Chinese Optics Letters, 2023, 21 (7): 071204, Published Online: Jul. 24, 2023   

Improving accuracy and sensitivity of diffraction-based overlay metrology

Author Affiliations
1 School of Microelectronics, Shanghai University, Shanghai 200072, China
2 Department of Precision Optics Engineering, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China
Suppl. Mat.

Wenhe Yang, Nan Lin, Xin Wei, Yunyi Chen, Sikun Li, Yuxin Leng, Jianda Shao. Improving accuracy and sensitivity of diffraction-based overlay metrology[J]. Chinese Optics Letters, 2023, 21(7): 071204.

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