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 WC增强Ni60AA对裂纹与硬度的影响

李高松 李金华 单鹏超 冯伟龙

[摘要]采用光纤激光器在冷模具钢的表面制备出含有原位WC增强的镍基合金陶瓷涂层。采用倒置金相显微镜观察熔覆层裂纹的宏观形貌以及冰晶状WC随比粉、比能和送粉电压的变化情况。采用显微硬度计测量熔覆层的显微硬度。结果表...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(02):021602

 手持式激光诱导击穿光谱仪对铝合金中镁钛元素的定量分析

李婧御 陈宽 陈国飞 李扬彦 曾爱军 辛煜

[摘要]在常温常压下, 采用手持式激光诱导击穿光谱仪(LIBS)对铝合金中的镁、钛元素进行定量分析, 以验证其稳定性及可靠性。手持式LIBS内置1064 nm Nd∶YAG 脉冲激光器, 光路为反射式同轴结构。实验中采用AvaSpec-Mini 2048光...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(02):023002

 新型光刻技术研究进展

何立文 罗 乐 孟 钢 邵景珍 方晓东

[摘要]集成电路光刻作为传统光刻技术的典型代表, 支撑着集成电路芯片的快速发展。新一代光刻技术具有工艺多样化、光刻精度高、光刻效率高的优点, 在研发新型光电子器件、实现3维微纳结构、构建有序纳米孔通道等方面有很大的...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(01):30

 Directly writing binary multi-sector phase plates on fused silica using femtosecond laser

Li Zhou Youen Jiang Peng Zhang Wei Fan Xuechun Li

[摘要]

 PDF全文High Power Laser Science and Engineering | 2018, 6(01):e6

 基于有限元仿真的硫系玻璃模压工艺参数优化

刘学儒 薛常喜

[摘要]基于硫系玻璃材料Ge23Se67Sb10的热机械特性,建立了模压工艺模型,仿真模拟了模压温度、摩擦系数及模压速率对硫系玻璃材料模压成型后等效应力的影响。与L-BAL42材料的模压仿真数据进行对比,讨论了硫系玻璃与传统可见...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(08):082203

 1.2 m轻量化空间反射镜的重力支撑变形分离

张珑 叶璐 张金平 郑列华

[摘要]在地面环境检测的空间反射镜面形主要是镜面加工残差和重力支撑变形等耦合的结果.为实现1.2 m轻量化空间反射镜的重力支撑变形分离, 通过测量镜面在等梯度支撑力下的面形, 由镜面力学响应得到镜面畸变和支撑力变化的关...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(07):0722002

 基于磁控溅射和ICP刻蚀的RB-SiC表面平坦化工艺

赵杨勇 刘卫国 惠迎雪

[摘要]采用射频磁控溅射技术在RB-SiC表面沉积Si平坦化层, 通过正交试验研究了射频功率、Ar流量和工作气压三个因素对薄膜表面质量和形貌的影响规律, 以获取最佳的薄膜沉积参数.射频功率120 W、工作气压1.2 Pa和Ar流量40 scc...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(03):0324001

 Ф1300mm非球面反射镜的加工与检测

王聪 陈思羽 吕天斌 郭文

[摘要]介绍一块Ф1300mmULE材料非球面反射镜的加工与检测方法。采用非球面超声铣磨、机器人研抛等多个工序组合加工技术完成了非球面反射镜的加工。在非球面检测中, 采用大口径三坐标测量的方法进行了研磨阶段的面形检测, 通...

 PDF全文光学技术 | 2018, 44(02):221

 超快激光制孔辅助吹气优化的仿真与实验研究

李朋 贺斌 田东坡 康伟 焦悦

[摘要]同轴吹气结构辅助吹气对飞秒激光深孔加工效率有着重要影响, 但在加工过程中存在排渣效果较差等情况。为了提升排渣能力, 采用ANSYS CFD软件分别仿真了同轴吹气、旁轴吹气以及双路吹气的流场分布, 并设计双路辅助吹气实...

 PDF全文激光技术 | 2018, 42(05):583

 射流抛光高斯型去除函数的快速生成方法

李建 张连新 孙鹏飞 王中昱 柯瑞

[摘要]提出了一种快速生成高斯型去除函数的实验方法。通过研究倾斜定点入射方式下射流束中心与工件的交点和材料去除形貌之间的关系,得到了对应高斯型去除函数的喷嘴高度范围。在确定的工艺参数条件下,添加主轴旋转运动,...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0722002

 大口径非球面系统的共基准加工与检验

王孝坤 薛栋林 张学军

[摘要]针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点, 提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法, 对该方法的基本原理和实现过程进行了分析和研究。当光学系统的主镜和第三镜面形的RMS值优于λ/10(λ=632.8 nm)时, 对主镜和...

