过去十年里，紫外和真空紫外激光在激光化学、激光材料加工、激光医学以及激光光谱学等领域中的应用日益增加，但是这一波段的激光光源本身的研制技术和开发却进展迟缓，二者差距日益扩大。本文对紫外和真空紫外激光器的现状、发展趋势、新型激光器所必需解决的基础理论问题及其有前景的应用作一评述。

现代的髙功率固体激光器是一种完全成熟、运行可靠的激光器，其市售器件运秄可靠，操作方便。过去十年里，固体激光器在工业制造、医学、激光辅助测量技术和基础研究等领域的广泛应用中具有重要意义。

过去二年里，自由电子激光器性能已有几个重要的改进。尽管战略防御倡议组织是自由电子激光器发展的最大支持者，但自由电子激光的其它应用也受注意。

1977年，紫翠宝石作为从700到818 nm波跃迁，可实现四能级激光振荡，其性能可与Nd段连续可调锴激光材料而受到青睐。在与红宝石激光相同的R线之外的范围，利用电子振动跃迁，可实现四能级激光振荡，其性能可与Nd:YAG、红宝石、钕玻璃等固定波长激光器媲美。

80年代是可调谐固体激光器迅速发展的10年，这种激光器正取得市场进展。激光应用领域对固体可调谐激光器的兴趣则是由于它较染料激光器有许多优点，其中包括宽的波长调谐范围、小巧、长工作寿命、牢固和易于使用等， 这些优点使固体可调谐激光器非常可靠，很适合机载遥感、测距、光雷达和光通讯应用。

并行信息处理一个有前途的方向是利用实时工作相干光学过程的系统。文献[1，2]指 出，LiNbO3晶体型多通道电光调制器用作处理机的信息输入装置非常有效。但是以分立元件制作的多通道调制器要求使用高控制电压(~100 V)，且集成度较低。

早在1968?1973年完成的一系列实验就涉及连续光参量振荡器的问题[1~7]，但是这些研究没有成功，因为釆用了频率不够稳定的泵浦源，导致光参量振荡器的辐射在时间上极不稳定的动力学过程。

最近，松下电器公司光半导体研究所以有机金属气相外延（MOVPE)法开发Ⅱ-Ⅲ族化 合物半导体的超晶格制作技术，以此在Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体GaAs上形成100层Ⅱ-Ⅵ族 的ZnSe/ZnS超晶格层。用这一超晶格层制出负载型光波导，以H&Ne激光入射，第一次成功地做了超晶格三维可见光波导实验。

Nd-YAG激光的优点是波长在近红外区，可用光纤传输。釆用光纤可将激光器和工场分开，并将激光束灵活地导向工件。也可在一台激光器上连接许多光纤，将激光功率导向各个加部位。这里需要釆用“时间分割”或“能量分割”技术。荷兰一家企业为釆用“时间分割”技术研制了一台新的光纤多路传输装置。

稀有气体卤化物的受激辐射增益曲线带宽为200 cm-1,它允许放大亚皮秒脉宽的光脉冲。在早期的实验中，短脉冲准分子激光振荡放大系统的振荡源是采用准分子激光泵浦染料激光的倍频及放大技术。要将几台准分子激光器锁模，脉冲幵关之间维持高精度的同步是很复杂的。

自1960年第一台激光器问世以来，已有300多种激光测距机用于世界各国的陆海空三军中。但是，目前装备的测距机和指示器大都采用Nd:YAG激光器，随着这些设备的大量装备和广泛使用，已逐步发现该器件的缺点，其最大缺点是在战场或训练场上对人眼不安全。由于Nd:YAG激光器工作波长较短（1.06 μm) 硝烟霾雾对其衰减很大，而实际战场情况相当复杂,敌对双方往往在恶劣气候条件下作战，或有意施放烟幕，会使这种测距机失去测距能力。

在研究脉冲光源照射的半导体中产生的光电动势时，广泛采用电容法。半导体放在电容器的两个极板之间，其中一个极板半透明，通过这块极板用调制光束照射半导体，并研究电容器两极板间产生的电信号。在这种情况下,当半导体表层吸收光时，依靠表面光电动势和登伯效应。

