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 MOCVD法生长Ga、P掺杂的ZnO薄膜

殷伟 张金香 崔夕军 赵旺 王辉 史志峰 董鑫 张宝林 杜国同

[摘要]采用金属有机化学气相沉积法在蓝宝石衬底上制备Ga、P掺杂的ZnO薄膜, 分别采用X射线衍射、扫描电子显微镜、霍尔效应测试、光致发光谱对样品进行表征。通过Ga、P掺杂分别得到n、p型ZnO薄膜, n型ZnO薄膜的载流子浓度可以...

 PDF全文发光学报 | 2013, 34(01):82-86

 利用MOCVD技术生长As掺杂的p-ZnMgO薄膜

赵龙 殷伟 夏晓川 王辉 史志锋 赵旺 王瑾 董鑫 张宝林 杜国同

[摘要]利用GaAs夹层掺杂的新方法, 采用金属有机化学气相沉积(MOVCD)技术, 通过控制生长温度, 在蓝宝石衬底上成功制备出As掺杂的p型ZnMgO薄膜。利用X射线衍射分析(XRD)、霍尔效应测试和光致发光(PL)谱等表征方法对薄膜的晶体...

 PDF全文发光学报 | 2011, 32(10):1020-1023

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