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 深紫外光刻投影物镜温度特性研究

姚长呈 巩岩

[摘要]透镜材料对激光能量的吸收导致深紫外光刻投影物镜温度升高,产生热像差。离轴照明模式下,温度呈非对称分布,研究温度场对热像差的仿真预测和补偿具有十分重要的意义。提出了温度分布函数模型描述4种照明模式下物镜的...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(05):0516001

 光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计

陈华男 郭抗 张玲花 刘健 尚红波

[摘要]X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件 X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链, 设计柔性二级减速机构, 并将之应用到新型的一体式 X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上, 对 X-Y向柔性调节机构结...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(06):50

 电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定

葛川 张德福 李朋志 郭抗 李佩玥 杨怀江

[摘要]由于光刻投影物镜装调中电容传感器的线性度指标不能够满足位移调节精度的需求,本文提出了一种提高电容传感器测量线性度的方法。该方法采用压电驱动器提供位移进给;采用高精度激光测长干涉仪校准电容传感器的线性度,提...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(09):2546

 亚10 μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定

雷亮 李浪林 袁炜 刘新 周金运

[摘要]采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405 nm半导体激光器为光源、分辨精度达5 μm、视场12 mm×12 mm 内波像差小于1/4波长、畸变小于0.005%的双远心投影光刻物镜的设计方法。将设计的物镜实物...

 PDF全文应用光学 | 2014, 35(02):311-315

 光刻投影物镜V形柔性轴向调节机构设计

孙振 巩岩

[摘要]为了满足光刻投影物镜对轴向调节机构的调节行程大、精度高、结构紧凑等需求,基于三角形换向原理,设计了轴向调节机构。在调节机构中采用V形柔性单元换向机构,实现运动的换向和传递。针对机构的调节行程、驱动力、一...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2013, 50(10):101101

 新型大面积PCB光刻投影物镜设计

邓亚飞 周金运 雷亮 冉坐 周亚梅

[摘要]针对大面积且高密度 PCB光刻, 利用 ZEMAX光学设计软件, 设计了一种 8片式光刻投影物镜。该物镜采用对称双高斯结构, 放大倍率为 -1, 数值孔径 NA=0.06, 单次曝光面积 Φ=80 mm, 具有优于 7 μm的分辨力和 120 μm的焦...

 PDF全文光电工程 | 2013, 40(02):100-104

 16~22 nm极紫外光刻物镜工程化设计

曹振 李艳秋 刘菲

[摘要]极紫外光刻是16~22 nm光刻技术节点的候选技术之一,其投影物镜设计需在满足像质和分辨率要求的前提下,兼顾工程可实现性。在考虑加工、检测和制造约束的情况下,设计了像方数值孔径分别为0.3和0.32、曝光视场为26 mm...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(09):0922005

 基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性

于新峰 巩岩 倪明阳 秦硕

[摘要]根据高精度投影光刻物镜的特点, 提出了一种运动学支撑结构, 并采用实验结合有限元分析的方法研究了该支撑结构引起的透镜光学表面变形以及重复装配过程中透镜光学表面面形的复现性。首先, 介绍了运动学支撑结构的原理...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(08):2000-2007

 光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析

倪明阳 巩岩

[摘要]为了实现曝光工作过程中深紫外投影光刻物镜的动态稳定性,设计了一种能够消除温度和应变影响的光学元件运动学支撑结构,研究了如何利用该支撑结构消除温度变化和外界应变对光学元件面形的影响。首先,计算单个支座的...

 PDF全文中国光学 | 2012, 5(05):476-484

 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析

孙振 巩岩

[摘要]针对光刻机投影物镜的可变光阑设计对光阑调整范围、安装空间、调整精度的要求, 设计了口径为236 mm、调整精度为NA±0003的连续可变光阑。通过设计与计算236 nm光阑片参数, 得到了光阑各组件的结构参数, 并采用...

 PDF全文中国光学 | 2012, 5(04):401-406

 光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制

齐克奇 向阳

[摘要]针对基于剪切干涉原理的光刻投影物镜波像差检测设备中相移测量的需求,设计了一种移相装置.该装置采用了桥式放大机构,获得了较大放大比和相对紧凑的结构.从原理上对桥式放大机构进行了分析和讨论,得到了输入位移与...

 PDF全文光子学报 | 2012, 41(12):1452-1455

 透镜主动光学的像差补偿性能

孙振 巩岩

[摘要]针对透射式投影物镜中由于不均匀照明产生的像散, 提出了采用平面透镜作为主动光学元件以补偿像散的方法。本文对直径为 Φ140 mm, 通光孔径为 Φ120 mm 的平面透镜的支撑结构进行设计和有限元分析, 分析了支撑结构的各...

 PDF全文光电工程 | 2012, 39(08):118-122

 基于极小准则的完备正交判别局部保持算法

林玉娥 李敬兆 梁兴柱 林玉荣

[摘要]以无监督判别投影算法为理论基础, 提出了一种基于极小准则的完备正交判别局部保持投影算法。算法首先根据同类样本的空间信息重新定义了类内局部保持散度矩阵与类间局部保持散度矩阵, 然后借鉴无监督判别投影算法的目...

 PDF全文光电工程 | 2011, 38(03):145-150

 大数值孔径产业化极紫外投影光刻物镜设计

刘菲 李艳秋

[摘要]极紫外光刻技术(EUVL)是半导体制造实现22 nm及以下节点的下一代光刻技术,高分辨投影物镜的设计是实现高分辨光刻的关键技术。为设计满足22 nm产业化光刻机需求的极紫外光刻投影物镜,采用6枚高次非球面反射镜,像方...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(02):0222003

 折/衍混合超轻小型投影式头盔光学系统设计

范海英 张宝颍 杨嘉 郑治国

[摘要]投影式头盔系统具有成像质量高,结构轻便等特点。分析投影式头盔光学系统设计参数的选择原则,并基于投影式物镜引入对角为1.55cm的新型OLED显示器作为图像源,采用折射/衍射混合结构来减轻光学系统的体积和重量。通过...

 PDF全文应用光学 | 2010, 31(01):13-18

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