如所周知，激光多普勒风速计的原理可归结为运动物体与已知空间结构的探测光场相交的时间，光场的周期由辐射波长决定。因此半导体激光器在激光多普勒风速中应用的可能性受到辐射的模成分和光谱带与泵浦电流和温度依赖关系的限制。在已报导的使用半导体激光器的激光多普勒风速计系统设计中，对波长稳定性提出严格要求，因为波长λ的不稳定性对测量的相对误差部分贡献等于δλ/λ。实践上容许的测量误差为10-3~10-4。在激光干涉测量法中对λ的要求还要髙几个数量级。本文讨论了激光多普勒风速计一类光学系统的结构，它们对半导体激光器辐射波长的稳定性不敏感。

用八束激光刷涂半导体掩模母板可比原来的工艺快五倍。每次可以扫描2 mm宽的条，分裂激光束产生甚大规模集成电路所有元仵的复杂几何图形。最后，由激光产生的数据印在母板上，成为放大铬-石英母板图形,用来制造掩模，生产各种芯片。

尽管有许多论述具体全息问题的书籍， 但对于要建造能产生全息图简易装置的开创者来说并不脊易，他必须具有全息装置和能廉价提供白光全息图的胶片的显影说明，没有这种具体说明，要幵始全息实验是困难和费时的。

早稻田大学理工学部应用物理学科的一个小组，研制成激光扫描型眼底检查装置，这一装置与以往用照明和频闪闪光灯照像的眼底照相机不同。这一装置是在顺天堂大学、庆应大学、国立康复医院、佳能医疗机械研究所等单位的帮助下完成的,其结构如图1所示。

斯图加特LTC光电子公司才成立三年，在光电子测量市场上却早就出名。公司为顾客提供成套非接触筇电测量系统。利用传感器和接收器两种基本元仵组成各种专用的测试工具。目前公司有两种不同系统投入使用：一种是具有激光二极管和位置敏感探测器的成套传感头。另一种是He-Ne激光器和位置敏感探测器分开的接收装置。

日本明治大学工学部植草新一郎等运用独创的低温工艺试制成在InP衬底上集成二极管、晶体管和光波导等器件，并证实具有实用价值。InP的电子迁移率、导热率和耐放射线等性能优于GaAs,但由于表面微细加工困难，致使这些优异性能得不到充分利用。

日本富士通研究所上月在新奥尔良召开的第4 非击式印刷机国际会议上发表了新研制成不用电晕带电的光印刷法。它将代替目前作为电子照相印刷的卡尔松法，该所把这种新方法称为“光背面记录法。”

休斯电子学公司已交付一种能使F/A-18“大黄蜂”战斗机飞行员在夜间或不良气候条件下执行低空飞行任务的夜视导航系统。

激光感生荧光可立即找到异乎寻常的应用：检测喷在烟叶上的除莠剂。这项技术使用氮脉冲激光照射，由新墨西哥州Lasen公司发展。这种方法也有其它作用，如新鲜水果的鉴别等。

西德UBM公司研制的光学式变位-形状测定机已在日本销售。

美国Candela激光公司正用它的SPTL-1型整形外科/皮肤病学激光器（一种可调谐染料激光器）治疗蛛状痣静脉。据麻省总（医）院的临床研究者说，已有92例蛛状痣静脉病患者获得成功治疗，这些病患的特征是血管异形。此种激光器还成功地用于胎痣和葡萄酒斑的治疗。

美国Candela激光公司最近收到食品药物管理局准于销售Laser Tripter微型镜的许可证。这种尿道镜是定制的，用于尿道结石治疗。由于协调定位和用tripter光纤观察，确保光纤在结石上精确移动。

日本理化学研究所致力于X射线准分子激光器的实用化研究，从物理、生物学的基础研究到工程领域，指望用这种器件获得广泛用途。X射线激光作为蛋白质的精密结构分析和超大规模集成电路制造用的光源，它的实用化将指日可待。