 PDF全文光学 精密工程 | 2018, 26(04):743

 空间同轴三反相机Φ520 mm次镜的加工与检测

孟晓辉 王永刚 马仙梅 李文卿 李 昂 张继友

[摘要]为了满足空间同轴三反相机对大口径凸非球面高精度的面形质量和精确的几何参数控制要求, 提出以计算机控制确定性研抛工艺为核心的多工序组合加工及检测技术。在加工阶段, 首先利用超声振动磨削技术对非球面进行面形铣...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(08):0818002

 新型凹锥形表面增强拉曼散射光纤探针的制备

杜怀超 陈振宜 陈 娜 刘华健 徐文杰 张 恒 刘书朋 王廷云

[摘要]研制了一种新型凹锥形表面增强拉曼散射(SERS)光纤探针,研究了光纤探针凹锥形结构的制备方法,分析了凹锥光纤探针形貌与腐蚀时间的关系,通过化学自组装法将金纳米颗粒固化到凹锥内表面,制成凹锥SERS光纤探针,并...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(02):0213001

 大视场宽景深双远心系统的设计

高兴宇 陈朋波 李明枫 叶 鹏 李明东

[摘要]为了满足基于机器视觉的复杂零件表面质量在线实时检测的需求, 根据双远心成像原理和像差理论基础, 采用ZEMAX光学设计软件, 设计了一款大视场宽景深的双远心光学系统。所设计的系统仅由6块透镜组成, 工作波长在可见光...

 PDF全文激光技术 | 2017, 41(02):182

 极紫外光刻动态气体锁抑制率的实验研究

陈进新 王 宇 谢婉露

[摘要]开展了动态气体锁抑制率的实验研究,设计了一套极紫外真空动态气体锁实验验证系统;进行了真空抽气系统的详细设计,形成了具有实际可操作性的真空系统的最终布局;指出了该实验验证系统的验证方法;进行了动态气体锁...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(02):0222002

 基于粒子群优化算法的光刻机光源掩模投影物镜联合优化方法

王 磊 李思坤 王向朝 杨朝兴

[摘要]全芯片多参数联合优化是光刻分辨率增强技术的重要发展方向。提出了一种基于粒子群优化(PSO)算法的光源掩模投影物镜联合优化(SMPO)方法。将由像素表征的光源、由离散余弦变换基表征的掩模及由泽尼克系数表征的投影...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(10):1022001

 大口径非球面反射镜误差分离组合加工技术

刘振宇 李龙响 曾雪峰 罗霄 张学军

[摘要]为了解决大口径非球面反射镜材料去除效率与面形收敛效率之间的矛盾, 提出了基于高低阶面形误差分离的组合加工技术。首先, 分析了不同尺寸磨头对不同周期面形误差的控制能力。然后, 比较了不同磨头的收敛效率与加工时...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(04):813

 磁流变抛光系统去除函数的原点位置标定

郑立功 李龙响 王孝坤 薛栋林 张学军

[摘要]为了实现磁流变抛光的确定性加工, 对磁流变抛光去除函数的原点位置进行了标定。分析了磁流变抛光去除函数的产生过程及其去除率分布。利用标准圆柱, 建立了抛光轮最低点与数控加工中心测头的相对位置坐标变换关系, 实...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(01):8

 应用离子束修正高精度CGH基底

马占龙 彭利荣 王高文 谷勇强

[摘要]计算全息图(CGH)作为零位补偿器广泛应用于高精度非球面的检测中,但CGH的基底误差直接限制了非球面的检测精度。为了获得超高精度的CGH基底,提出了应用离子束修正CGH基底的加工工艺。采用不同束径的离子束去除函数对...

