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高衍射效率凸面闪耀光栅的研制

Fabrication of Convex Blazed Grating with High Diffraction Efficiency

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摘要

基于严格耦合波分析, 研究凸面闪耀光栅的衍射特性; 采用全息光刻-离子束刻蚀法制作中心周期为2.45 μm、曲率半径为51.64 mm、口径为17 mm的凸面闪耀光栅, 闪耀角为6.4°, 顶角为141°。结果表明, 在整个可见-近红外波段, 所制作光栅的1级衍射效率大于40%, 在闪耀波长处1级衍射效率大于75%。

Abstract

The diffraction characteristics of the convex blazed grating are investigated by using rigorous coupled-wave analysis. The convex blazed grating with a central period of 2.45 μm, a curvature radius of 51.64 mm, and an aperture of 17 mm is fabricated by using holographic lithography-scanning ion beam etching method. The blazed angle is 6.4°, and the vertex angle is 141°. The results show that the first-order diffraction efficiency of the proposed grating is greater than 40% in the whole visible and near-infrared band, and the first-order diffraction efficiency at blaze wavelength is greater than 75%.

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补充资料

中图分类号:O438.1;TN29

DOI:10.3788/cjl201946.0313001

所属栏目:微纳光学

基金项目:高分辨率对地观测系统重大专项(GFZX04061502)、国家重点研发计划(2016YFB0500501)、国家自然科学基金(60907017)、上海市全固态激光器与应用技术重点实验室开放课题基金(2014ADL02)、江苏高校优势学科建设工程(YX40000212)

收稿日期:2018-09-26

修改稿日期:2018-11-12

网络出版日期:2018-12-04

作者单位    点击查看

刘全:苏州大学光电科学与工程学院, 苏州纳米科技协同创新中心, 江苏 苏州 215006苏州大学江苏省先进光学制造技术重点实验室, 江苏 苏州 215006苏州大学教育部现代光学技术重点实验室, 江苏 苏州 215006
吴建宏:苏州大学光电科学与工程学院, 苏州纳米科技协同创新中心, 江苏 苏州 215006苏州大学江苏省先进光学制造技术重点实验室, 江苏 苏州 215006苏州大学教育部现代光学技术重点实验室, 江苏 苏州 215006
郭培亮:苏州大学光电科学与工程学院, 苏州纳米科技协同创新中心, 江苏 苏州 215006
陈新华:苏州大学光电科学与工程学院, 苏州纳米科技协同创新中心, 江苏 苏州 215006苏州大学江苏省先进光学制造技术重点实验室, 江苏 苏州 215006苏州大学教育部现代光学技术重点实验室, 江苏 苏州 215006

联系人作者:刘全(liuquan@suda.edu.cn)

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引用该论文

Liu Quan,Wu Jianhong,Guo Peiliang,Chen Xinhua. Fabrication of Convex Blazed Grating with High Diffraction Efficiency[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(3): 0313001

刘全,吴建宏,郭培亮,陈新华. 高衍射效率凸面闪耀光栅的研制[J]. 中国激光, 2019, 46(3): 0313001

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