光学 精密工程, 2022, 30 (18): 2232, 网络出版: 2022-10-27   

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Monte Carlo simulation and experiments of electron beam direct writing on curved
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1 中国科学院 电工研究所,北京0090
2 中国科学院大学,北京100049
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解孟涛, 刘俊标, 王鹏飞, 张雨露, 韩立. 电子束曲面直写的Monte Carlo仿真与实验[J]. 光学 精密工程, 2022, 30(18): 2232. Mengtao XIE, Junbiao LIU, Pengfei WANG, Yulu ZHANG, Li HAN. Monte Carlo simulation and experiments of electron beam direct writing on curved[J]. Optics and Precision Engineering, 2022, 30(18): 2232.

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