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 空间光调制器像素尺寸对非球面检测误差影响分析

马啸 刘世杰 张志刚 邵建达

[摘要]空间光调制器(SLM)可以在电驱动等信号控制下, 实时调节振幅、相位、偏振态等信息, 近年来已被尝试用于代替计算全息(CGH)板实现非球面检测。SLM像素尺寸在3.5~20 μm, 远大于CGH板刻蚀分辨率, 使得SLM的相位调制量在像...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0104002

 高反Al₂O₃/SiO₂膜内超快激光预损伤动力学过程

袁伟 邢昕 韩冬佳 李泽汉 薛冰 小林孝嘉 杜鹃 赵元安 冷雨欣 邵建达

[摘要]利用紫外飞秒激光光谱技术研究了Al2O3/SiO2高反射膜内的超快载流子动力学。通过实验, 发现该反射膜Al2O3层的载流子动力学在紫外反射膜的激光诱导损伤中起着至关重要的作用。通过泵浦-探测实验, 发现紫外飞秒激光与光...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(12):1206013

 基底晶态对HfO₂薄膜晶向结构和力学特性的影响

郭佳露 刘晓凤 赵元安 邵建达 赵娇玲 黄昊鹏 崔岩岩

[摘要]用电子束蒸发技术在晶体及激光陶瓷两种基底上沉积了氧化铪（HfO2）单层膜，采用掠角X射线衍射（GIXRD）技术和纳米划痕仪对薄膜的晶向结构和力学特性进行了研究。实验结果表明，HfO2薄膜在单晶晶体和多晶陶瓷基底上均...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(06):0603001

 充氧口位置对电子束蒸发沉积HfO₂薄膜性质的影响

郑如玺 易葵 范正修 邵建达 涂飞飞

[摘要]充氧口位置直接影响了真空室内的氧气分布，进而对薄膜的光学性能造成重要影响。为了研究充氧口位置对HfO2薄膜性质的影响，在2个典型的充氧口位置采用电子束蒸发技术在石英基底上沉积了HfO2单层膜，并结合紫外-可见光...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(10):1003001

 大型环抛机蜡盘平面度的测量

王 哲 徐学科 邵建达 顿爱欢 杨明红 范永涛 方媛媛 高文兰 刘 方

[摘要]针对大口径平面光学元件全频谱面形技术指标的高效率、高精度收敛, 研究了环形抛光技术。考虑环抛机沥青蜡盘的平面度直接影响工件面形的收敛效率, 本文利用准直激光束作为参考, 设计研制了测量精度高, 重复性精度达到...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):3048

 高性能偏振膜的研制

朱美萍 孙 建 张伟丽 赵元安 刘晓凤 赵娇玲 易 葵 邵建达

[摘要]综述了国内外科研人员在高性能偏振膜的研制方面开展的工作, 主要涉及偏振膜光谱性能、抗激光损伤阈值和膜层应力控制等方面的研究。针对我国神光系列装置对偏振膜的性能要求, 简述了中国科学院上海光学精密机械研究所...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):2908

 惯性约束聚变激光驱动装置用光学元器件的研究进展

邵建达 戴亚平 许 乔

[摘要]介绍了为提高惯性约束聚变(ICF)激光驱动装置的光束质量和输出功率, 我国在神光系列激光装置的建设、运行和性能提升方面开展的工作。综述了我国近年来ICF激光装置用光学元器件的重要研究进展。文中涉及了高纯金属铪和...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):2889

 激光预处理技术及其应用

赵元安 胡国行 刘晓凤 李大伟 朱美萍 易 葵 邵建达

[摘要]回顾了国内在激光预处理技术研究方面取得的进展。综述了基于激光预处理技术提升基频介质膜、磷酸二氢钾/高掺氘磷酸二氢钾(KDP/DKDP)晶体等光学元件抗激光损伤性能的机理、效果和关键技术。针对高功率激光驱动器中关键...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):2938

 随动压力分布下的非球面抛光去除函数

李徐钰 魏朝阳 徐文东 邵建达

[摘要]考虑去除函数对数控小工具抛光光学元件精度的影响, 提出了如何根据需要加工的非球面参数以及抛光盘参数得到最优去除函数的方法。由于计算非球面上去除函数的核心是准确获得抛光盘与镜面间的动态压力分布, 本文提出利...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):3061

 钕玻璃抛光过程中杂质颗粒物对划痕的影响

曹俊 杨明红 魏朝阳 顿爱欢 顾建勋 徐学科 邵建达

[摘要]为了研究不同杂质颗粒物对划痕的影响及其大小与划痕形貌之间的关系，在钕玻璃抛光过程中分别引入三种尺寸的金刚砂、氧化铈团聚物和用过的抛光粉作为杂质颗粒物，对抛光过程中产生的划痕形貌进行统计分析。结果表明，...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(01):0116002

