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 SOI纳米光波导激光熔凝光整加工温度场的数值模拟及分析

闫树斌 陈慧斌 韵力宇 焦国太

[摘要]激光表面熔凝技术可有效降低纳米光波导侧壁粗糙度进而减小光传输的散射损耗。为明确波导侧壁在KrF准分子激光表面熔凝过程的温度场演化规律,考虑材料参数随温度变化和相变潜热的影响,建立了纳米光波导侧壁激光熔凝的...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2017, 29(10):104102

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