日本工业开发研究所激光研究中心与三菱重工业公司协作，试制成输出功率l kW的CO激光加工机，并证实其加工性能超过目前广泛使用的CO2激光加工机。将CO激光器用于一般的工业用加工机，并在实用试验中取得成功,在世界上尚属首次。

美国斯坦福大学材料研究中心的E. S. Feigelson等 已用多晶陶瓷Bi2Sr2Cu2O3棒拉出纤维。这种纤维为高纯超导材料基本研究(包括颗粒边界效应分析)提供了样品。收集技术以及生长速度和连续长度等最终将确定这种纤维用作电机绕组超导线的商业生命力。

美国贝尔科(Pellcore)公司成功地以27 Gbit/s的速率在单根光纤上传输信息。发射端共有18支激光器，以不同的发射波长同时工作。

东京大学生产技术研究所芳野俊彦副教授等研制成能检测小电流的光纤传感器，灵敏度为过去的100倍，作为替代现在的线圈式电流计测器的髙性能传感器,可望付诸实用

东京大学生产技术研究所将光纤与能感知化学物质的功能性膜组合，试制成高灵敏度传感器。与迄今白金之类利用电信号的传感器相比，它不仅能检测微量化学物质，而且具有不受电场、磁场等影响的特点。膜可根据物质更换，从而可望给化学厂和医疗等单位提供各种实际用途。

使激光偏振方向保持不变进行传输的保偏光纤，由于芯径非常小，为使激光射入光纤，必须用可微调的机械手对准。为使偏振方向保持一致，还需要旋转机构，其调整费时费力。为此日本科学工业公司，研制出可简单地将激光射入光纤的连接器。

日本北海道技术转让公司与北海道工业大学协作,研制成超小型光纤分支耦合器。其结抅是，将尖端部分切割成屋脊形的4根光纤组合在一起，通过蒸涂在耦合面上的介质膜使光分支或耦合。由于用光纤本身作素材，所以与过去的由微透镜和棱镜等组合而成的分支耦合器相比，大小约为原先的百分之一，制造成本预计为原先的十分之一。

Electro Scientific工业公司生产的9000型激光处理系统是种大量生产高密度存贮器装置的先进系统，用于亚微米结抅、大尺寸晶片、工厂自动化和改善微粒污染控制的中心处理。

1989年初，美国电报电话公司将使公司最高容量(1.7 Gbit/s)远程通讯系统的传输速率加倍。

法国Quantel公司和美国Medox电光公司提供峰值功率达1 TW的三种型号的激光器。从Nd:YLF激光共 振腔发出的1053 mn光通过三个由Nd:磷酸盐玻璃构成的啁啾放大器，1 ps脉冲的激光输出能量达1 J，重复频率为1个脉冲/30秒。

苏联科学家制成了一种利用固体和有机染料激光器最优特性的新型激光器。这个发展开辟了一系列激光监控新应用。

美国A-B激光公司宣布，二极管泵浦的Nd:YAG激光器已有现成产品，功率为2 mW和5 mW,绿光(532 nm)输出，由红外Nd:YAG激光内腔倍频产生。激光器额定功率稳定度为2小时±3%,在10 Hz~1 GHz频率范围均方根噪声为2%。

美国西屋电气公司最近研制成高建打印机用的新型半导体发光元件。将若干细的发光元件在薄膜状半导体上排成一列，成为激光打印机中取代激光器的光源。使用新型发光元件，能制成在打印部分无机械驱动部的装置。

日本旭硝子公司在东北大学金属材料研究所福田教授的指导下,生长出KNbO3(铌酸钾)单晶，用它对半导体激光倍频获得成功。

日本三菱电机公司在世界上率先研制成用于提髙激光束聚焦性能的激光谐振腔式“相位匹配谐振器ΡURΕ”。这种装置可让谐振腔具备使激光束取得相位匹配的功能，借此提高激光束的聚焦性能，可用于所有的激光器,尤其适用于髙功率激光器。

