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 16 nm极紫外光刻物镜热变形对成像性能影响的研究

李艳秋 刘岩 刘丽辉

[摘要]16 nm极紫外光刻(EUVL)物镜热变形是影响其高分辨成像的主要因素之一。为了给EUVL系统热管理提供可靠的技术依据, 对数值孔径为0.33且满足16 nm技术节点的典型EUVL物镜进行热变形仿真研究。采用有限元软件ANSYS仿真曝光...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(01):0122001

 基于海空模型的红外热成像系统成像影响分析

邵 龙 白廷柱 郑海晶 张 硕 陈 莹

[摘要]基于海空红外图像提出了海空大气模型,分析并研究了大气环境对红外热成像系统成像的对比传递函数。以红外热成像系统为例,对海空大气模型中斜程路径的大气对比传递函数进行了计算,分析了观测距离、大气密度、目标海...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(11):111104

 高衍射效率衍射望远镜系统的设计/加工及成像性能测试

王若秋 张志宇 国成立 薛栋林 张学军 刘华

[摘要]为提高衍射效率, 设计并制作了口径为300 mm的衍射成像系统.该系统的物镜是由一块四台阶位相型菲涅尔波带片通过激光直写套刻和Ar离子束物理刻蚀技术在石英玻璃基板上加工而成.测试了衍射物镜的衍射效率, 实验结果表明...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(03):0322001

 基于BOM的红外成像导引算法评估系统设计

赵猷肄

[摘要]以红外成像空空导弹为仿真对象, 采用BOM(基本对象模型)开发标准设计红外成像导引的层次化结构模型, 介绍了系统组成, 阐述了基于最大距离法的图像分割算法和综合评价目标的识别算法, 研究了形心和相关跟踪算法的应用条...

 PDF全文光电技术应用 | 2017, 32(01):60

 辐射成像系统模拟软件NUCRPD的研发与应用

吴小刚 武 祯 明申金 朱国平 黄 铭 邹 伟 李春艳 侯利娜 凌松云 刘必成 梁 松 邓艳丽 李玉兰 李君利

[摘要]在辐射成像系统的设计研发中, 经常需要计算系统的各项物理性能指标。为了提升产品研发的效率, 同方威视联合清华大学, 基于蒙特卡罗程序包Geant4, 研发了国内首套具有自主知识产权的辐射成像系统模拟软件NucRPD(NUCTE...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2017, 29(12):126003

 高空高速环境热光学分析及光学窗口设计

范 达 明 星 刘昕悦 王国名 郭文记 黄 旻 董登峰

[摘要]为提高高空高速环境下机载光谱相机光学系统的成像性能,分析了飞行高度对光学窗口面型变形的影响,合理设计光学窗口厚度。基于有限元流固耦合、流热耦合模型,仿真高空高速环境下气动压力、气动热载荷对光学窗口的作用,...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(08):0818001

 光谱可调谐式高分辨率光学载荷校准技术

史朝龙 孙红胜 王加朋 孙广尉 吴柯萱

[摘要]基于对高分辨率光学载荷测试设备开展现场计量和校准的迫切需求, 建立一套光谱可调谐式高分辨率光学载荷校准装置, 该装置中光谱可调谐光源可以发出300~800 nm范围内任意光谱分布的光能, 再通过空间调制系统形成无穷远...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(11):1117007

 微透镜阵列加工误差对光学性能的影响

田霏 刘现磊 张效栋 房丰洲

[摘要]研究了微透镜阵列加工误差对光学系统成像性能的影响规律,寻求利于改善光学性能的面形误差分布。对面形误差与波前像差之间的转换矩阵进行建模,使仿真与计算的波前像差达到纳米级的误差精度,选用具有正交性的Zernik...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(02):0222002

 用于空间望远镜的膜光子筛

刘民哲 刘华 许文斌 王泰升 卢振武 鱼卫星

[摘要]针对空间衍射成像系统对大口径、结构轻量化、空间可展开等特性的要求,设计并制作了用于空间望远镜的新型衍射元件——PI薄膜光子筛。首先,分析了光子筛的设计理论;针对空间应用的特点和原则,采用振幅型光子筛的设...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(08):2127-2134

 高成像质量光学系统的元件旋转补偿

刘春来 黄玮 尚红波 许伟才 杨旺

[摘要]在高成像质量的光学系统的集成制造中,受元件的面形和材料的均匀性误差的影响很难满足极限的成像质量要求,必须采用多种像质补偿措施,元件的旋转补偿是其中必要的像质补偿措施之一。提出了一种光学系统光学元件旋转...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(09):0911001

 22 nm极紫外光刻物镜热和结构变形及其对成像性能影响

杨光华 李艳秋

[摘要]极紫外光刻技术(EUVL)是半导体制造实现22 nm及其以下节点的下一代光刻技术。在曝光过程中,EUVL物镜的每一面反射镜吸收35%~40%的入射极紫外(EUV)能量,使反射镜发生热和结构变形,影响投影物镜系统的成像性能。...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(03):0322005

 临边成像光谱仪信噪比分析及实验研究

薛庆生 王淑荣 李福田 林冠宇 段民征

[摘要]临边成像光谱仪是一种对大气遥感探测有重要研究和应用价值的新型空间光学遥感仪器。 信噪比是定量评价成像光谱仪成像质量和辐射性能的的一项重要指标, 信噪比的估算和测量对成像光谱仪的研制至关重要。 针对临边成像...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2010, 30(06):1697-1701

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