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 基于广义Maxwell模型非球面透镜模压成型的仿真分析

胡军 许凯乐 马壮壮 马强

[摘要]为优化非球面透镜模压成型过程中的工艺参数,利用MSC.Marc软件建立了二维轴对称模型。基于五单元广义Maxwell黏弹性模型对D-ZK3玻璃材料的模压成型过程进行有限元仿真,分析了玻璃预制体和模具等效应力的变化以及模压温...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2020, 57(09):092201

 基于信赖域狗腿法的非球面抛光后置处理方法

杨航 赵功 张强 汪玉兰 黄文 何建国 贾阳

[摘要]提出利用信赖域狗腿法解决通用非球面光学元件抛光后置求解的强非线性问题。基于低序体表示和齐次变换方法建立适用于任意非球面面形和任意轨迹抛光的正向运动学模型;基于信赖域狗腿法建立强非线性正向运动学模型的数值...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2020, 57(05):052202

 磁流变抛光流场瞬变过程响应时间

杨航 宋书飘 张帅 甘欢 黄文 何建国

[摘要]提出一种磁流变抛光瞬变过程多相颗粒流模型,获得了瞬变过程在宏观、介观、微观三个层次的力学关联,从而建立了基于三向在位力学信号的瞬变过程表征方法,在位、同步、动态地测定了磁流变抛光的三向力学信号,解决了毫米...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2020, 57(03):032201

 环形抛光中方形元件塌角控制方法的理论分析

张慧方 顿爱欢 徐学科 陈军 吴福林 吴伦哲

[摘要]全口径环形抛光中方形元件的材料去除率存在从中心到边角位置越来越大的现象,致使抛光工件出现塌角的面形,影响了方形光学元件的面形质量。基于Preston方程,通过改变元件的多种运动轨迹,计算了方形光学元件全口径的材料...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(04):0402001

 小工具修正下抛光盘材料的去除特性

孙荣康 王金栋 成聪 廖德锋

[摘要]环形抛光是大口径平面光学材料加工的首选方式,特别是在大口径平面光学元件的超精密加工中占有重要地位。抛光盘表面形状是影响元件面形精度的直接因素。为了研究小工具对抛光盘表面材料的去除特性,首先需要准确测得抛...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(04):0403001

 激光选区熔化Ti-6Al-4V在医疗器械领域的研究现状

陈锦堂 郭紫莹 王成勇 谭超林 胡映宁 刘建业

[摘要]激光选区熔化技术(SLM)因其具备高复杂结构制造能力而在医疗器械制造上展现着独特的优势。近年来, SLM在医疗器械制造上日趋活跃, 综述了基于激光选区熔化成形、应用于创伤外科医疗器械生产制造Ti-6Al-4V的研究现状。包...

 PDF全文激光技术 | 2020, 44(03):288

 变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真

张景文 范 斌 李志炜 汉 语

[摘要]为了提高刻蚀的均匀性, 对400mm反应离子刻蚀(RIE)腔室建立了气体流动的连续流体模型和热传递模型, 研究了反应腔室内压强、流速和温度分布。冷却板恒温285K时, 依次改变入口流量和出口压强, 分别分析了腔室内部基片...

 PDF全文激光技术 | 2020, 44(01):136

 基于光刻胶三维形貌的光刻多参数联合优化方法

茅言杰 李思坤 王向朝 韦亚一 陈国栋

[摘要]多参数联合优化是光刻分辨率增强技术的发展方向。提出了一种以光刻胶三维形貌差异为评价目标的光刻多参数联合优化方法。以多个深度位置的光刻胶图形误差为目标函数,对光源、掩模、投影物镜波前、离焦量和曝光剂量进行...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(04):0422002

 基于粒子群退火优化BVMD方法的超精密加工表面空间频率分解

高炜祥 李星占 郑华林 胡腾

[摘要]超精密加工工件表面存在影响其性能的各种空间频率误差,针对工件的不同性能研究,需要采用有效分解手段对含有特定频段空间频率误差的形貌进行提取。传统的空间频率误差分解方法存在严重的模态混叠现象,为了解决这一问题...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(11):1122001

 光学加工过程中高次非球面的三坐标测量数据处理

李 昂 王永刚 邬志强 张继友

[摘要]三坐标轮廓检测是大口径高次非球面确定性加工过程中的主要面形测量手段。由于原始三坐标数据包含较大的检测误差,无法直接应用于加工过程,本文提出了一组数据处理算法对误差进行全面去除。首先,对获取的检测数据采...