 反射型组合器件的空间滤波分析

章瑛 王胭脂 齐红基 易葵 隋展 邵建达

[摘要]相比透射型组合滤波器件，提出了只需要由一种反射元件构成的反射型组合滤波器件的光路。在保证角谱选择性的前提下，降低了设计和制备的难度。另外，通过膜系设计和电场强度比较，发现此反射型组合器件具有比透射型组...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0616002

 不同压力模型下边缘去除函数对比分析

吉建伟 魏朝阳 胡晨 张海超 徐学科 邵建达

[摘要]在计算机控制光学表面成形（CCOS）技术中，由于边缘处压力分布的不均匀，会在工件边缘产生边缘效应，边缘效应会严重阻碍面形误差的收敛，边缘效应问题已成为数控加工技术中亟待解决的关键问题之一。针对边缘处压力阶...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(12):1216002

 相移Rugate薄膜空间滤波器的设计

章瑛 易葵 齐红基 邵建达

[摘要]介绍了相移Rugate薄膜空间滤波器的基本结构和原理, 设计了相移Rugate薄膜滤波器，根据实际制备的条件进行了误差分析，给出了制备技术需要达到的精度和所需要的薄膜材料的消光系数，计算了相应的损耗，并分析了空间滤...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(10):1007001

 熔石英再沉积层结构的纳米级表征和杂质分析

杨俊 易葵 魏朝阳 胡国行 崔辉 邵建达

[摘要]利用原子力显微镜观察熔石英不同蚀刻时间的表面形貌，结合二次离子质谱分析，研究了熔石英的再沉积层结构和杂质分布。结果表明，熔石英表面深度10 nm的再沉积层内存在大量微裂纹和杂质，经蚀刻展开形成nm级划痕和坑点...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(07):072011

 飞秒脉冲激光系统中GiresTournois镜的设计

廖春艳 秦君军 邵建达 程光华 范正修 忽满利

[摘要]介绍了GiresTournois镜的基本结构，运用薄膜光学理论计算了GiresTournois镜的色散，分析了各个组成部分对GiresTournois镜性能的影响.结果表明：高反射膜堆的选择影响GiresTournois镜的反射率性能，高反射膜堆...

 PDF全文光子学报 | 2013, 42(08):967-972

 磷酸盐激光玻璃与光学沥青抛光胶的摩擦特性

单海洋 徐学科 贺洪波 张宝安 易葵 邵建达 范正修

[摘要]摩擦系数是表征光学玻璃抛光特性的重要参量，平均摩擦系数决定了抛光速率，摩擦系数的变化范围影响光学玻璃的面形精度和表面粗糙度。通过正交实验，研究了抛光过程中实验因素对磷酸盐激光玻璃和光学沥青抛光胶之间摩...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(04):0406001

 熔石英表面紫外损伤点的飞秒激光修复技术

方周 赵元安 陈顺利 胡国行 刘文文 陈惟肖 李大伟 邵建达

[摘要]熔石英表面激光损伤发展问题一直制约着高功率激光系统的运行通量，采用飞秒激光修复损伤点抑制损伤发展并探索修复机理。首先采用时域有限差分方法(FDTD)分析不同形状修复点的电场分布，优化修复点结构。通过改变飞秒...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(04):0403001

 大口径激光玻璃环抛光学沥青抛光胶

单海洋 徐学科 贺洪波 易葵 邵建达

[摘要]研制了四种不同沥青和松香含量的光学沥青抛光胶，对其形貌、针入度、玻璃化转变温度、软化点和粘度等参量进行了表征。从组成和结构分析了抛光胶三种物理状态变化原因，将玻璃化转变温度和软化点作为其临界转变温度。...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(08):1989-1994

 磁控溅射硅基薄膜应力演化实时研究

李静平 方明 贺洪波 邵建达 李朝阳

[摘要]采用多光束应力实时测量装置监控并分析了磁控溅射Si和SiNx薄膜的总力及应力演化过程。在两种膜层中均观察到了应力释放及恢复现象。Si膜中应力是可逆的，而SiNx膜中应力是部分可逆的。物理吸附和解吸附分别是应力释放...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(11):2826-2830

 激光薄膜和基底在不同空间环境中的损伤性能研究进展

崔云 易葵 沈自才 邵建达

[摘要]随着激光在航天器中应用的增加，出现了激光系统在空间环境中失效的现象。激光薄膜和基底元件（包括晶体和玻璃）是激光产生和输出的重要组成部分，空间环境对它们损伤性能的影响直接关系到激光系统的稳定性、使用寿命...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2012, 49(04):040001

