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   将选定结果: 

 一种新的铁电薄膜快速热处理工艺的研究

李建康 姚熹

[摘要]使用一种新的快速热处理的方法制备出Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,该方法的主要设备为链式热处理炉,它主要分为三部分,即预热带、加热带和冷却带.溶胶的配制采用先通过减压蒸馏的方法得到干凝胶,再将干凝胶溶解在乙二...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2004, 23(02):91-94

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