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 光刻机照明系统光瞳特性参数的评估算法

甘雨 张方 朱思羽 龚爽 黄惠杰 杨宝喜

[摘要]针对光刻机照明系统的实际应用需求, 提出了一种光瞳特性参数的评估算法。该算法通过对光瞳强度分布进行转换, 可以在不同照明模式下同时计算光瞳椭圆度、X方向光瞳极平衡性、Y方向光瞳极平衡性和四象限光瞳极平衡性等...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(03):0304007

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