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 像TIAN Yiqiang, JIANG Tingjia, GAO Pengfei, TIAN Yuan, JIANG Man, GUO Hanming, ZHUANG Songlin散法离焦检测中的像散透镜参数设计

田毅强 蒋庭佳 高鹏飞 田媛 姜曼 郭汉明 庄松林

[摘要]推导出了离焦量与聚焦误差信号功率的关系式。利用MATLAB软件仿真, 详细分析了像散透镜系统各个参数对离焦量、灵敏度、光斑大小等的影响, 得到了像散圆透镜与像散柱透镜焦距之间的距离关系。结果发现聚焦物镜和探测器...

 PDF全文光学技术 | 2012, 38(04):435-440

 Software Method for the Extension of the STM/AFM Measuring Range

CHEN Jiabi LOU Xiaoxiao CAO Junqing ZHUANG Songling WU Wei LIANG Zhongcheng

[摘要]

 PDF全文Chinese Journal of Lasers B | 1999, 8(02):173-178

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