期刊基本信息
创刊:
1964年 • 半月刊
名称:
激光与光电子学进展
英文:
Laser & Optoelectronics Progress
主管单位:
中国科学院
主办单位:
中科院上海光机所
出版单位:
中国激光杂志社
主编:
范滇元
执行主编:
邱建荣
副主编:
戴琼海 张龙 张雨东 曹良才
ISSN:
1006-4125
刊号:
CN 31-1690/TN
电话:
021-69918427
邮箱:
地址:
上海市嘉定区清河路390号
邮编:
201800
定价:
120元/期
激光与光电子学进展 第39卷 第5期
利用2结构+1互联层多晶硅工艺,设计并制作出了直径为500mm的静电激励硅基二轴转镜微机械。在适度的激励电压下,镜面可做任意方向大角度连续性直流控制的倾斜运动。最低阶的谐振频率也比环境振动噪声高出许多,使得它们可以在几毫秒之内从环境振动噪声中分离出来。镀金反射镜利用扭转弹簧和轴承悬吊于万向节装置上,通过调节位于基片上的四个独立电极上的电压,可以控制反射镜的倾斜度。电极和弹簧的设计综合考虑了激励电压、谐振频率和偏转范围。为实现这一范围,在释放过程中轴被自适应机械系统升起并固定于距基片50mm的高度。自适应机械系统由单独的金属化薄层中精确控制的残余应力提供能量。在1mm间距的正方形阵列中包含16、64和256个独立地址微镜已经加工并封装成功。基于这些元件,成功制作了全功能型比特率及波长无关的单台阶低插入损耗单模光纤光学互连系统。
光互连 微机械转镜 微镜列阵 在以氘代丙酮的空化实验中,探测到高于背景水平的氘衰变活动.此外,还观察到近2.5 MeV的中子发射证据,有如氘-氘聚变反应.以普通丙酮进行的受控实验不会产生氘衰变活动或中子发射.流体动力学冲击程序模拟支持上述观察结果,表明具有高度压缩、超热(106~107 K)气泡内爆条件,与核聚变反应所需的条件相同.
硅微型机械是个新兴领域,它正使几乎每一科技领域都变得紧凑。在各种领域中,如化学、汽车、细胞和光通讯工业,硅微型机械正成为许多问题解答的选择。本文介绍什么是微机电系统,它们如何制造以及它们对光波网络系统革命有怎样的潜力。正如光开关、可变吸收体、主动平均器、加/减多路传输器、光交叉互连、增益倾斜平衡器、数据传送器和许多其他元件,正开始在先进光波系统中寻找无所不在的应用。本文将给出这些器件的例子,并描述对这种技术可能有数十亿美元市场中所面临的一些挑战。
介绍为光纤光交换器(OXC)设计的表面微机械反射镜的设计、分析与鉴定。这些反射镜由静电微激励器控制,并为光束操纵OXC作了优化。其几何形状决定了它们适于高密度开关矩阵,并且由于在致动机械部分省略了摩擦性的铰链结构,使得这一器件的操作重复性很高。这一反射镜结构的特点之一是最大偏折角可调。它可以通过初始装配调节或更为经典地与标准表面微机械线性激励器联合来进行控制。反射镜使用了商用三层多晶硅表面微机械工艺制作。文中的OXC具有空间和波长可调的优点,特别适用于波分复用(WDM)开关系统。这里制作设计的OXC可用2N个反射镜实现N输入、N输出开关并保持全互连功能。假定额定初始镜转角为25°且入射光垂直于芯片表面,利用这种转镜最多可容纳19路信道。转镜的尺寸为460mm×430mm×1.5mm,用楔阱型静电激励器来激励。转镜的谐振频率为1.31kHz。系统使用衰减系数为0.3的不完全衰减,开关时间为6ms。最大偏折角取决于反射镜的初始偏折角,若初始偏折角为20°,则最大偏折角约为7°。构建了楔阱型微镜静电模型,且实验值与理论值符合得很好。