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   将选定结果: 

 一种用于MOCVD石墨盘的红外测温装置

杨超普 方文卿 阳 帆 刘苾雨 李 春 张美丽 韩 茜 刘彦峰

[摘要]根据MOCVD (metal organic chemical vapor deposition)在线红外测温的发展需要,结合Thomas Swan CCS MOCVD反应室的结构特征,考虑加热比调节空烧过程的特定条件,设计了一种能够在线监测MOCVD石墨盘上表面温度及径...

 PDF全文应用光学 | 2018, 39(04):579

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