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极大规模集成电路芯片的工业生产,目前主要采用193nm激光光刻技术,其刻线的最小尺寸达到16nm以下,已接近理论极限。为了进一步减小刻线的最小尺寸,提高芯片的集成度,要求光刻采用波长更短的曝光光源。极紫外光刻采用波长更短的13.5nm(2%带宽)极紫外荧光作为曝光光源。与激光Sn等离子体光源相比,放电Xe等离子体13.5nm极紫外光源具有结构相对简单、造价较低等优点,成为用于极紫外光刻机中的反射镜、掩模版、光刻胶等系统检测的中小功率的理想光源。为此,哈尔滨工业大学王骐教授和赵永蓬教授课题组开展了放电Xe等离子体极紫外光源的研究工作,是国内首家开展此工作的单位,详细» 本期栏目(2018.11) 材料与薄膜; 测量与计量; 光束传输与控制; 光纤光学与光通信; 激光器件与激光物理; 激光制造; 生物医学光子学与激光医学; 遥感与传感器; 综述; |
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———— 2018年第11期优秀论文 ———— |
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赵永蓬, 徐强, 李琦, 王骐 [第一单位] 哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室 [摘要] 搭建了极紫外光源实验装置,获得了中心波长为13.5 nm的Xe等离子体极紫外的辐射光谱。测量了极紫外辐射的时间特性,用多... | ||
潘其坤, 谢冀江, 陈飞, 张阔, 肖锋, 于德洋, 何洋, 孙俊杰, 张来明, 郭劲 [第一单位] 中科院长春光学精密机械与物理研究所激光与物质相互作用国家重点实验室 [摘要] 理论分析了室温条件下掺铁硒化锌(Fe2+∶ZnSe)激光横向寄生振荡特性,结果显示通过减小抽运光斑尺寸可有效提升寄生振荡... | ||
周庆军, 严振宇, 韩旭, 宋全, 刘京威, 王福德 [第一单位] 首都航天机械有限公司 [摘要] 再现大型结构件实际成形热过程,研究了激光熔化沉积TC11钛合金的组织特征与力学性能。结果表明,沉积态试样的粗大柱状晶内α... | ||
夏令, 康悦, 余海松, 吴友发, 占小红 [第一单位] 南京航空航天大学材料科学与技术学院 [摘要] 基于航空航天领域减重的需求,铝锂合金激光焊接越来越受到国内学者的广泛关注。对2 mm厚2060-T8铝锂合金进行激光平板... | ||
吉宁可, 张福民, 曲兴华, 张桐, 张铁犁, 刘晓旭, 谢阳 [第一单位] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 [摘要] 针对调频非线性和快速傅里叶变换(FFT)精度不高的问题,基于等光频间隔重采样的调频连续波测距系统,采用相位差测频法测量了... | ||
王磊, 栾开智, 左依凡, 李培丽 [第一单位] 南京邮电大学电子与光学工程学院 [摘要] 利用光学Tamm态(OTS)在金属-分布式布拉格反射镜(DBR)界面处的局域场增强和石墨烯的电控特性,提出一种基于OTS... |
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