作者单位
摘要
中国工程物理研究院应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
未来极紫外光刻技术的发展亟需更高功率的光刻光源,能量回收型自由电子激光光源可以实现千瓦量级以上的功率输出,是一种极具潜力的高功率极紫外光刻光源。主要介绍了高功率能量回收型自由电子激光光源的工作原理、发展现状以及所面临的关键技术挑战。
激光光学 极紫外光刻 能量回收型直线加速器 自由电子激光 光阴极注入器 超导加速器 
中国激光
2024, 51(7): 0701007
作者单位
摘要
中国工程物理研究院应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
中国工程物理研究院红外太赫兹自由电子激光装置是一台用于材料、光谱、生物、医学等领域前沿研究的多功能用户装置,在实验室现有的太赫兹自由电子激光装置(CTFEL)基础上,拟新增两套2×9-cell超导加速单元和两台波荡器,将电子能量提升至最大50 MeV,输出频率覆盖范围拓展至0.1~125 THz,最大宏脉冲功率大于100 W。同时,采用跑道型束线设计,拟建设一台小型能量回收型直线加速器实验研究平台。本文主要介绍了中国工程物理研究院红外太赫兹自由电子激光装置的总体设计、工作模式以及用户实验站布局。
激光器 自由电子激光 红外太赫兹 超导加速器 波荡器 能量回收型直线加速器 
中国激光
2023, 50(17): 1718001
作者单位
摘要
1 中国工程物理研究院 应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
2 中国科学院 高能物理研究所,北京 100049
3 中国科学院 福建物质结构研究所,福州 350002
4 中国工程物理研究院 总体工程研究所,四川 绵阳 621900
5 中国工程物理研究院 材料研究所,四川 绵阳 621907
6 湖北三江航天江河化工科技有限公司,湖北 宜昌 444200
7 中国工程物理研究院,四川 绵阳 621900
报道了基于光阴极S波段电子直线加速器建成的9 MeV高能微焦点射线成像系统“精卫”,X射线束横向尺寸小于100 μm,7 h剂量波动低至1.6%。初步开展成像实验结果表明:双丝像质计清晰分辨13D号丝,丝直径0.05 mm,CT测试卡测得空间分辨率优于10 lp/mm,装置同时兼容电子束能量6~18 MeV可调。
高能微焦点X射线源 高能工业CT 直线加速器 光阴极 high-energy micro-focus X-ray source high-energy industrial CT linac photocathode 
强激光与粒子束
2022, 34(12): 124001
作者单位
摘要
中国工程物理研究院 应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
中国工程物理研究院太赫兹自由电子激光装置(CAEP THz FEL, CTFEL)是国内唯一运行的基于超导加速器的高平均功率自由电子激光太赫兹源,具有频率连续在线可调(0.1~4.2 THz)、高峰值功率(>0.5 MW)、高平均功率(>10 W)、高重频(54.17 MHz)、短脉冲(~ps)、窄线宽(~2%)、全相干和线性偏振等特点。自2017年出光以来,已稳定运行了四年多,并开展了诸多应用实验研究。为进一步满足用户需求,CTFEL计划升级为一台红外太赫兹自由电子激光装置,电子束能量提升至最大50 MeV,频谱范围拓展至0.1~125 THz,同时,建设材料光谱和生物医学两个实验站。
自由电子激光 太赫兹 红外 超导加速器 用户实验站 free electron laser terahertz infrared superconducting accelerator user experimental station 
强激光与粒子束
2022, 34(10): 104013
周奎 1,2单政 1,2张倩 1,2王谢君 1,2[ ... ]虞益挺 1,2,*
作者单位
摘要
1 西北工业大学宁波研究院, 深圳研究院, 机电学院, 陕西 西安 710072
2 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室, 陕西省微纳机电系统重点实验室, 陕西 西安 710072
3 西安现代控制技术研究所, 陕西 西安 710065
4 北京理工大学信息与电子学院, 北京 100081
