):1563-1568

 不同退火过程对紫外HfO2/SiO2, Y2O3/SiO2多层膜性能的影响

袁景梅 贺洪波 易葵 邵建达 范正修

[摘要]采用直升式和阶梯式加热法对电子束热蒸发镀制出的HfO2/SiO2,Y2O3/SiO2多层膜进行了400 ℃的退火处理, 发现采用阶梯式加热法退火后多层膜在190 ~300 nm范围内的峰值反射率均得到提高, 说明此种后处理方法可能会改善膜...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(05):1200-1204

 基于图像锁相的薄膜吸收多通道检测技术

陶春先 赵元安 贺洪波 邵建达

[摘要]从理论和应用两方面对光学薄膜吸收缺陷的检测方法进行了研究。基于CCD摄像机的图像锁相技术, 提出了不同于传统逐点扫描方法的多通道薄膜吸收检测方法。基于逐点扫描法和图像检测法, 分别计算了大区域内薄膜单点缺陷所...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(08):2333-2337

 Sc2O3替代层在532 nm高反膜中的应用

刘光辉 方明 晋云霞 张伟丽 贺洪波 范正修

[摘要]将Sc2O3替代层引入到532 nm高反膜(HfO2/SiO2)n中,利用Sc2O3在盐酸中具有较好的溶解性这个特点,把膜层与基片脱离,以方便基片返修,缩短返修周期,降低成本。能量色散谱元素测试表明,脱离后Sc元素残留率为0。用Lamada900...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2009, 21(10):1476-1480

 电子束蒸发制备三倍频分离膜的0.532μm激光预处理效应

李大伟 赵元安 邵建达 范正修 贺洪波 Dawei Li Yuan'an Zhao Jianda Shao Zhengxiu Fan Hongbo He

[摘要]研究了电子束蒸发制备三倍频分离膜的0.532μm激光预处理效应。实验发现激光预处理之前样品的损伤阈值为,而预处理之后为。损伤后的样品表面观察到两种损伤形貌,即锥形坑以及平底坑。进一步研究发现,激光预处理前后...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2008, 6(05):386

 退火对HfO2/SiO2多层膜残余应力的影响

申雁鸣 韩朝霞 邵建达 邵淑英 贺洪波

[摘要]用电子束蒸发方法在BK7基底上沉积了HfO2/SiO2多层膜。研究了200℃到400℃的退火对残余应力的影响。结果表明退火前的薄膜残余应力为压应力,在200℃退火后发展为张应力,然后张应力值随着退火温度的升高而增大。在400...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2008, 6(03):225

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