 PDF全文中国光学 | 2016, 9(02):270

 光学玻璃磁性复合流体抛光液研究

李文妹 姜晨 许继鹏 王春华

[摘要]根据光学玻璃元件超精密抛光加工技术的需求,研究了磁性复合流体(MCF)抛光液成分配比及制备,并在此基础上结合不同抛光工艺参数实验分析BK7光学玻璃的抛光质量。研究不同成分配比下的磁性复合抛光头的物理表现,在MC...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(06):062202

 大口径离轴凸非球面的加工和检测

郑立功 王孝坤 薛栋林 李锐钢 张峰 张忠玉 张学军

[摘要]将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接测试技术相融合提出了凸非球面系统拼接检测方法, 对该方法的原理和实现步骤进行了分析和研究, 并建立了合理的子孔径拼接数学模型.依次利用计算机控制光学表面成形技术和磁流变抛...

 PDF全文光子学报 | 2016, 45(07):070722001

 光纤激光-变极性TIG复合填丝焊接A7N01铝合金接头的组织与力学性能

乔俊楠 王启明 邹江林 吴世凯

[摘要]采用光纤激光与变极性钨极惰性气体复合填丝焊接A7N01铝合金,经工艺参数优化,得到了成形良好、无缺陷的焊接接头。研究了这些接头的显微组织、拉伸和疲劳性能,并分析了疲劳断裂特征及断口形貌。研究结果表明,接头主...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(09):0902001

 深紫外光刻投影物镜温度特性研究

姚长呈 巩岩

[摘要]透镜材料对激光能量的吸收导致深紫外光刻投影物镜温度升高,产生热像差。离轴照明模式下,温度呈非对称分布,研究温度场对热像差的仿真预测和补偿具有十分重要的意义。提出了温度分布函数模型描述4种照明模式下物镜的...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(05):0516001

 激光增材制造AF1410 超高强度钢组织与力学性能研究

王志会 王华明 刘栋

[摘要]采用激光增材制造技术制备了AF1410 超高强度钢厚板试样,采取均匀化热处理和AF1410 钢传统热处理工艺相结合的热处理制度。分析了其沉积态和热处理后的微观组织、硬度及室温拉伸性能变化。结果表明:激光增材制造的沉...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(04):0403001

 水射流抛光去除函数对面形误差修正的影响

吕亮 马平 朱衡 黄金勇 王刚

[摘要]研究了水射流抛光条件下的去除函数特征,根据去除函数的一维轮廓特征采用分段解析函数拟合方法建立了去除函数的解析表达式。根据解析表达式采用Matlab 数值模拟方法对不同参数条件下的去除函数进行了一维叠加去除模拟...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(04):0416003

 激光冲击波加载690高强钢薄板传播机制的模拟与实验

曹宇鹏 周东呈 冯爱新 花国然 陈浩天 朱 娟

[摘要]为研究激光冲击波在690高强钢薄板中的传播机制,对690高强钢薄板经激光冲击后的动态响应以Hyperworks、LSDYNA为平台进行模拟,用聚偏氟乙烯压电传感器进行测量,将模拟结果与实验结果对比研究试样动态应变特性,建立...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(11):1102010

 基于多染色体遗传算法的像素化光源掩模优化方法

杨朝兴 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于多染色体遗传算法(GA)的像素化光源掩模优化(SMO)方法。该方法使用多染色体遗传算法,实现了像素化光源和像素化掩模的联合优化。与采用矩形掩模优化的单染色体GASMO方法相比,多染色体GASMO方法具有更高...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811001

 基于交替相移掩模矢量空间像的偏振像差检测方法

沈丽娜 王向朝 李思坤 闫观勇 诸波尔 孟泽江 张恒

[摘要]提出一种基于交替相移掩模空间像的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。采用泡利-泽尼克系数表征偏振像差,结合X和Y两种线性偏振照明方式,用像传感器测量不同照明条件下掩模空间像的成像位置偏移与最佳焦面偏移,利用标...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811003

 硬脆非球面光学镜精密磨削与自适应控制方法

胡德金

[摘要]针对硬脆非球面光学镜硬度高、型面特殊、加工面积大、加工质量要求高的特点,提出了一种基于法向跟踪的、以圆筒形砂轮端面进行磨削的非球面范成精密加工方法。在此基础上,进一步设计了智能化的实时检测与自适应控制...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(07):0722004

 2 m大口径RB-SiC反射镜的磁控溅射改性

刘 震 高劲松 刘 海 王笑夷 王彤彤

[摘要]为了消除RB-SiC反射镜直接抛光后表面存在的微观缺陷, 降低抛光后表面的粗糙度, 提高表面质量,针对大口径SiC的特性, 选择Si作为改性材料, 利用磁控溅射技术对2 m量级RB-SiC基底进行了表面改性。在自主研发的Φ3.2 m的...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(07):1557

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