—— “超精密测量技术”专题出版！ ——
点此直达专题网页聚焦国家重大专项、国家自然科学基金委员会重大科学仪器项目，围绕国家在集成电路、航空航天、新能源、生物医药等先进制造领域的重大战略布局，《激光与光电子学进展》适时推出“超精密测量技术”专题。
本专题特别邀请谭久彬院士撰写特邀导言，国家自然科学基金委员会工程与材料科学学部机械学科主任叶鑫等从科学基金资助情况统计和文献分析本领域的代表性进展。邀请了来自清华大学，华中科技大学、西北工业大学、北京航空航天大学等单位的有影响力的领域内专家学者撰稿，其中包括1篇特邀导言、16篇特邀综述和8篇特邀研究论文。
在此，衷心感谢为本专题提供高水平论文的所有作者以及为本专题的顺利出版做出贡献的所有专家，以及谭久彬院士、刘世元教授、赵维谦教授、居冰峰教授四位组稿专家的积极组织与筹划。
↑【封面解读】本封面展示了晶圆缺陷检测的基本原理，通过构造具有特定频率、幅值、波前、偏振态信息的照明模态及光学探测技术，来对晶圆上纳米级断线、桥接等缺陷进行检测。
↑【封面解读】本封面形象示意出了大型飞机装配中所应用到的高精度测量技术：装配大空间测量场高精度测量方法、飞机大部件装配外形数字化高精度测量方法以及面向复合材料装配缺陷的高精度检测技术。新一代飞机向着大型、重载、长寿等方向发展，其制造也向着高精度、低成本、柔性化、智能化等方向转变，对装配的精度、效率与质量均提出了更高的要求。封面中飞机在跑道上御风而起,翱翔天际代表着高精度测量技术将助力航空制造迈向新的辉煌。
↑【封面解读】本封面以展示扫描白光干涉术的基本原理和工业应用为要点，描绘了使用双显微物镜的干涉仪架构以及测量微透镜阵列所产生的环状白光干涉条纹图，多层条纹图象征了沿光轴方向扫描采集干涉图的过程，左侧的信号展示了该技术特有的由相干包络调制的干涉信号，结合显微成像和干涉测量的优势，扫描白光干涉术被广泛应用于精密光学、航空航天以及先进半导体制造等领域。
↑【封面解读】封面展示了基于激光干涉测量技术的空间引力波探测方案，利用星载激光干涉系统实现两测试质量多自由度的超精密测量，从而探测黑洞合并、超新星爆发等宇宙结构活动引发的时空涟漪，为探索宇宙起源与演化提供新的观测手段。
组稿专家
谭久彬 院士
哈尔滨工业大学
刘世元 教授
华中科技大学
赵维谦 教授
北京理工大学
居冰峰 教授
浙江大学
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基本信息
创刊:1964年·半月刊
名称:激光与光电子学进展
电话:021-69918427
地址:上海市嘉定区清河路390号
———— 专题文章 ————
超精密测量技术与仪器是高端制造发展的前提与基础(特邀导言)
【作者】谭久彬
【单位】哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院
机械测试理论与技术研究：现状、趋势及展望(特邀综述)
【作者】叶鑫, 刘世元, 邾继贵, 黄志权, 朱金龙, 赖一楠, 苗鸿雁, 王岐东
【单位】国家自然科学基金委员会工程与材料科学学部
先进节点图案化晶圆缺陷检测技术(特邀综述，封面文章)
【作者】刘佳敏, 赵杭, 吴启哲, 冯献瑞, 赵翔宇, 张震阳, 张楚苗, 黄弢, 朱金龙, 刘世元
【单位】华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室
大型飞机装配中的高精度测量技术研究进展(特邀综述，封底文章)
【作者】张开富, 史越, 骆彬, 童长鑫, 潘婷, 乔木
【单位】西北工业大学机电学院
用于表面形貌测量的扫描白光干涉技术进展(特邀综述，内封面文章)
【作者】苏榕, 刘嘉宇, 乔潇悦, 简振雄, 张政, 温荣贤, 陈成, 任明俊, 朱利民
【单位】中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心
空间引力波探测中的激光干涉多自由度测量技术(特邀综述，内封底文章)
【作者】徐欣, 谈宜东, 穆衡霖, 李岩, 王加刚, 金景峰
【单位】清华大学精密仪器系
微片激光准共路-调频回馈干涉仪关键技术研究(特邀综述)
