光学 精密工程, 2022, 30 (18): 2232, 网络出版: 2022-10-27   

电子束曲面直写的Monte Carlo仿真与实验 下载: 540次

Monte Carlo simulation and experiments of electron beam direct writing on curved
作者单位
1 中国科学院 电工研究所,北京0090
2 中国科学院大学,北京100049
基本信息
DOI: 10.37188/OPE.20223018.2232
中图分类号: --
栏目: 微纳技术与精密机械
项目基金: 中国科学院科研仪器设备研制项目(GJJSTD20200003,2020B0101320002)、
收稿日期: 2022-06-07
修改稿日期: 2022-06-28
网络出版日期: 2022-10-27
通讯作者: 刘俊标 (liujb@mail.iee.ac.cn)
备注: --

解孟涛, 刘俊标, 王鹏飞, 张雨露, 韩立. 电子束曲面直写的Monte Carlo仿真与实验[J]. 光学 精密工程, 2022, 30(18): 2232. Mengtao XIE, Junbiao LIU, Pengfei WANG, Yulu ZHANG, Li HAN. Monte Carlo simulation and experiments of electron beam direct writing on curved[J]. Optics and Precision Engineering, 2022, 30(18): 2232.

本文已被 1 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!