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 熔融石英基片热形变及其对光束质量的影响分析

张建云 陈 帆 马 骏 潘少华 魏 聪 王 敏 刘戴明

[摘要]熔融石英基片受高能激光辐照后,受热产生的热形变会恶化系统出射的光束质量。为了研究光束质量的恶化情况,采用COMSOL有限元分析软件,建立了在连续高能激光辐照下熔融石英基片热形变分析模型,并针对基片在不同的夹持方...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(03):374

 16 nm极紫外光刻物镜热变形对成像性能影响的研究

李艳秋 刘岩 刘丽辉

[摘要]16 nm极紫外光刻(EUVL)物镜热变形是影响其高分辨成像的主要因素之一。为了给EUVL系统热管理提供可靠的技术依据, 对数值孔径为0.33且满足16 nm技术节点的典型EUVL物镜进行热变形仿真研究。采用有限元软件ANSYS仿真曝光...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(01):0122001

 热变形条件对激光增材制造TC18钛合金组织及变形行为的影响

王宏芳 田象军 程序 刘栋 王华明

[摘要]通过单轴等温热压缩实验,研究了激光增材制造TC18钛合金在不同变形条件下的热变形行为,分析了其流变应力-应变规律和动态软化机制,建立了峰值应力本构方程。结果表明,激光增材制造TC18钛合金的流变应力-应变曲线表...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(03):0302008

 初始残余应力对板材激光热矫形应力场影响性研究

孙瑞 石永军 孙学明 战祥华 刘衍聪

[摘要]利用激光作为热源可对发生热应力变形的板材进行矫形, 对于发生热变形的中厚板材, 其内部不可避免的会存在初始残余应力。为研究初始残余应力对板材激光热矫形过程中应力场的影响, 基于ANSYS有限元分析平台对板厚为8 m...

 PDF全文应用激光 | 2018, 38(02):278

 大功率CO2激光器输出窗口热性能分析

张 阔 陈 飞 李若斓 杨贵龙

[摘要]为了研究大功率CO2激光发射过程中输出窗口吸收激光能量产生热性能变化的问题, 建立了输出窗口传热学和结构力学耦合非稳态模型, 通过对模型进行有限元分析得到表征输出窗口变化的温度、热变形和热应力等参数分布。首先...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(02):0205005

 激光介质温度场及应力场的流固耦合数值模拟

张 威 俞 路 刘易航 潘娜娜 贾春燕 刘万发 桑凤亭 潘艳秋

[摘要]激光介质的热效应会导致固体激光器在工作过程中产生像差, 造成激光光束质量下降, 严重影响了固体激光器的发展与应用。以一种固体激光器用微通道双面冷却系统为研究对象, 建立其三维物理模型, 采用流固耦合方法模拟冷...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(08):0801001

 多谱线He-Ne激光器中棱镜组件的热变形研究

聂睿 张雷洪 严永鹏 黄元申 倪争技

[摘要]拉曼散射分析通常使用多谱线He-Ne激光器作为光源。通过建立多谱线He-Ne激光器腔内棱镜组件的有限元模型, 并进行热变形分析, 得到了棱镜组件的热变形位移结果。讨论了在棱镜角度改变时多谱线He-Ne激光器输出谱线的变化...

 PDF全文光学技术 | 2017, 43(第4):329

 多谱线He-Ne激光器中棱镜组件的热变形研究

聂睿 张雷洪 严永鹏 黄元申 倪争技

[摘要]拉曼散射分析通常使用多谱线He-Ne激光器作为光源。通过建立多谱线He-Ne激光器腔内棱镜组件的有限元模型, 并进行热变形分析, 得到了棱镜组件的热变形位移结果。讨论了在棱镜角度改变时多谱线He-Ne激光器输出谱线的变化...

 PDF全文光学技术 | 2017, 43(04):329

 强激光辐照对变形镜补偿能力影响的实验研究

封斐 魏斌斌 刘文广 姜宗福 周琼

[摘要]连续面形分立驱动变形镜(CFDA-DM)是自适应光学系统中最重要的器件。在高能激光系统中, 此种变形镜(DM)很容易产生热变形,这对DM的补偿能力和输出光束质量有较大影响。通过构建实验平台对DM热变形进行研究, 利用功率为...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(12):120101

 菲涅尔透镜热变形对CPV聚光系统性能影响的数值研究

陈明彪 舒碧芬 梁齐兵 张奇淄 孙丽娟 范畴

[摘要]由硅胶-玻璃材料组成的SOG(silicone on glass)型菲涅尔透镜在温度变化时会产生热变形, 影响CPV(concentrating photovoltaic)聚光系统的性能。为研究透镜热变形对聚光系统光效率的影响, 优化设计两类聚光系统, 并采用...