日本邮政省通信综合研究所运用大型望远镜和激光技术，最近开始“关于极限分辨光成象技术的研究”。这是一项从本年度才开始的国际交流基础研究，集结国内外研究者，向极限分辨率挑战。参加总人数预定十余人，研究期限3年。

日本电报电话公司和美国康宁玻璃公司声称,它们搞清了可望作为第二代光纤材料的氟化物玻璃中混入氧时的稳定性(易通光性)问题。

桑迪亚国家实验室研究人员报导，他们已成功地试验了一种新型紫外染料Fxalite 392E其连续激光运转波长在373~408 nm之间。以前不用倍频技术只用Polypheyl 1染料曾达到392 nm以下的连续运转。新染料由俄亥俄州Exciton化学公司制造,改进染料溶液制备可有较髙功率。

纽约哥伦比亚大学D .Debeer等人已用一阶瞬变时间延迟四波混频(TDFWM)绘制了由两条钠D线产生的极快拍频图,拍频周期为980×10-18 s。

美国康奈尔大学一科学家小组已获得脉宽不到0.1 ps的紫外激光脉冲。脉冲的波长范围在315 nm，脉宽窄至43 fs,重复频率100 MHz,功率达20 mW。飞秒激光脉冲已成为研究化学反应之类极短寿命问题的重要工具，飞秒激光对研究高速半导体电子器件和光学器件的动力学过程及最终极限也有重要意义。

法国马特拉技术公司电光部正在发展镀制0.13~20.0 nm X射钱和远紫外/紫外介质镀层的先进工艺。该计划在法国国家科学研究委员会和原子能委员会特许下由该公司进行。该公司发展的其它镀层还包括0.12~90 μm反射膜、增透膜、滤光片、偏振片和双色膜等。

美国贝尔实验室和斯坦福大学共同发明一种非接触测试GaAs芯片的方法，该法也可用于工作频率为100 GHz集成电路的测试。普通批量提供的测试系统一般只有约26 GHz。在新系统上，代替金属探针的是激光。只要激光束一反射,就可获得芯片表面激光束照射部位负荷状况的信息，响应时间0.2 ps。上述100 GHz可复盖目前GaAs元件涉及的94 GHz波段。

福特微电子学和福特航天公司已成功地演示了在硅材料上用GaAS制作的全功能大规模集成数字电路及HgCdTe光电压探测器。

贝尔实验室的B. F. Levine等已发展了一种用GaA/AlGaA3制作的)长波红外探测器，在77 K测量时其响应率为30 kV/W探测率D*=1.0×10 10 cm Hz^{1/2}/W。探测器在波长工作带宽超过70 MHz。理论上这种没有电容的渡越时间器件，其工作频率可达10 GHz。

瑞士Prognos公司最近发表一份报告,预言国际激光工业将持续增长，特别是材料加工应用方面。

激光应用技术开发能否成功取决于能否制成有经济价值的产品，要看激光机的价格。据1987年的调查，在材料加工、计测检查、医疗部门，约有700家公司使用激光装置，设置的总额为24亿马克。

十八年前，美国康宁玻璃厂制作了第一根能用于传送数据的光纤。从此光纤进入国际长途电信业。在英国、加拿大、日本和美国都有广大的光纤网；较短光纤则连接着许多城市的电话交换中心。

光纤由一根玻璃丝和塑料外包层构成。玻璃中心是密度略髙的玻璃芯，用来传送激光。电话、电视节目或者其它数据资料的传送要经过两个步骤。首先，用调制器把它们变换成电信号，再通过光发射器，发出光脉冲(数字信号）或亮度变化的光(模拟信号）。然后此光信号通过光纤传输;光纤不太吸收光，否则信号就会变坏。纤芯和周围玻璃之间的折射率差引导光沿着光纤纤芯传播。玻璃纯度保证光纤芯实际上不吸收光。接收机中的光电池进行相反编码处理，将光信号转换成电信号，完成解码过程。收到的信息是声音或声音和图像。