 基底亚表面裂纹对减反射膜激光损伤阈值的影响

杨明红 赵元安 苏涵韩 单海洋 易葵 邵建达

[摘要]利用化学沥滤技术，分析了亚表面裂纹对基底表面和减反射膜激光损伤阈值(LIDT)的影响。通过去除或保留研磨裂纹，获得了亚表面裂纹数密度有明显区别的两类基底。为了凸出亚表面裂纹层的作用，基底采用化学沥滤去除另外...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(08):0807001

 熔石英抛光表面结构的蚀刻和热处理表征

杨明红 赵元安 单海洋 易葵 邵建达

[摘要]利用HF蚀刻和热处理，结合原子力显微(AFM)分析，对传统抛光和磁流变抛光的表面结构进行了表征。为了分析热处理凸起的形成源，抛光表面在热处理前分别采用超声清洗、化学沥滤和HF蚀刻三种不同的表面处理技术进行处理，...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(08):0803004

 不同工艺条件下TiO₂单层膜的吸收和损伤阈值测试

徐俊海 赵元安 邵建达 范正修

[摘要]利用电子束热蒸发技术在不同氧分压和烘烤温度下镀制了一系列TiO2单层膜，采用表面热透镜技术测量了样品在1064 nm处的弱吸收值，并用激光损伤测试平台测量了样品的抗激光损伤阈值(LIDT)特性。实验结果表明较高的氧分压...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(04):0407001

 HF蚀刻+逐层抛光法表征熔石英亚表面损伤层深度

杨明红 赵元安 易葵 邵建达

[摘要]脆性材料的研磨过程会不可避免地产生亚表面损伤层，对亚表面损伤层的表征和抑制一直是获得高激光损伤阈值熔石英光学元件的关注热点。回顾了几种亚表面有损表征技术，通过实验重新评价了蚀刻表面峰谷(PV)粗糙度法的可...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(03):0303007

 多晶氧化物薄膜及复合膜系应力模型

李静平 方明 贺洪波 邵建达 范正修 李朝阳

[摘要]基于膜层结构的弛豫现象，建立了一个多晶膜的应力演化模型，并通过线性组合给出了复合膜的生长应力模型。利用双光束基底曲率测量装置实时测量了电子束蒸发氧化铪、氧化硅多晶膜及其复合膜的应力演化过程，并对测量结...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(10):1031004

 多脉冲激光作用下高反膜中本征缺陷和光致缺陷的研究

王营 赵元安 邵建达 范正修

[摘要]本文研究了在多脉冲激光作用下高反膜中光致缺陷和本征缺陷的作用。HfO2 /SiO2 高反膜采用电子束蒸发制备。对样品进行了1-on-1和S-on-1的损伤测试，测试波长为355nm,脉宽为8ns。实验发现，多脉冲阈值要比单脉冲低。分...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(09):093102

 HfO₂/SiO₂高反镜内驻波场分布对其飞秒激光诱导损伤行为的影响

陈顺利 赵元安 贺洪波 邵建达

[摘要]本文采用钛蓝宝石飞秒激光系统（带宽50fs、中心波长800nm），对两种HfO2/SiO2高反镜（标准λ/4设计和驻波场优化设计）的单脉冲和多脉冲损伤行为进行了研究。结果表明，在单脉冲和多脉冲作用下，两种膜系的损伤形貌均...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(08):083101

 离子辅助偏压对HfO₂和SiO₂单层膜的性能的影响

朱美萍 易葵 范正修 邵建达

[摘要]本文在K9玻璃基底上制备了HfO2和SiO2单层膜，利用莱宝公司的APS源对其进行等离子体辅助。HfO2单层膜采用偏压为70到130V的能量进行辅助，SiO2单层膜采用偏压为70到170V的能量进行辅助。对薄膜的光学、结构、机械性能，...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(02):023101

 Ta₂O₅和Nb₂O₅单层膜及高反膜激光损伤阈值的对比研究

许程 赵宇龙 强颖怀 朱亚波 郭立童 邵建达

[摘要]采用电子束蒸发方法，在BK7基底上分别镀制了Ta2O5和Nb2O5薄膜，并在空气中进行了673 K退火处理。本文对这两种薄膜的光学透过率、微结构、化学组成、吸收和激光损伤阈值进行了对比研究。结果表明，非化学计量比缺陷对...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(01):013102

 Cr∶LiSAF飞秒激光器中Gires-Tournois镜的设计

廖春艳 范正修 邵建达

[摘要]飞秒激光脉冲的产生主要依赖于激光腔内净的负群延迟色散.但是在固体激光器中，增益介质和其它光学元件却引入了正色散，因此需引入相应的色散补偿机制.布儒斯特角棱镜对曾是激光腔中色散补偿的主要办法，但是它在进行...

 PDF全文光子学报 | 2011, 40(08):1177-1180