 PDF全文应用光学 | 2016, 37(02):256

 光机系统的一体化仿真分析

肖阳 文东 赵成强

[摘要]建立了光机一体化仿真方法,从而实现对光学系统的性能评估。利用Ansys有限元软件进行热-结构仿真,将得到的数据文件进行刚体位移分离时采用新的评价函数,通过设置位移参量和随机值验证计算精度达到0.3%。运用Househ...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(07):0722002

 薄型光学零件加工中难点的研究

李晓奇 梁琳麟

[摘要]一般将厚度与长度(或直径)的比值小于1:10的光学零件称为薄型光学零件, 有时可达到1:40以上, 所以薄型零件加工的难点是光圈变形的问题, 而面形精度要求高就更难加工了。加工中引起光圈变形的原因主要包括胶结变形、热...

 PDF全文光电技术应用 | 2016, 31(06):82

 月基望远镜反射镜转台的热-结构耦合分析及验证

上官爱红 王晨洁 张昊苏 秦德金 刘朝晖

[摘要]为了提高月基望远镜反射镜转台的工作性能, 对反射镜转台进行了热-结构耦合分析以及试验验证和在轨验证。根据输入条件、热载荷、热边界等建立有限元模型对反射镜转台结构及主要发热部件进行了温度场计算。将温度载荷,...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(08):1956

 激光辐照下镀铬介质高吸收镜的热变形

聂山钧 郭劲 邵俊峰 王挺峰 汤伟

[摘要]为了分析激光辐照下反射镜热变形对光束质量的影响, 本文建立了激光光束45°角入射时镀铬介质高吸收镜的热固耦合模型, 对不同辐照光束下反射镜的热变形和镜体厚度对热变形的影响进行了分析, 并用哈特曼波前传感器...

 PDF全文中国光学 | 2015, 8(01):84

 高分辨率空间视频相机热敏感性分析

李凯 安源 李宗轩 孔林 郭骏立

[摘要]随着光学遥感卫星在轨成像质量要求的提高,为了满足相机环境温度的要求,往往需要大量热控资源。由于微小卫星资源紧张,所以综合分析相机各组件的热敏感性,合理分配热控资源,改善成像质量,具有重要的实用意义。介...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(12):122203

 星敏感器支架的结构/热稳定性分析及验证

江帆 吴清文 王忠素 苗健宇 郭亮 陈立恒 杨献伟

[摘要]为明确星敏感器支架受空间环境影响产生的变形对星敏感器定姿精度的影响,对星敏感器支架的结构/热稳定性进行了研究。通过有限元法对星敏感器支架进行刚度分析,将热分析获得的在轨极端工况下的温度数据映射至结构模型...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(11):3463

 大口径透镜多点柔性支撑结构设计与分析

马磊 曹佃生 刘承志

[摘要]透镜面形精度是影响透射式光学系统性能的主要因素之一, 支撑结构、自重和热载荷是引起透镜面形发生变化的三个主要原因。为了实现大口径透镜 (Φ>200 mm)的高面形精度, 本文设计了一种新的基于多点柔性支撑的透镜支...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(05):88

 基于变形镜热形变预估模型的自校正效果分析

胡小川 王度 陈丽霞 张彬

[摘要]在波前校正过程中,变形镜(DM)在强激光连续辐照(CW)下会产生热形变,进而对入射光引入附加波前畸变,从而制约了变形镜的波前校正效果,致使光束质量改善效果变差。从变形镜热形变面形的Zernike 多项式分解出发,建立...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(12):1202001

 具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构

赵 磊 彭海峰 于新峰 东立剑

[摘要]光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为满足透镜面形精度RMS 值优于1~2 nm 的指标要求,本文提出了一种具有整体径向挠性的透镜多点均匀支撑结构,基于自重变形和热变形对支撑块尺寸进...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(10):43

 基于Patran和Sinda/Fluint空间光学载荷机热联合仿真方法研究

闫浩 郭栋 任维佳 付跃刚

[摘要]空间光学载荷在飞行任务期间受复杂热环境的影响,部分关键部件如光学镜体及其内部支撑结构由于温度变化带来的热变形会对载荷整体性能产生重要影响。精确模拟空间外热流作用下的载荷飞行和关键部件在给定温度场下的结构...

