首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '投影物镜', 共找到 57个内容。

   将选定结果: 

 便携式投影仪投影物镜设计

王康 段洁 周见红 王晨 付跃刚

[摘要]针对当前投影仪光源功耗大, 光投影稳定性差, 系统结构大的缺点, 利用Zemax软件, 设计出了一款大视场, 短焦距, 结构紧凑, 适用于便携式投影仪的投影物镜系统。经过优化处理, 最终获得的结构具有良好的成像质量, 在空间...

 PDF全文应用光学 | 2019, 40(02):316

 光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法

孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 杨朝兴

[摘要]提出一种基于琼斯光瞳的光刻投影物镜偏振像差检测方法。推导了基于琼斯矩阵的检测方程,建立了光强矢量与琼斯矩阵克氏积的线性关系,利用该线性关系直接检测琼斯光瞳形式的偏振像差。以一个典型的光刻投影物镜的琼斯...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(03):0312004

 深紫外光刻投影物镜的三维偏振像差

贺文俊 贾文涛 冯文田 郑 阳 刘智颖 付跃刚

[摘要]深紫外光刻投影物镜是光刻机的核心部件, 然而无论是照明光场偏振态的空间分布, 还是光刻投影物镜自身的偏振像差都将改变光束的紧聚焦特性, 对成像质量造成不可忽略的影响。基于三维琼斯矩阵, 把偏振像差函数推广到三...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(08):0818006

 采用折反式成像的超短焦距投影物镜设计

李润芝 杨波 张婧京 万新军 张薇

[摘要]为了使投影设备具有超短投影距离, 实现大尺寸高清显示画面, 设计了一款采用折反式成像光路的具有大相对孔径和小投射比的超短焦距投影物镜。系统使用12mm(0.47in)DMD微显示芯片, 在450mm距离处实现了2032mm(80in)的投...

 PDF全文光学技术 | 2018, 44(03):305

 基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术

诸波尔 李思坤 王向朝 戴凤钊 唐锋 段立峰

[摘要]提出了一种基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术。通过采用一元线性采样方式,在不同偏振照明条件下采集浸没式光刻机投影物镜的空间像进行主成分分析,在快速建模的同时实现高阶波像差的高精...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0712004

 分段环形曲面的光学描述和设计方法

陈海龙 高阳 程德文 黄一帆 王涌天

[摘要]提出了分段环形曲面的面型描述及设计方法。提出了一种从非球面到分段环形曲面的高精度转换方法来建立初始曲面,并讨论了分段环形曲面的优化策略、实现方法和约束条件。将所设计的分段环形曲面应用于一款超短焦投影物...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(05):0522002

 浸没式光刻投影物镜光学薄膜

毕丹丹 张立超 时 光

[摘要]深紫外光刻是目前集成电路制造的主流方法, 为实现更小的元件特征尺寸, 必须采用浸没式投影物镜以提高光学系统的分辨率, 由此向其中的薄膜光学元件提出了众多苛刻的要求。本文介绍了适用于浸没式光刻系统的薄膜材料及...

 PDF全文中国光学 | 2018, 11(05):745

 变焦投影物镜光学系统设计

罗春华 岳品良 张东虎 梁久伟

[摘要]设计了在相同光学引擎、相同屏幕位置下, 能满足不同屏幕尺寸需要的变焦投影物镜。该变焦投影物镜的焦距变化范围为22 mm~37 mm, 视场角为46°~75°, F数为2.8。考虑设计的光学系统要求相对孔径较大, 具有大视...