 PDF全文中国光学 | 2020, 13(02):302

 硫系阵列光学元件可模压性的仿真与分析

王蕾 薛常喜 贾孟 刘悦 李闯 兰喜瑞 王伦 吴百融

[摘要]为了预测微透镜阵列玻璃模压成型过程中微结构的加工工艺参数,利用高级非线性有限元软件MSC.Marc进行微透镜阵列的有限元建模;将不同微结构宽度的阵列光学元件进行分组,利用有限元模型分别计算每组硫系阵列光学元件的微...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(20):202201

 WC增强Ni60AA对裂纹与硬度的影响

李高松 李金华 单鹏超 冯伟龙

[摘要]采用光纤激光器在冷模具钢的表面制备出含有原位WC增强的镍基合金陶瓷涂层。采用倒置金相显微镜观察熔覆层裂纹的宏观形貌以及冰晶状WC随比粉、比能和送粉电压的变化情况。采用显微硬度计测量熔覆层的显微硬度。结果表...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(02):021602

 手持式激光诱导击穿光谱仪对铝合金中镁钛元素的定量分析

李婧御 陈宽 陈国飞 李扬彦 曾爱军 辛煜

[摘要]在常温常压下, 采用手持式激光诱导击穿光谱仪(LIBS)对铝合金中的镁、钛元素进行定量分析, 以验证其稳定性及可靠性。手持式LIBS内置1064 nm Nd∶YAG 脉冲激光器, 光路为反射式同轴结构。实验中采用AvaSpec-Mini 2048光...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(02):023002

 抛光过程中光学元件表面划痕的形成和控制

汤文龙 梁尚娟 焦翔 樊全堂 尹进 朱健强

[摘要]通过在石英玻璃的抛光过程中引入α-Al2O3颗粒,对抛光过程中石英工件表面产生的划痕类型和收尾阶段不同粒径杂质颗粒产生的划痕长度进行分析,同时研究了抛光液质量分数和抛光盘结构对石英玻璃抛光质量的影响。结果表明...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(12):1202009

 多杆机构复合摆动轨迹抛光方法对光学元件中频误差的抑制

赖璐文 刘志刚 焦翔 朱健强

[摘要]针对高功率激光系统中传统小工具抛光方式带来的较大中频误差影响高功率激光系统稳定性和可靠性的问题,提出了基于简谐运动的复合摆动轨迹抛光方法,并建立了数控多杆机构复合摆动轨迹抛光系统;根据小工具抛光基本原理可...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(11):1102001

 新型光刻技术研究进展

何立文 罗 乐 孟 钢 邵景珍 方晓东

[摘要]集成电路光刻作为传统光刻技术的典型代表, 支撑着集成电路芯片的快速发展。新一代光刻技术具有工艺多样化、光刻精度高、光刻效率高的优点, 在研发新型光电子器件、实现3维微纳结构、构建有序纳米孔通道等方面有很大的...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(01):30

 基于差分进化算法的光刻机匹配方法

茅言杰 李思坤 王向朝 韦亚一

[摘要]提出一种基于差分进化算法和微反射镜阵列(MMA)光源模型的光刻机匹配方法。加入MMA光源模型,利用差分进化算法优化微反射镜光斑分布,以实现光刻机匹配。与通常用于自由照明系统的光刻机匹配方法相比,本方法能直接优化M...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(12):1222002

 应用旋转法实现大口径非球面反射镜零重力面形加工

孟晓辉 王永刚 李文卿 陈建丞 周于鸣 张继友

[摘要]为了在地面制造环境下实现大口径空间非球面反射镜的零重力面形加工, 建立了基于重力卸载的高精度旋转检测工艺方法。首先对N次等间隔旋转法的基本原理进行了介绍, 并结合一块Ф1 290 mm ULE材料的非球面反射镜加工实例...

 PDF全文光学 精密工程 | 2019, 27(12):2517

 Directly writing binary multi-sector phase plates on fused silica using femtosecond laser

Li Zhou Youen Jiang Peng Zhang Wei Fan Xuechun Li

[摘要]

 PDF全文High Power Laser Science and Engineering | 2018, 6(01):e6

 基于有限元仿真的硫系玻璃模压工艺参数优化

刘学儒 薛常喜

[摘要]基于硫系玻璃材料Ge23Se67Sb10的热机械特性,建立了模压工艺模型,仿真模拟了模压温度、摩擦系数及模压速率对硫系玻璃材料模压成型后等效应力的影响。与L-BAL42材料的模压仿真数据进行对比,讨论了硫系玻璃与传统可见...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(08):082203