 PDF全文光学技术 | 2015, 41(04):346

 拼焊式SiC反射镜热变形分析

黄健 刘岩 刘学建 黄政仁 马臻

[摘要]为了考核拼焊式SiC反射镜在一定温度波动范围内的面形稳定性,利用有限元方法模拟了在温度水平试验条件5℃温差下反射镜的热变形情况。利用曲面方程拟合方法处理镜面变形数据,计算出变形后的镜面面型误差RMS值为1.841nm...

 PDF全文光学技术 | 2015, 41(04):336

 半导体制冷对镜面热变形影响的数值研究

聂山钧 郭劲 邵俊峰 王挺峰 汤伟

[摘要]为了减小激光辐照下反射镜镜面的热变形问题,建立了反射镜热变形的有限元分析模型。对不同制冷功率时的镜面热变形进行分析,然后针对吸收功率为50 W、光斑半径为镜体半径1/3时的TEM00模高斯光束对镜体结构进行优化,...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(01):0114002

 变形镜受热变形引起的波前畸变仿真及补偿

牛志峰 郭建增 周小红

[摘要]针对变形镜自身受强激光辐照后热变形问题, 利用ANSYS的多物理模型建立了变形镜的热机械模型并进行了计算。针对受强激光辐照后变形镜吸收了部分热量并产生了0.9 μm的变形量, 根据该变形镜热畸变分布特征, 提出了一种...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(01):011010

 基于热力转换机理仿真圆柱体零件形体边界约束的热变形

苗恩铭 徐祗尚 周小帅 雷德荣 倪洋

[摘要]提出了热变形精确分析理论与一种仿真方法以保证热误差影响下机械零件的最佳配合。从微观分子力学理论出发, 在充分考虑材料属性、温度以及形体边界约束对热变形影响的基础上, 提出了热力转换热变形分析理论, 将零件热...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(02):504

 高分辨宽能段软X射线光束线热负载影响与修正

石应波 王勇 邰仁忠 丁洪

[摘要]正在建设中的上海光源梦之线(Dreamline)是一条宽能段、超高能量分辨率的软X 射线光束线。如此高指标的光束线在建设过程中有许多难点需要克服,其中光学元件的热变形是达到数万分辨能力的主要障碍。梦之线采用的5 m 长...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(07):073401

 大口径望远镜结构热分析

周超

[摘要]为了评估温度对望远镜的影响,针对某地基光电望远镜,建立了包括光学组件,跟踪架结构以及电控设备等在内的有限元热模型.在传导、对流、辐射以及热流等不同热环境下进行热分析,计算了望远镜光机结构的时间和空间温度...

 PDF全文光子学报 | 2014, 43(04):0422006

 强光辐照下白宝石高反镜尺寸对热变形的影响

梅艳莹 杨涛

[摘要]为了进一步减小白宝石(Al2O3)高反镜在强光辐照下的热变形, 提高光束质量, 研究了白宝石高反镜厚度、直径尺寸对热变形的影响。采用以极坐标表示的热传导方程和热变形公式来描述白宝石高反镜的温度场分布和位移场分布...

 PDF全文激光技术 | 2014, 38(03):375-379

 基于变形镜本征模式的空间光学遥感器波前误差校正方法研究

喻际 董冰

[摘要]提出采用基于变形镜(DM)本征模式的自适应光学波前误差校正方法校正高分辨率空间光学遥感器的在轨波前误差。该方法利用变形镜各致动器的影响函数得到一组符合导数正交关系的变形镜本征模式,以图像功率谱密度在低频区...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(12):1228001

 皮卫星及其星箭分离机构的热-结构耦合与间隙设计

谢长雄 徐月同 夏晨晖 陈子辰 傅建中

[摘要]对皮卫星与星箭分离机构进行了热结构耦合分析, 以便合理地设计皮卫星与导轨面间的配合间隙, 确保皮卫星安全可靠分离。在充分考虑皮卫星发射过程中卫星、地球、太阳三者几何关系的基础上, 计算了皮卫星及其星箭分离机...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(07):1800-1807

 Simulations of far-field optical transmission properties influence by mirror thermal deformation for high-power pulsed transversely excited atmospheric CO2 with unstable resonator

Xudong Han Ruhai Guo

[摘要]

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2014, 12(s2):S21406

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