 PDF全文应用光学 | 2017, 38(02):180

 超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 孟泽江 张恒 戴凤钊 段立峰

[摘要]提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记的空间像进行主成分分析(PCA)和多元线性回归分析,构建了超高NA光刻投影物镜的空间像光强分布与高阶波像差之...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(04):0412003

 基于粒子群优化算法的光刻机光源掩模投影物镜联合优化方法

王 磊 李思坤 王向朝 杨朝兴

[摘要]全芯片多参数联合优化是光刻分辨率增强技术的重要发展方向。提出了一种基于粒子群优化(PSO)算法的光源掩模投影物镜联合优化(SMPO)方法。将由像素表征的光源、由离散余弦变换基表征的掩模及由泽尼克系数表征的投影...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(10):1022001

 光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试

彭海峰 于新峰 秦硕

[摘要]恒温水套是光刻物镜工作环境温度控制系统的重要组成部分。为了研究恒温水套的关键参数与性能,设计了一个小比例水套模型。恒温温控系统对其提供±0.001 ℃的去离子水,通过对比三镜光机系统温度变化及热像差变化...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(08):081201

 深紫外光刻投影物镜温度特性研究

姚长呈 巩岩

[摘要]透镜材料对激光能量的吸收导致深紫外光刻投影物镜温度升高,产生热像差。离轴照明模式下,温度呈非对称分布,研究温度场对热像差的仿真预测和补偿具有十分重要的意义。提出了温度分布函数模型描述4种照明模式下物镜的...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(05):0516001

 用于数字光刻的非对称式投影物镜设计

邝 健 周金运 郭 华

[摘要]针对DMD数字光刻, 利用ZEMAX光学设计软件, 设计出了一套适用于型号 0.7XGA DMD的10片式光刻投影物镜。该物镜采用非对称性结构, 前组为改进的三分离物镜, 后组为匹兹伐物镜加平像场镜, 分辨率为2 μm, 近轴放大倍率为...

 PDF全文应用光学 | 2016, 37(01):52

 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术

方伟 唐锋 王向朝 朱鹏辉 李杰 孟泽江 张恒

[摘要]Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测,并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光场传播公式、离散化条件及...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(10):1012002

 超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 闫观勇 沈丽娜 段立峰

[摘要]提出了一种基于空间像主成分分析的超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法。通过采用偏振光照明和矢量光刻成像模型并考虑投影物镜的偏振像差,准确表征了超大数值孔径光刻机的空间像,从而提高了像差检测模型的精...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(01):0112002

 掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响

杨旺 黄玮 尚红波

[摘要]为使光刻投影物镜满足光刻工艺的要求, 研究了掩模位置误差对光刻投影物镜引入的畸变。采用勒让德多项式描述光刻投影物镜的畸变, 并应用勒让德多项式对光刻投影物镜进行了畸变分析及畸变补偿。利用以上方法, 对一台工...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(03):469

 光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计

陈华男 郭抗 张玲花 刘健 尚红波

[摘要]X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件 X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链, 设计柔性二级减速机构, 并将之应用到新型的一体式 X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上, 对 X-Y向柔性调节机构结...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(06):50

 90 nm DUV光刻物镜重力变形及其对波像差影响分析

张芸 刘丽辉 李艳秋 刘岩

[摘要]本文基于数值孔径为0.75, 满足90 nm 技术节点的DUV 光刻物镜系统, 采用在透镜边缘施加支撑力的方式进行重力变形控制。采用有限元法研究透镜表面非球面变形与补偿力的关系, 分析补偿后透镜重力变形对系统波像差的影响...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(03):71

 Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究

吴飞斌 唐锋 王向朝 李杰 李思坤

[摘要]Ronchi剪切干涉采用扩展光源调制光场空间相干性,具有干涉仪结构简单、共光路、零条纹检测等优点,适合用于光刻机投影物镜波像差原位检测。基于Ronchi剪切干涉的投影物镜波像差检测技术及系统,根据光栅衍射和空间相...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(03):0308008

 具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构

赵 磊 彭海峰 于新峰 东立剑

[摘要]光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为满足透镜面形精度RMS 值优于1~2 nm 的指标要求,本文提出了一种具有整体径向挠性的透镜多点均匀支撑结构,基于自重变形和热变形对支撑块尺寸进...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(10):43

