浸没式光刻技术是将某种液体充满投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片之间来增加系统的数值孔径, 可以将193 nm光刻延伸到45 nm节点以下。阐述了浸没式光刻技术的原理, 讨论了液体浸没带来的问题, 最后介绍了浸没式光刻机的研发进展。

固体热容激光器(SSHCL)作为下一代最佳候选高功率激光器, 引起人们广泛关注。介绍了固体热容激光器工作原理、光抽运期间介质板内荧光分布和温度分布、介质板冷却以及功率标定。详细讨论了激光介质温度对激光输出功率的影响, 对有关设计要点也作了相关分析。

超短中红外脉冲对研究物理、化学、生物学和半导体内的超快过程等有非常重要的作用。介绍了参量振荡、差频产生、参量放大产生超短中红外激光脉冲的方法, 及国内外相关研究的最新进展。

较详细地分析了用于全硅片上光互连所用光波导(如多晶 Si/ SiO2、Si/ SiO2、Si3N4/SiO2)需满足的基本条件、制作方法以及损耗机制, 总结了目前的研究进展。

综述了利用飞秒激光脉冲在材料表面产生纳米结构现象的最新研究进展, 介绍了在飞秒激光烧蚀过程中不同激光参量对纳米结构的影响, 总结了纳米结构形成的主要物理机制。

为研究固体热容激光器运转的物理机制, 研制了一台演示验证样机。激光器使用钕玻璃板条为工作物质, 脉冲灯抽运, 平-凹式稳定谐振腔。固体热容激光器运转有两个工作相, 样机达到的技术性能如下: 第一工作相输出激光, 以20Hz重复频率工作10 s, 输出能量开始时23.81J/脉冲, 结束时18.51J/脉冲; 第二工作相冷却工作物质, 经编程控制的氮气冷却5min后, 激光器可重新进入第一工作相循环工作。分析了限制激光器输出激光时间的两个主要原因。试验表明：固体热容激光器输出激光时, 沉积在工作物质中的废热使工作物质处于表面温度高于内部温度的状态。由此工作物质产生了向内的压应力, 它使工作物质破坏阈值上升, 激光器可以工作在较高的温度状态。对第二工作相冷却工作物质的热管理模型进行了讨论。

采用一种自对准制造工艺和倒装芯片的装配技术, 研制出GaN基蓝光大功率发光二极管(1mm×1mm)。其光学参数：总辐射功率143.19 mW, 光通量8.86lm, 发光效率7.29lm/W, 峰值波长462nm, 半峰全宽24 nm; 其电学参数：正向电压3.47V、正向电流350 mA。对相关工艺进行了简要讨论。

综述了可调谐掺铒光纤激光器的工作原理、研究现状, 分析了调谐中有待解决的主要技术问题。介绍了可调谐掺铒光纤激光技术在光纤光栅传感中的应用, 提出了一种新的基于可调谐掺铒光纤激光技术的波长检测方案, 指出了该系统目前存在的问题。

微晶硅(μc-Si:H)是国际公认的新一代硅基薄膜太阳能电池材料。综述了微晶硅的基本特性, 器件质量级材料的表征参量, 材料的生长技术, 微晶硅在太阳电池中的应用及其发展前景。

综述了国内外在高功率光纤激光器相干合成方面的最新进展, 分析了各种方案的优缺点, 并展望了光纤激光器相干合成的应用前景。国外已研发了19芯阵列光纤, 进行了10路光纤激光器相干合成, 输出功率已达200W。国内进行了两束光纤激光的相干组束, 获得了连续波18.3W的光纤激光输出, 并在高速相位探测与锁定方面取得了一定进展。

某些无放射性的具有自旋特性的惰性气体同位素(如3He和129Xe), 可通过激光抽运超极化, 得到很高的非热平衡极化度和长驰豫时间的惰性气体。极化后惰性气体同位素核磁共振的灵敏度提高103～105倍。介绍了目前极化惰性气体常用的两种方法——自旋交换光抽运和亚稳态能级交换。