 1.2 m轻量化空间反射镜的重力支撑变形分离

张珑 叶璐 张金平 郑列华

[摘要]在地面环境检测的空间反射镜面形主要是镜面加工残差和重力支撑变形等耦合的结果.为实现1.2 m轻量化空间反射镜的重力支撑变形分离, 通过测量镜面在等梯度支撑力下的面形, 由镜面力学响应得到镜面畸变和支撑力变化的关...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(07):0722002

 基于磁控溅射和ICP刻蚀的RB-SiC表面平坦化工艺

赵杨勇 刘卫国 惠迎雪

[摘要]采用射频磁控溅射技术在RB-SiC表面沉积Si平坦化层, 通过正交试验研究了射频功率、Ar流量和工作气压三个因素对薄膜表面质量和形貌的影响规律, 以获取最佳的薄膜沉积参数.射频功率120 W、工作气压1.2 Pa和Ar流量40 scc...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(03):0324001

 Ф1300mm非球面反射镜的加工与检测

王聪 陈思羽 吕天斌 郭文

[摘要]介绍一块Ф1300mmULE材料非球面反射镜的加工与检测方法。采用非球面超声铣磨、机器人研抛等多个工序组合加工技术完成了非球面反射镜的加工。在非球面检测中, 采用大口径三坐标测量的方法进行了研磨阶段的面形检测, 通...

 PDF全文光学技术 | 2018, 44(02):221

 超快激光制孔辅助吹气优化的仿真与实验研究

李朋 贺斌 田东坡 康伟 焦悦

[摘要]同轴吹气结构辅助吹气对飞秒激光深孔加工效率有着重要影响, 但在加工过程中存在排渣效果较差等情况。为了提升排渣能力, 采用ANSYS CFD软件分别仿真了同轴吹气、旁轴吹气以及双路吹气的流场分布, 并设计双路辅助吹气实...

 PDF全文激光技术 | 2018, 42(05):583

 射流抛光高斯型去除函数的快速生成方法

李建 张连新 孙鹏飞 王中昱 柯瑞

[摘要]提出了一种快速生成高斯型去除函数的实验方法。通过研究倾斜定点入射方式下射流束中心与工件的交点和材料去除形貌之间的关系,得到了对应高斯型去除函数的喷嘴高度范围。在确定的工艺参数条件下,添加主轴旋转运动,...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0722002

 大口径非球面系统的共基准加工与检验

王孝坤 薛栋林 张学军

[摘要]针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点, 提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法, 对该方法的基本原理和实现过程进行了分析和研究。当光学系统的主镜和第三镜面形的RMS值优于λ/10(λ=632.8 nm)时, 对主镜和...

 PDF全文光学 精密工程 | 2018, 26(04):743

 空间同轴三反相机Φ520 mm次镜的加工与检测

孟晓辉 王永刚 马仙梅 李文卿 李 昂 张继友

[摘要]为了满足空间同轴三反相机对大口径凸非球面高精度的面形质量和精确的几何参数控制要求, 提出以计算机控制确定性研抛工艺为核心的多工序组合加工及检测技术。在加工阶段, 首先利用超声振动磨削技术对非球面进行面形铣...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(08):0818002

 新型凹锥形表面增强拉曼散射光纤探针的制备

杜怀超 陈振宜 陈 娜 刘华健 徐文杰 张 恒 刘书朋 王廷云

[摘要]研制了一种新型凹锥形表面增强拉曼散射(SERS)光纤探针,研究了光纤探针凹锥形结构的制备方法,分析了凹锥光纤探针形貌与腐蚀时间的关系,通过化学自组装法将金纳米颗粒固化到凹锥内表面,制成凹锥SERS光纤探针,并...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(02):0213001

 大视场宽景深双远心系统的设计

高兴宇 陈朋波 李明枫 叶 鹏 李明东

[摘要]为了满足基于机器视觉的复杂零件表面质量在线实时检测的需求, 根据双远心成像原理和像差理论基础, 采用ZEMAX光学设计软件, 设计了一款大视场宽景深的双远心光学系统。所设计的系统仅由6块透镜组成, 工作波长在可见光...

 PDF全文激光技术 | 2017, 41(02):182

 极紫外光刻动态气体锁抑制率的实验研究

陈进新 王 宇 谢婉露

[摘要]开展了动态气体锁抑制率的实验研究,设计了一套极紫外真空动态气体锁实验验证系统;进行了真空抽气系统的详细设计,形成了具有实际可操作性的真空系统的最终布局;指出了该实验验证系统的验证方法;进行了动态气体锁...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(02):0222002

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