中  国  科  学  院  上  海  光  学  精  密  机  械  研  究  所
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics Chinese Academy of Sciences
高性能光学隔振平台


Zygo 24”（φ600mm）干涉仪光学隔振平台系统
         中科院上海光学精密机械研究所自主研制，适用于精密仪器仪表、精密测量、微细加工及纳米领域，拥有多项专利技术，包括一项美国专利。光学隔振平台隔振效果优秀，固有频率均在150Hz以上.
GS5015-40光学平台系统满足高精密测量仪器Zygo 24”（φ600mm）干涉仪测量精度1/10λ的环境隔振要求。
 

平面度	±0.1mm/600×600mm2
蜂窝内芯	薄钢带蜂窝桁架，纵向粘接单元
阻尼	蜂窝芯约束层板约束宽带阻尼
安装孔	0.25”孔，间距1”，边距1”，M6螺孔，间距25mm，边距25mm
长度系列(m)	0.6，0.9，1.2，1.5，1.8，2.0，2.4，3.0，3.6，4.0，4.5，5.0，6.0
宽度系列(m)	0.3，0.6，0.8，1.0，1.2，1.5，1.6
厚度系列(mm)	12.5，25，30，60，100，200，300，400，500(优选长厚比10:1)

 
 
 
 

  蜂窝阻尼内芯                  
 
平台面板
高性能隔振平台面板，为面板—蜂窝桁架—面板三层夹心结构，采用恒温粘接成形工艺，并通过特殊处理，具有非常高的刚度—质量比及良好的宽带阻尼，固有频率均在150Hz以上。使用过程中变形小，振幅低，性能稳定，能够满足各类不同的需求，同时还可以根据客户特殊需要提供定制。。

规格	特点	应用范围
GS	6 mm强磁性不锈钢面板，蜂窝内芯，宽带阻尼	干涉仪等高精度光学实验、光电试验、工业生产
GT	2 mm强磁性不锈钢面板，蜂窝内芯，宽带阻尼	小型光学实验和工业生产，高刚度、低重量、小尺寸要求
LS	6 mm优质铝合金面板，蜂窝内芯，宽带阻尼 面板表面氧化黑处理	小型光学实验和工业生产，高刚度、低重量、小尺寸要求 表面乌光要求面板
LT	全铝合金光学平板，面板表面氧化黑处理	小型光学实验和工业生产，高刚度、低重量、小尺寸要求
DBS	刚性连接组合平台系统，组合后平面度好	光学实验要求长光学距离，或单光源大系统实验

 








隔振支撑
ST系列阻尼刚性支撑脚适用工业应用，环境振动优良且隔振要求较低。气浮隔振支撑采用了双气室、阻尼孔等技术，具有极低的共振频率，高效隔离可能导致台面形变的环境高频振动激励。光学平台系统根据平台负载和平台自重选用SAT支撑或BAT支撑，选配高压气源（空气压缩机或氮气瓶）和气路控制系统（高度控制阀和管路）实现光学平台的自动平衡。

	隔振支撑系列	结构特点	固有频率	应用范围
	ST	阻尼刚性支撑	5~10Hz	工业应用 环境振动较小 隔振要求较低
	SAT	膜片气囊 双气室 空气阻尼孔	垂向：1.0~1.8Hz 横向：1.2~2.0Hz	小平台 低负载 小型精密仪器
	BAT	大膜片气囊 双气室 空气阻尼孔	垂向：1.0~2.0Hz 横向：1.2~2.2Hz	大平台 重负载 大型试验仪器装置

 
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