Zhifan Liu,Ming Chen,Yang Bu,Jinghao Xu,Lili Fan,Jianhua Zhang,Xiangzhao Wang. [J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(10): 1004005

刘志帆,陈明,步扬,徐静浩,范李立,张建华,王向朝. 光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术[J]. 中国激光, 2019, 46(10): 1004005