【作者】张书练, 杨元
【单位】清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
时栅传感器的技术现状、发展趋势和思想延伸(特邀综述)
【作者】彭东林
【单位】重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心
高精度自由空间光学时频基准传输技术研究进展(特邀综述)
【作者】于连栋, 朱家圣, 陆洋
【单位】中国石油大学（华东）控制科学与工程学院
位姿视觉测量方法及应用综述(特邀综述)
【作者】魏振忠, 冯广堃, 周丹雅, 马岳鸣, 刘明坤, 罗启峰, 黄腾达
【单位】北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
面向制造的光学面形超精密测量技术研究进展(特邀综述)
【作者】陈善勇, 薛帅, 熊玉朋, 彭小强, 戴一帆
【单位】国防科技大学智能科学学院装备综合保障技术重点实验室
激光多自由度同时测量研究现状与发展趋势(特邀综述)
【作者】龙飞, 郑发家, 贾培智, 张斌, 李家琨, 冯其波
【单位】北京交通大学发光与光信息技术教育部重点实验室
基于光学频率梳的表面形貌测量方法(特邀综述)
【作者】吴冠豪, 施立恒, 李尔格
【单位】清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室
高精度光谱共焦位移测量技术研究进展(特邀综述)
【作者】白蛟, 李婧雯, 王晓浩, 李星辉
【单位】中国工程物理研究院材料研究所
材料力学性能原位测试技术：发展与应用(特邀综述)
【作者】邢文娟, 于忠瀚, 刘长宜, 赵宏伟
【单位】吉林大学机械与航空航天工程学院
亚纳米皮米激光干涉位移测量技术与仪器(特邀综述)
【作者】林雄磊, 苏晓博, 王嘉宁, 孙云科, 胡鹏程
【单位】哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
MEMS光学声传感器(特邀综述)
【作者】郑永秋, 陈佳敏, 赵馨瑜, 白建东, 武丽云, 薛晨阳
【单位】中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室
平面反射式二维光栅测量系统研究(特邀研究论文)
【作者】刘红忠, 史永胜, 尹磊, 陈邦道, 雷彪, 蒋维涛, 牛东, 王兰兰, 姜维, 李国俊, ChenJinju
【单位】机械制造系统工程国家重点实验室
基于扫摆式多相机跟踪的六自由度测量方法(特邀研究论文)
【作者】曹首钦, 孙子杰, 杨泽, 孙岩标, 邾继贵
【单位】天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
超声扫查横波成像的波数域快速重建技术(特邀研究论文)
【作者】陈沐, 金浩然, 杨克己, 居冰峰
【单位】浙江大学机械工程学院
一种视觉惯性系统位姿高精度一体化标定方法(特邀研究论文)
【作者】马可瑶, 任永杰, 林嘉睿, 牛志远, 邾继贵
【单位】天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
基于远心成像的高精度线激光三维测量方法(特邀研究论文)
【作者】孟亚云, 邓惠文, 张国锋, 葛灵宇, 林开梁, 杨树明
【单位】西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
基于偏振信息的车窗透反混叠图像解耦研究(特邀研究论文)
【作者】周俊焯, 陈明麟, 封入琦, 纵园, 郝佳, 虞益挺
【单位】西北工业大学宁波研究院
基于条纹投影和双屏透射显示的复合表面三维测量方法(特邀研究论文)
【作者】肖月新, 张宗华, 刘硕, 李梓瑜, 高楠, 孟召宗, 高峰
【单位】河北工业大学机械工程学院
大频差双腔双频Nd∶YAG激光器合成波绝对距离干涉测量系统设计(特邀研究论文)
【作者】焦明星, 江飞, 苏娟, 邢俊红, 刘芸, 连天虹, 刘健宁, 王晛, 李鹤群
【单位】西安理工大学机械与精密仪器工程学院
