光学学报, 2022, 42 (22): 2234001, 网络出版: 2022-11-07   

棒阳极X射线源聚焦系统的电子光学设计 下载: 601次

Electro-Optical Design of Focusing System for Rod-Anode X-Ray Sources
作者单位
1 中国科学院电工研究所,北京 100190
2 中国科学院大学,北京 100049
摘要
棒阳极X射线源能够深入到被检物内部进行无损检测,是具有小孔腔特征的金属管壁零部件的可靠性检测的首选方法。具有良好电子光学设计的聚焦系统是棒阳极X射线源获得高分辨率检测的关键之一。首先,从电子光学理论出发,结合棒阳极X射线源的结构特点建立了聚焦系统模型。然后,优化了聚焦系统模型的电子光学参数。最后,搭建了样机,并进行了分辨率测试实验。仿真与实验结果均表明,在50~130 kV加速电压下,样机的分辨率优于50 μm。
Abstract
The rod-anode X-ray source can stick into an object for nondestructive inspection, which is preferred for reliability inspection of the metal tube wall parts with of small cavity. A focusing system with a good electron-optical design is one of the keys to the high-resolution inspection of rod-anode X-ray sources. The focusing system is modeled in terms of the electron-optical theory and the structural characteristics of the rod-anode X-ray source. The electron-optical parameters of this model are then optimized, and the prototype is built for the resolution tests. Both the simulation and experimental results indicate that the resolution of the prototype is better than 50 μm under the acceleration voltage of 50-130 kV.

史丽娜, 刘俊标, 牛耕, 董增雅, 邓晨晖, 韩立. 棒阳极X射线源聚焦系统的电子光学设计[J]. 光学学报, 2022, 42(22): 2234001. Lina Shi, Junbiao Liu, Geng Niu, Zengya Dong, Chenhui Deng, Li Han. Electro-Optical Design of Focusing System for Rod-Anode X-Ray Sources[J]. Acta Optica Sinica, 2022, 42(22): 2234001.

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