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 大型环抛机蜡盘平面度的测量

王 哲 徐学科 邵建达 顿爱欢 杨明红 范永涛 方媛媛 高文兰 刘 方

[摘要]针对大口径平面光学元件全频谱面形技术指标的高效率、高精度收敛, 研究了环形抛光技术。考虑环抛机沥青蜡盘的平面度直接影响工件面形的收敛效率, 本文利用准直激光束作为参考, 设计研制了测量精度高, 重复性精度达到...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):3048

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