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 应用于芯片原子钟的微碱金属气室制备与研究

汤跃 任子明 李云超 胡旭文 张彦军 闫树斌

[摘要]利用感应耦合等离子体深硅刻蚀机与阳极键合机, 制备出了应用于芯片原子钟的碱金属气室。以AZ4620光刻胶为硅片掩模, 研究了深硅刻蚀后硅表面的形貌特征, 对比了不同结构下深硅刻蚀速率。经过阳极键合, 获得了三明治结...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(04):040201

 基于ANSYS仿真的阳极键合薄膜形变量的研究

葛益娴 彭波 张鹏 赵伟绩

[摘要]阐述了一种利用阳极键合技术加工的光纤法布里珀罗MEMS压力传感器的工作原理,建立了考虑阳极键合产生的热应力作用下边界固支的圆膜受外加压力的薄膜形变量公式。利用有限元分析软件ANSYS对与玻璃环键合后实际结构中...

 PDF全文半导体光电 | 2017, 38(02):212

 基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作

朱甲强 张卫平 唐健 邢亚亮 孙殿竣 吴校生 崔峰 刘武 成宇翔 赵万良

[摘要]提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法。该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺...

 PDF全文半导体光电 | 2017, 38(02):199

 SOI压阻传感器的阳极键合结合面检测

陈立国 王 挺 李亚娣 潘明强

[摘要]由于当前绝缘体上硅(SOI)压阻传感器芯片的封装质量仍依赖人工检测,本文提出了一种自动实现该项检测的视觉检测方法。分析了压阻传感器的工作原理, 研究了芯片定位精度和结合面质量对传感器性能的影响。以传感器性能...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(06):1382

 谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装

陈德勇 曹明威 王军波 焦海龙 张健

[摘要]为了提高传感器的品质因数,有效保护谐振器,提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)-玻璃阳极键合工艺的谐振式微电子机械系统(MEMS)压力传感器的制作及真空封装方法。该方法采用反应离子深刻蚀技术(DRIE),分别在SOI晶...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(05):1235-1242

 芯片级原子器件MEMS碱金属蒸气腔室制作

尤政 马波 阮勇 陈硕 张高飞

[摘要]提出了基于两步低温阳极键合工艺的碱金属蒸气腔室制作方法,用于实现原子钟、原子磁力计及原子陀螺仪等器件的芯片级集成。由微机电系统(MEMS)体硅工艺制备了腔室结构。首先采用标准工艺将刻蚀有腔室的硅圆片与Pyrex玻...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(06):1440-1446

 单晶硅振动环陀螺仪的制作

张明 陈德勇 王军波

[摘要]为了简化电容式振动环陀螺仪的制作方法,进一步提高成品率,提出了一种结合反应离子深刻蚀(DRIE)与阳极键合的陀螺仪制备方法。分析了振动环陀螺的工作原理,指出了传统工艺存在的缺陷;对该制作方法所采用的工艺流程...

 PDF全文光学 精密工程 | 2010, 18(11):2454-2460

 硅压力传感器中硅玻璃阳极键合的热应力分析

张强 王鸣 戎华

[摘要]由于硅与玻璃阳极键合需要在相对较高的温度下进行,因此材料之间会因热膨胀系数失配而产生较大的热应力,该应力对压力传感器的性能影响较大。对采用单晶硅横膈膜作为敏感膜与玻璃环阳极键合形成压力参考腔的封装,用...

 PDF全文光学与光电技术 | 2009, 7(03):33-36

 基于硅微加工技术的新型变形反射镜

余洪斌 陈海清 张大成 竺子民 李婷

[摘要]给出了一种基于硅微加工技术的新型变形反射镜的设计和加工方法.变形反射镜镜面主体是由一定厚度的硅膜构成,硅膜上表面溅射有一层Ti/Au,背面有一7×7阵列的台柱与之相连,台柱下方是对应的驱动电极.当给电极施加电...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2004, 16(07):825-829

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