 利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差

赵阳 王平 史振广 谷勇强 刘春来 门树东

[摘要]极小像差投影物镜中的高阶像差很难通过调节机构消除,是约束像质进一步补偿优化的瓶颈.离子束溅射(IBF)设备广泛应用于光学加工中,能够较好地去除低频和中频误差,实现高精度面形精修.对现有投影物镜小比例验证模型的系...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(08):0822004

 Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析

吴飞斌 唐锋 王向朝 李杰 李永

[摘要]在分析Ronchi 相移剪切干涉仪典型系统参数的基础上,系统研究了该干涉仪相位提取精度的主要影响因素。结合传统的五步相移算法,采用所提出的八步与十步相移算法,对Ronchi相移剪切干涉仪的相位提取误差进行理论分析和...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0612004

 投影物镜偏振像差对光刻成像质量影响的解析分析方法

沈丽娜 李思坤 王向朝 闫观勇

[摘要]提出一种分析线性偏振照明条件下投影物镜偏振像差对交替相移掩模(Alt-PSM)空间像影响的解析方法。基于矢量光刻成像理论,从掩模空间像的光强分布推导出偏振像差引起的空间像图形位置偏移误差(IPE)和最佳焦面偏移(BFS...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0611003

 超短投影距的投影物镜设计

卞殷旭 王恒 王恒 李海峰 刘旭

[摘要]为了实现微型数字光处理(DLP)投影仪的超短投影距离的目的,先根据成像关系计算构建了非球面光学曲面的面型,再对投影镜头整体优化,设计了一个含有两片奇次多项式非球面的广角投影物镜。镜头的物方F=2,焦距4 mm,像...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(12):1222002

 电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定

葛川 张德福 李朋志 郭抗 李佩玥 杨怀江

[摘要]由于光刻投影物镜装调中电容传感器的线性度指标不能够满足位移调节精度的需求,本文提出了一种提高电容传感器测量线性度的方法。该方法采用压电驱动器提供位移进给;采用高精度激光测长干涉仪校准电容传感器的线性度,提...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(09):2546

 高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化

徐明飞 黄玮

[摘要]考虑高数值孔径(NA)投影光刻物镜视场较大、波像差分布不均匀, 本文提出了一种自动优化设计方法来降低设计过程中出现的全视场最大波像差。该方法通过将一个自动调节采样视场权重的循环程序附加在光刻物镜的局部优化程...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(08):2143

 调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响

张德福 李显凌

[摘要]针对深紫外光刻投影物镜的像质补偿要求,对偏心调节时的透镜进行受力分析,基于柔度矩阵法设计了一种柔性多弹片透镜支撑结构,研究了透镜面形随调节力的变化规律,采用有限元法分析了调节力与透镜面形峰谷(PV)值、均...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(07):0716004

 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析

李杰 唐锋 王向朝 戴凤钊 冯鹏

[摘要]在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置,给出其适用范围的基础上,系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差:几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项的解析表达式;对...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(05):0508006

 共轭距可变的光刻投影物镜光学设计

蔡燕民 王向朝 黄惠杰

[摘要]一种用于印刷电路板(PCB)的激光直接成像(LDI)光刻设备,需要加工高密度互连(HDI)基板的厚度变化范围为0.025~3 mm,为此设计了一种共轭距可变的光刻投影物镜。采用双远心光路结构,通过压缩物方和像方远心度误差的...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(04):0416003

 亚10 μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定

雷亮 李浪林 袁炜 刘新 周金运

[摘要]采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405 nm半导体激光器为光源、分辨精度达5 μm、视场12 mm×12 mm 内波像差小于1/4波长、畸变小于0.005%的双远心投影光刻物镜的设计方法。将设计的物镜实物...

 PDF全文应用光学 | 2014, 35(02):311-315

首页上一页123下一页尾页