半导体产业被誉为国家工业的明珠，是国家实现信息现代化的基础。其核心是集成电路，随着半导体工艺的不断进步，超大规模集成电路已经进入7nm、5 nm节点，并将在未来的两到三年内进入3nm、2 nm节点。为了实现纳米级芯片的加工，要求光刻机的加工精度必须达到亚纳米级。随着光刻技术的进步，具有长行程和纳米级定位精度的二维超精密工件台用于光刻机中。但超精密工件台必须与光学头相适应，具有栅距测量和扫描角度测量功能，以减小扫描拼接误差，提高对比度。针对这个问题，中国科学院上海光学精密机械研究所周常河研究员课题组提出了基于超精密激光直写系统制作二维光栅...详细»
本期栏目(2019.9)
X射线光学; 材料; 成像系统; 大气光学与海洋光学; 傅里叶光学与信号处理; 光计算; 光谱学; 光纤光学与光通信; 光学设计与光制造; 机器视觉; 激光器与激光光学; 视觉，颜色与视觉光学; 探测器; 图像处理; 衍射与光栅; 遥感与传感器; 医用光学与生物技术; 仪器，测量与计量; 原子与分子物理学
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基本信息
创刊:1981年·月刊
名称:光学学报
英文:Acta Optica Sinica
电话:021-69916837
———— 2019年第9期优秀论文 ————
李民康, 向显嵩, 周常河, 韦春龙, 贾伟, 项长铖, 鲁云开, 朱世曜
[第一单位] 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,中国科学院大学材料与光电研究中心
[摘要] 二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出...
魏薇, 张羚翔, 张志明, 唐莉勤, 丁镭, 李乙钢
[第一单位] 南开大学物理科学学院
[摘要] 为进一步研究光子晶体光纤中涡旋光的传输特性,提出了3种不同结构的涡旋光光子晶体光纤,即三角晶格环形光子晶体光纤(TLPCF)、折射率倒转抛物线式光子晶体...
陶淑苹, 张续严, 冯钦评, 宋明珠, 吴勇
[第一单位] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
[摘要] 为解决现有电子式像移补偿在扫描方向上补偿范围有限的问题,提出一种适用于沿扫描方向广域像移大小变化的数字时间延迟积分(TDI)方法。首先基于像移计算...
基于智能检测不变像元的FY-3A/MERSI仪器响应衰变分析
王俊伟, 胡秀清, 何玉青, 高昆
[第一单位] 北京理工大学光电学院
[摘要] 提出一种智能方法来分析风云三号A星(FY-3A)中分辨率光谱成像仪(MERSI)的长期响应衰变。该方法通过使用迭代加权多元变化检测(IR-MAD)算法识别同一区域...
李冠稳, 高小红, 肖能文, 肖云飞
[第一单位] 青海师范大学地理科学学院,青海省自然地理与环境过程重点实验室
[摘要] 针对高光谱数据量大、信息冗余严重的现象,应用稳定竞争性自适应重加权采样(sCARS)、连续投影算法(SPA)、遗传算法(GA)、迭代保留有效信息变量(IRIV)和...
