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激光传感器光轴垂直度误差标定方法

Calibration Method for Optical Axis Perpendicular Error of Laser Sensor

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摘要

针对高精度复合式测量机中的激光传感器进行了高精度的标定, 提出了利用已知底角的双斜面标定块和正弦定理标定光轴垂直度误差偏角的方法, 分析了影响标定精度的因素。该方法避免了传感器光轴与工作台不垂直引入的各个方向的误差, 可有效地提高该传感器的测量精度, 为更高精度的多传感器复合测量提供了基础。

Abstract

The high precision calibration of laser sensors in high-precision composite measuring machines is done. The calibration method of the optical axis perpendicular error angle by using the calibration block with double slopes with known base angles and the sine theorem is proposed. This method can avoid the errors from various directions caused by the non-perpendicular orientation between the optical axis of sensors and the worktable, which can effectively improve the measurement accuracy of this sensor and provide a basis for multisensor duplex measurement with higher accuracy.

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中图分类号:TH741

DOI:10.3788/cjl201744.0410002

所属栏目:遥感与传感器

基金项目:国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ17053903)

收稿日期:2016-11-15

修改稿日期:2016-11-27

网络出版日期:--

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王祎雯:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
付鲁华:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
赵炎:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
张恒:中国计量科学研究院, 北京 100013
曲兴华:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
刘常杰:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072

联系人作者:王祎雯(wang_yw@tju.edu.cn)

备注:王祎雯(1993-), 女, 硕士研究生, 主要从事传感器标定、数据融合方面的研究。

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引用该论文

Wang Yiwen,Fu Luhua,Zhao Yan,Zhang Heng,Qu Xinghua,Liu Changjie. Calibration Method for Optical Axis Perpendicular Error of Laser Sensor[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(4): 0410002

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