光谱探测技术在未来智能装备中发挥着视觉检测、理化分析和过程控制等智能识别的作用,广泛应用于食品安全、医学诊断、环境监测、防伪鉴别、植物病害抑制、预警侦察等领域。传统光谱探测系统因受限于分光元件而存在体积大、成本高和定制化能力有限等问题。基于微机电系统(MEMS)技术的法布里-珀罗(FP)滤波芯片为微型化、低成本和定制化的光谱探测系统提供了新的解决途径。近三十年来,针对实用化MEMS-FP滤波芯片的研究已取得长足的进展,并已应用于实际的微小型光谱探测系统中,但在芯片制造、器件性能和系统集成方面仍面临诸多要攻克的难题。对MEMS-FP滤波芯片的原理和性能、器件分类、实用化研究进展进行了综述,并分析了目前存在的问题和未来的发展趋势。
光学器件 法布里-珀罗滤波芯片 光谱探测 光谱成像 分光元件 
光学学报
2022, 42(8): 0800001
郝佳 1,2,3王燕 1,2,3周奎 1,2,3余晓畅 1,2,3虞益挺 1,2,3,*
作者单位
摘要
1 西北工业大学 深圳研究院,广东深圳58057
2 西北工业大学 空天微纳系统教育部重点实验室,陕西西安71007
3 西北工业大学 陕西省微纳机电系统重点实验室,陕西西安710072
作为分焦平面型偏振成像系统的核心光学器件,微偏振阵列(Micropolarizer Array,MPA)对场景目标偏振信息的重构有着重要影响。针对传统2×2 MPA存在的图像分辨率损失和瞬时视场误差等问题,以及现有模型仅能设计2×N系列MPA的局限性,基于傅里叶频域提出了一种可涵盖2×N系列和N×N对角系列MPA排布模式的设计模型,并优化设计了3种新型对角排布的MPA。通过理论分析、外场实验和数值模拟对已有的MPA及新设计的MPA的重构性能进行了定性分析与定量测试。实验结果表明:利用2×2×2 MPA重构的S0S1S2及线偏振度图像在定量测试和视觉效果方面最优,而对于单探测器的快照式成像系统,新型3×3 MPA获得的重构效果最佳。本文改进模型的应用和新型MPA的提出可为多样化和高性能MPA的制备提供理论依据,促进了DoFP偏振成像系统的工程实际应用。
偏振成像 傅里叶频域 微偏振阵列 数值仿真 图像重构 polarization imaging Fourier domain micropolarizer array numerical simulation image reconstruction 
光学 精密工程
2021, 29(10): 2363
作者单位
摘要
中国工程物理研究院 应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
密度高、成像分辨率高、成像速度快的X射线数字成像检测需要高能微焦点大剂量X射线源,高品质电子源是实现这一X射线源的关键手段。基于中国工程物理研究院太赫兹自由电子激光的主加速器,验证了低发射度、低能散度的高亮度电子束实现高能微焦点的可行性,得到电子束半高全宽尺寸小于70 μm的9 MeV微焦点,并初步开展成像实验,双丝像质计焦斑清晰分辨9D号丝,丝直径0.13 mm。
微焦点 高能X射线源 高亮度电子源 自由电子激光 高能工业CT micro focus high energy X-ray source high brightness electron source free electron laser high energy industrial CT 
强激光与粒子束
2020, 32(5): 054001
作者单位
摘要
1 中国工程物理研究院 应用电子学研究所, 四川 绵阳 621900
2 四川省国防科技工业办公室, 成都 610051
3 北京应用物理与计算数学研究所, 北京 100094
4 北京大学 重离子物理研究所, 北京100871
5 清华大学 工程物理系, 北京 100084
中国工程物理研究院基于超导射频直线加速器的谐振腔型太赫兹自由电子激光(CTFEL)于2017年8月29日16时首次饱和出光,并稳定运行,中心频率2.56 THz,谱宽1.9%,宏脉冲平均功率大于5.7 W。
自由电子激光 太赫兹 光阴极直流高压电子枪 射频超导加速器 平面型波荡器 free electron laser oscillator Terahertz photocathode high-voltage DC electron gun superconducting RF linac planar undulator 
强激光与粒子束
2017, 29(10): 100101

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