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 纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析

卢增雄 齐月静 齐威 苏佳妮 彭卓君

[摘要]在基于夏克-哈特曼波前传感器的深紫外物镜系统波像差检测中，均匀高亮度的照明光束是实现纳米精度波像差检测的关键。采用时域有限差分法和部分相干性理论对随机排列微孔阵列衍射波前的强度对比度进行了优化。与周期排...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0612007