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 飞秒贝塞尔光用于可磁驱动微管道的高效加工

辛 晨 杨 亮 胡治江 胡 凯 钱冬冬 胡衍雷 李家文 吴 东

[摘要]微管道是微纳领域最基本的模型之一,其结构简单、均匀,应用广泛。本文提出一种利用飞秒贝塞尔光进行激光直写,结合磁控溅射金属镀层,加工可磁驱动微管道的新方法。利用空间光调制器将飞秒激光调制成飞秒贝塞尔光,...

 PDF全文光电工程 | 2017, 44(12):1180

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